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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
20193D system integration on 300 mm wafer level
Kilige, S.; Bartusseck, I.; Junige, M.; Neumann, V.; Reif, J.; Wenzel, C.; Böttcher, M.; Albert, M.; Wolf, M.J.; Bartha, J.W.
Zeitschriftenaufsatz
2018Surface adaptive fast axis ultra precision turning
Brozio, Matthias; Sensen, Dominik; Wenzel, Christian; Freutel, Simon; Brecher, Christian
Konferenzbeitrag
2016Flexible assembly module for beam-shaping product families based on support structures
Haag, S.; Rübenach, O.; Beleke, A.; Haverkamp, T.; Müller, T.; Zontar, D.; Wenzel, C.; Brecher, C.
Konferenzbeitrag
2016Model-based adhesive shrinkage compensation for increased bonding repeatability
Müller, T.; Schlette, C.; Lakshmanan, S.; Haag, S.; Zontar, D.; Sauer, S.; Wenzel, C.; Brecher, C.; Roßmann, J.
Konferenzbeitrag
2016Monocrystalline CVD-diamond optics for high-power laser applications
Holly, C.; Traub, M.; Hoffmann, D.; Widmann, C.; Brink, D.; Nebel, C.; Gotthardt, T.; Sözbir, M.C.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2015Application of machine integrated deformation sensors
Brecher, C.; Klatte, M.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2015Influences of closed loop control components on the performance of ultra-precision machines
Brecher, C.; Lindemann, D.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2015Strategies for precision adhesive bonding of micro-optical systems
Müller, T.; Venu, V.K.; Haag, S.; Zontar, D.; Sauer, S.; Wenzel, C.; Brecher, C.
Konferenzbeitrag
2015Structurally integrated sensors
Wenzel, Christian; Klatte, Michel
Aufsatz in Buch
2014Accuracy enhancement of five-axis machining by controller based compensation
Brecher, C.; Flore, J.; Behrens, J.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2014Drive internal setpoint calculation for fast axes
Lindemann, D.; Brecher, C.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2014Enhanced tool cutting edge detection for ultra precision diamond machining applying a conventional setting system
Reiser, W.; Brecher, C.; Wenzel, C.; Ellinghaus, J.M.
Konferenzbeitrag
2014Fabrication of the magnetic circuit for the BIPM watt balance
Ellinghaus, Jan M.; Arneson, Dave; Brecher, Christian; Wenzel, Christian; Knapp, Byron; Kiss, Adrien; Lavergne, Thomas; Stock, Michael
Konferenzbeitrag
2014Mikrostrukturen für autarke Systeme der Zellkultivierung
Brecher, Christian; Ellinghaus, Jan Moritz; Fleger, Markus; Holzer, Matthias; Meiers, Bernd; Wald, Christian; Wenzel, Christian
Zeitschriftenaufsatz
2014Sensorgestützte, adaptive Montage
Brecher, C.; Bartscher, S.; Haag, S.; Hardt, J.; Kuolt, H.; Müller, T.; Patron, C.; Wenzel, C.; Winter, A.
Konferenzbeitrag
20135D precision process monitoring
Brecher, C.; Lindemann, D.; Merz, A.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2013Analyse der Achsgenauigkeit in Abhängigkeit von Servoverstärker und Messsystem
Lindemann, D.; Brecher, C.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2013Analysis of mutual influences of control, feedback and servo drive systems for ultra precision machining
Brecher, C.; Lindemann, D.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2013Charakterisierung komplexer Verformungen von Maschinenstrukturen mit strukturintegrierter Sensorik
Wenzel, Christian; Klatte, Michel
Konferenzbeitrag
2013Comprehensive calibration of robots and large machine tools using high precision laser-multilateration
Brecher, C.; Behrens, J.; Flore, J.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2013Deterministic polishing of smooth and structured molds
Klocke, F.; Brecher, C.; Brinksmeier, E.; Behrens, B.; Dambon, O.; Riemer, O.; Schulte, H.; Tuecks, R.; Wächter, D.; Wenzel, C.; Zunke, R.
Aufsatz in Buch
2013Freeform machining of molds for replication of plastic optics
Brecher, C.; Lindemann, D.; Merz, M.; Wenzel, C.; Preuß, W.
Aufsatz in Buch
2013Grinding of monocrystalline diamond
Brecher, C.; Sobotka, A.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2013In-process measurement of machine structure deformation and compensation of resulting work piece inaccuracies
Brecher, Christian; Flore, Jakob; Klatte, Michel; Wenzel, Christian
Konferenzbeitrag
2013Influences of feedback and servo drive systems on the performance of ultra precision machine axes
Lindemann, D.; Brecher, C.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2013O-PRO - Entwicklung eines Bearbeitungszentrums für die schnelle und kosteneffiziente Fertigung von Prototypen für komplexe Kunststoffoptiken
Kolb, P.; Wenzel, C.
Bericht
2013Process and machining system for optical surfaces
Brecher, C.; Gotthardt, T.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2013Roboterunterstützte Hochglanzpolitur von Stahl
Wenzel, C.; Gotthard, T.
