Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2015Rotatable serial co-sputtering of doped titania
Sittinger, V.; Pflug, A.; Dewald, W.; Jung, S.; Britze, C.; Kaiser, A.; Werner, W.; Szyszka, B.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz
2014Rotatable serial co-sputtering of doped titania
Sittinger, V.; Pflug, A.; Dewald, W.; Jung, S.; Britze, C.; Kaiser, A.; Werner, W.; Szyszka, B.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2011Influence of process parameter and magnetic field strength on DC magnetron sputtered ZnO:Al films from ceramic targets
Sittinger, V.; Dewald, W.; Werner, W.; Szyszka, B.
Konferenzbeitrag
2011Neue Produktionstechnik für leitfähige Schichten auf Glas
Szyszka, B.; Sittinger, V.; Ulrich, S.; Beontoro, W.; Werner, W.
Zeitschriftenaufsatz
2010Heat treatable TCO film for position 1 based on HiPIMS
Sittinger, V.; Horstmann, F.; Boentoro, W.; Werner, W.; Szyszka, B.
Konferenzbeitrag
2010Rotatable target serial co-sputtering
Szyszka, B.; Pflug, A.; Sittinger, V.; Ulrich, S.; Vergöhl, M.; Werner, W.; Kaiser, A.; Jung, S.; Bringmann, U.; Bräuer, G.; Köhl, D.; Austgen, M.; Wuttig, M.; Weis, H.; Herwig, W.; Polle, A.; Herlitze, L.
Konferenzbeitrag
2010Transparent conducting oxide deposition techniques for thin-film photovoltaics
Sittinger, V.; Dewald, W.; Werner, W.; Szyszka, B.; Ruske, F.
Zeitschriftenaufsatz
2009Comparison of different ceramic Al-doped ZnO target materials
Sittinger, V.; Dewald, W.; Werner, W.; Szyszka, B.
Zeitschriftenaufsatz
2009Heat treatable TCO film for position 1 based on HiPIMS
Sittinger, V.; Horstmann, F.; Boentoro, W.; Werner, W.; Szyszka, B.
Konferenzbeitrag
2009Influence of strong magnetic fields on the growth of DC magnetron sputtered ZNO:Al films from a ceramic target
Dewald, W.; Sittinger, V.; Werner, W.; Szyszka, B.
Konferenzbeitrag
2009Optimization of process parameters for sputtering of ceramic ZnO:Al2O3 targets for a-Si:H/µc-Si:H solar cells
Dewald, W.; Sittinger, V.; Werner, W.; Jacobs, C.; Szyszka, B.
Zeitschriftenaufsatz
2009Reactive magnetron sputtering of ZnO:Al
Szyszka, B.; Sittinger, V.; Dewald, W.; Pflug, A.; Ulrich, S.; Kaiser, A.; Werner, W.
Konferenzbeitrag
2008Glasprodukt
Drescher, T.; Hangleiter, B.; Schuetz, J.; Matthai, A.; Walter, H.; Horstmann, F.; Szyszka, B.; Sittinger, V.; Werner, W.; Boentoro, T.W.
Patent
2008High power pulsed magnetron sputtering of transparent conducting oxides
Sittinger, V.; Ruske, F.; Werner, W.; Jacobs, C.; Szyszka, B.; Christie, D.J.
Zeitschriftenaufsatz
2008Reactive deposition of aluminium-doped zinc oxide thin films using high power pulsed magnetron sputtering
Ruske, F.; Pflug, A.; Sittinger, V.; Werner, W.; Szyszka, B.; Christie, D.J.
Zeitschriftenaufsatz
2007Flux of positive ions and film growth in reactive sputtering of Al-doped ZnO thin films
Ruske, F.; Sittinger, V.; Werner, W.; Szyszka, B.; Wiese, R.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2007Large area ZnO:Al films with tailored light scattering properties for photovoltaic applications
Ruske, F.; Jacobs, C.; Sittinger, V.; Szyszka, B.; Werner, W.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2006Deposition of high conductivity ITO films by high power pulsed magnetron sputtering (HPPMS)
Sittinger, V.; Ruske, F.; Gerloff, C.; Werner, W.; Szyszka, B.; Christie, D.J.