Zeitschriftenaufsatz
2013Systematic analysis and identification of 5-axis machining accuracy
Brecher, C.; Flore, J.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2013Systematic analysis of 5-axis machine error budgets: Decreasing the calibration effort without decreasing the machining accuracy
Brecher, C.; Flore, J.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2013Ultra precision process monitoring
Brecher, C.; Lindemann, D.; Merz, A.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2013Ultraprecision and micro machine tools for micro cutting
Brecher, C.; Wenzel, C.
Aufsatz in Buch
2012Advanced integrated machine control for fast tool assisted ultra precision machining
Brecher, C.; Zavelberg, M.; Lindemann, D.; Buß, C.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2012Demand oriented calibration of 5-axis machine tools
Brecher, C.; Flore, J.; Wenzel, C.; Radermacher, C.
Konferenzbeitrag
2012Efficient calibration of five-axis machine tools based on a systematic error budget analysis
Brecher, C.; Flore, J.; Haag, S.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2012Electrical evaluation of Ru-W(-N), Ru-Ta(-N) and Ru-Mn films as Cu diffusion barriers
Wojcik, H.; Kaltofen, R.; Merkel, U.; Krien, C.; Strehle, S.; Gluch, J.; Knaut, M.; Wenzel, C.; Preusse, A.; Bartha, J.W.; Geidel, M.; Adolphi, B.; Neumann, V.; Liske, R.; Munnik, F.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2012High precision, fast and flexible calibration of robots and large multi-axis machine tools
Brecher, Christian; Flore, Jakob; Haag, Sebastian; Wenzel, Christian
Konferenzbeitrag
2012Influences of control, feedback and servo drive systems on precision machining
Brecher, C.; Lindemann, D.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2012Integrated machine control strategy for fast tool ultra precision machining
Brecher, C.; Lindemann, D.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2012Investigation of ultra-precision turning using aerostatic and hydrostatic spindles
Ahmar, E.; Brecher, C.; Wenzel, C.; Arneson, D.
Konferenzbeitrag
2012Local injection compression molding for resource efficient replication of free form polymer optics
Brecher, C.; Buß, C.; Kolb, P.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2012Machine integrated, direct measuring devices for the compensation of thermal deformation
Brecher, Christian; Flore, Jakob; Klatte, Michel; Merz, A.; Wenzel, Christian
Konferenzbeitrag
2012Machine Integrated, Robust Direct Measuring Devices for the Compensation of Thermal Deformation
Brecher, Christian; Flore, Jakob; Klatte, Michel; Wenzel, Christian
Konferenzbeitrag
2012Necrosis-inducing proteins of Rhynchosporium commune, effectors in quantitative disease resistance
Kirsten, S.; Navarro-Quezada, A.; Penselin, D.; Wenzel, C.; Matern, A.; Leitner, A.; Baum, T.; Seiffert, U.; Knogge, W.
Zeitschriftenaufsatz
2012OPTI(K)MUM
Lindemann, D.; Brecher, C.; Wenzel, C.
Zeitschriftenaufsatz
2012Physical characterization of PECVD and PEALD Ru(-C) films and comparison with PVD ruthenium film properties
Wojcik, H.; Junige, M.; Bartha, W.; Albert, M.; Neumann, V.; Merkel, U.; Peeva, A.; Gluch, J.; Menzel, S.; Munnik, F.; Liske, R.; Utess, D.; Richter, I.; Klein, C.; Engelmann, H.J.; Ho, P.; Hossbach, C.; Wenzel, C.
Zeitschriftenaufsatz
2012Schnelle Auslegungsmethode für ultraschallunterstützte Zerspanung
Hannig, S.; Brecher, C.; Wenzel, C.
Zeitschriftenaufsatz
2012A simple yet comprehensive approach to the testing of machine tools with arbitrary axis configurations
Brecher, C.; Flore, J.; Schwenke, H.; Wissmann, M.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2012Universal approach for machine tool testing independent of axis configuration
Brecher, C.; Flore, J.; Wenzel, C.; Schwenke, H.
Konferenzbeitrag
2011Analysis of control and servo drive systems for the application in ultra precision machining
Brecher, C.; Lindemann, D.; Zavelberg, M.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2011Comparison of PVD, PECVD and PEALD Ru-TaN films with high Ru concentration for direct Cu plating
Wojcik, H.; Merkel, U.; Bartha, J.W.; Li, J.; Lehninger, D.; Engelmann, H.J.; Popatov, P.; Gluch, J.; Knaut, M.; Strehle, S.; Wenzel, C.; Adolphi, B.; Neumann, V.; Liske, R.
Konferenzbeitrag
2011Corrective machining of freeform molds for mass replication
Brecher, C.; Buß, C.; Kolb, P.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2011Development of high volume producible nano- and microstructured surfaces
Kluger, P.; Pretzsch, F.; Buth, H.; Novosel, E.; Maierle, J.; Wenzel, C.; Walles, H.