Konferenzbeitrag
2006High power pulsed magnetron sputtering (HPPMS)
Christie, D.; Szyszka, B.; Pflug, A.; Sittinger, V.; Ruske, F.; Werner, W.
Konferenzbeitrag
2006Process stabilisation for large area reactive MF-sputtering of Al-doped ZnO
Ruske, F.; Pflug, A.; Sittinger, V.; Werner, W.; Szyszka, B.
Zeitschriftenaufsatz
2006Production of MF and DC-pulse sputtered anti-reflective/anti-static optical interference coatings using a large area in-line coater
Sittinger, V.; Pflug, A.; Werner, W.; Rickers, C.; Vergöhl, M.; Kaiser, A.; Szyszka, B.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2006Reactive deposition of Al-doped ZnO thin films using high power pulsed magnetron sputtering (HPPMS)
Ruske, F.; Pflug, A.; Sittinger, V.; Werner, W.; Szyszka, B.; Christie, D.J.
Konferenzbeitrag
2006Stability of CIGS minimodules with ZnO:Al films prepared by reactive mid-frequency magnetron sputtering
Sittinger, V.; Ruske, F.; Werner, W.; Szyszka, B.; Menner, R.; Powalla, M.; Dimmler, B.
Konferenzbeitrag
2006ZnO:Al films deposited by in-line reactive AC magnetron sputtering for a-Si:H thin film solar cells
Sittinger, V.; Ruske, F.; Werner, W.; Szyszka, B.; Rech, B.; Hüpkes, J.; Schöpe, G.; Stiebig, H.
Zeitschriftenaufsatz
2005Aufskalierung reaktiv gesputterter ZnO:Al-Schichten für Dünschicht-Solarmodule
Sittinger, V.; Ruske, F.; Werner, W.; Szyszka, B.
Konferenzbeitrag
2005Hydrogen doping of DC sputtered ZnO:Al films from novel target material
Ruske, F.; Sittinger, V.; Werner, W.; Szyszka, B.; Osten, K.U. van; Dietrich, K.; Rix, R.
Zeitschriftenaufsatz
2005Hydrogen doping of ZnO:Al films deposited by pulsed DC-sputtering of ceramic targets
Ruske, F.; Sittinger, V.; Werner, W.; Szyszka, B.; Osten, K.-U. van; Dietrich, K.; Rix, R.
Konferenzbeitrag
2005Tuning the reactive magnetron sputtering process of Al-doped ZnO on large area substrates for amorphous and microcrystalline silicon solar cells
Sittinger, V.; Ruske, F.; Werner, W.; Szyszka, B.; Rech, B.; Schöpe, G.; Hüpkes, J.
Konferenzbeitrag
2005Wasserstoffdotierung von ZnO:Al-Schichten aus keramischen Targets
Ruske, F.; Sittinger, V.; Werner, W.; Szyszka, B.; Osten, K.U. van
Konferenzbeitrag
2005ZnO:Al films for a-Si:H thin film solar cells
Szyszka, B.; Sittinger, V.; Ruske, F.; Werner, W.; Pflug, A.; Rech, B.
Konferenzbeitrag
2004Combination of X-ray reflectometry and optical spectroscopy as a new tool for thin films parameter determination
Pflug, A.; Ruske, F.; Sittinger, V.; Werner, W.; Szyszka, B.
Konferenzbeitrag
2004Erratum to "comparison of the ZnO:Al films deposited in static and dynamic modes by reactive mid-frequency magnetron sputtering" (J. Crystal Growth 253 (2003) 117-128)
Hong, R.J.; Jiang, X.; Szyszka, B.; Sittinger, V.; Xu, S.H.; Werner, W.; Heide, G.
Zeitschriftenaufsatz
2004Process stabilisation for large area reactive MF-sputtering of Al-doped ZnO
Ruske, F.; Pflug, A.; Sittinger, V.; Werner, W.; Szyszka, B.
Konferenzbeitrag
2004Production of MF and DC-pulse sputtered precision optical interference coatings using a large area in-line coater
Sittinger, V.; Pflug, A.; Werner, W.; Rickers, C.; Vergöhl, M.; Kaiser, A.; Szyszka, B.
Konferenzbeitrag
2003Comparison of the ZnO:Al films deposited in static and dynamic modes by reactive mid-frequency magnetron sputtering
Hong, R.J.; Jiang, X.; Szyszka, B.; Sittinger, V.; Xu, S.H.; Werner, W.; Heide, G.
Zeitschriftenaufsatz
2003Growth behaviours and properties of the ZnO:Al films prepared by reactive mid-frequency magnetron sputtering
Hong, R.J.; Jiang, X.; Heide, G.; Szyszka, B.; Sittinger, V.; Werner, W.
Zeitschriftenaufsatz
2003New cost effective ZnO:Al films deposited by large area reactive magnetron sputtering
Sittinger, V.; Szyszka, B.; Hong, R.J.; Werner, W.; Ruske, M.; Lopp, A.
Konferenzbeitrag
2003Transparent and conductive ZnO:Al films deposited by large area reactive magnetron sputtering
Szyszka, B.; Sittinger, V.; Jiang, X.; Hong, R.J.; Werner, W.; Pflug, A.; Ruske, M.; Lopp, A.
Zeitschriftenaufsatz
2002Transparent and conductive ZnO:Al films deposited by large area reactive magnetron sputtering
Szyszka, B.; Sittinger, V.; Jiang, X.; Hong, R.J.; Werner, W.; Pflug, A.; Ruske, M.; Lopp, A.
Konferenzbeitrag
1998Microsystem-test with HP82000-configurations
Baumgart, K.; Herrlich, B.; Werner, W.-D.
Aufsatz in Buch
1997Microsystem-test, effective with HP82000-configurations and VEE
Baumgart, K.; Herrlich, B.; Werner, W.-D.
Konferenzbeitrag
1996Test intelligenter Sensorsysteme
Werner, W.-D.; Baumgart, K.; Herrlich, B.
Aufsatz in Buch
1995Meßtechnikapplikationen im Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme, IMS2, Dresden
Werner, W.-D.
Zeitschriftenaufsatz
1995On-wafer-Mikrowellenmeßtechnik
Werner, W.-D.
Aufsatz in Buch
1988Coupling of laser diode and polarisation maintaining fibre by gluing
Bunning, H.; Werner, W.
Zeitschriftenaufsatz
1988LOCNET-an experimental communications system using optical routing
Bunning, H.; Burmeister, M.; Hermes, T.; Raub, F.; Saniter, J.; Schmidt, F.; Werner, W.
Zeitschriftenaufsatz
1987An experimental optical local area network using fast circuit switching
Burmeister, M.; Hermes, T.; Raub, F.; Saniter, J.; Schmidt, F.; Werner, W.
Konferenzbeitrag
1987Der Glasvorbau als Wintergarten oder Pufferraum
Werner, W.
Zeitschriftenaufsatz
1985Single-mode star couplers for optical switching applications
Werner, W.; Doeldissen, W.; Heidrich, H.; Hermes, T.; Hoffmann, D.; Saniter, J.; Schmidt, F.
Konferenzbeitrag
1984HHI service integrated optical broadband communications system: results of a long-time operation and review
Kreutzer, H.W.; Werner, W.
Zeitschriftenaufsatz
1984LOCNET - an experimental broadband LAN with optical switching
Hermes, T.; Saniter, J.; Schmidt, F.; Werner, W.
Konferenzbeitrag
1982Experimental results of the HHI broadband communications network
Hermes, T.; Hoen, B.; Kreutzer, H.W.; Schmidt, F.; Schmitt, H.P.; Settgast, H.H.; Volmary, C.; Werner, W.
Konferenzbeitrag