Abstract
2011Diamond machining of nano structures using an automated work piece referencing and alignment procedure
Brecher, C.; Weinzierl, M.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2011Feedback of measurement data for corrective machining of freeform surfaces
Brecher, C.; Wenzel, C.; Buß, C.; Clemens, J.
Konferenzbeitrag
2011Fertigen von Mikrostrukturen erfordert spezielle Prozessführung
Brecher, C.; Wenzel, C.; Matrose, A.; Niehaus, F.
Zeitschriftenaufsatz
2011InnoLight - Prozesskette zur Herstellung innovativer Freiformflächenoptiken für die Beleuchtungstechnik (IN-7013)
Kolb, P.; Wenzel, C.
Bericht
2011Integrierte Steuerungstechnik für die Ultrapräzssionsbearbeitung
Brecher, C.; Lindermann, D.; Buss, C.; Zavelberg, M.; Merz, A.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2011Interferometrische Messung von Freiform-Schneidkanten auf einer Diamantwerkzeug-Bearbeitungsmaschine
Berger, R.; Fleischle, D.; Körner, K.; Lyda, W.; Osten, W.; Sobotka, A.; Wenzel, C.; Brecher, C.
Zeitschriftenaufsatz
2011Investigations on Ru-Mn films as plateable Cu diffusion barriers
Wojcik, H.; Kaltofen, R.; Krien, C.; Merkel, U.; Wenzel, C.; Bartha, J.W.; Friedemann, M.; Adolphi, B.; Liske, R.; Neumann, V.; Geidel, M.
Konferenzbeitrag
2011Potentials of combining different manufacturing techniques in one machine for ultra precision machining
Brecher, C.; Wenzel, C.; Ellinghaus, J.M.
Konferenzbeitrag
2011Ultraschall steigert Produktivität beim Zerspanen harter Werkstoffe
Brecher, C.; Wenzel, C.; Hannig, S.
Zeitschriftenaufsatz
2010Analysis of the injection overmoulding process for polymer lenses by use of a specially designed mould
Brecher, C.; Kolb, P.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2010Compact design for high precision machine tools
Brecher, C.; Utsch, P.; Klar, R.; Wenzel, C.
Zeitschriftenaufsatz
2010Development of a force controlled orbital polishing head for free form surface finishing
Brecher, C.; Tuecks, R.; Zunke, R.; Wenzel, C.
Zeitschriftenaufsatz
2010Development of a membrane based polishing tool
Brecher, C.; Tücks, R.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2010FPGA based control system for coupled highly dynamic axes in ultra-precision machining
Brecher, C.; Lindemann, D.; Merz, M.; Niehaus, F.; Wenzel, C.; Zavelberg, M.
Konferenzbeitrag
2010FPGA-based control system for highly dynamic axes in ultra-precision machining
Brecher, C.; Lindemann, D.; Merz, M.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2010Innovative fast tool servo system using mass compensation and damping system
Brecher, C.; Niehaus, F.; Matrose, A.; Merz, M.; Zavelberg, M.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2010iTool design of a diamond grinding and lapping machine
Brecher, C.; Sobotka, A.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2010New systematic and time-saving procedure to design cup grinding wheels for the application of ultrasonic-assisted grinding
Brecher, C.; Schug, R.; Weber, A.; Wenzel, C.; Hannig, S.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2010Nickel-Phosphor-Beschichtung für die Diamantzerspanung
Brecher, C.; Kolb, P.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2010Pneumatic driven positioning and alignment system for the assembly of hybrid microsystems
Brecher, C.; Freundt, M.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2010Production of next generation backlight units by adaptive step and repeat embossing
Baum, C.; Brecher, C.; Wenzel, C.; Niehaus, F.; Rinko, K.
Konferenzbeitrag
2009'iTool' - Process and design considerations for innovative diamond tool making
Brecher, Christian; Utsch, Philip; Sobotka, Andreas; Wenzel, Christian
Konferenzbeitrag
20095-Achs-Kompaktschleifmaschine "MiniGrind". Hochpräzise 5-Achs-Bearbeitung für den Mikroformenbau
Brecher, C.; Utsch, P.; Wenzel, C.
Zeitschriftenaufsatz
2009Automated mass production of fibre-reinforced components
Steyer, M.; Dubratz, M.; Schütte, A.; Wenzel, C.; Brecher, C.
Zeitschriftenaufsatz
2009Automation of a diode laser assembly process
Brecher, C.; Freundt, M.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2009Development and characterization of high volume producible micro structured surfaces for tissue engineering applications
Brecher, C.; Wenzel, C.; Pretzsch, F.; Büth, H.; Kluger, P.J.
Konferenzbeitrag
2009Development of a force controlled orbital polishing spindle
Brecher, C.; Wenzel, C.; Tücks, R.; Zunke, R.
Konferenzbeitrag
2009Development of a high precision self-adjusting laser mirror module
Brecher, C.; Wenzel, C.; Stimpfl, J.; Emonts, M.
Konferenzbeitrag
2009Diamantzerspanung mit mehr Dynamik
Brecher, C.; Niehaus, F.; Merz, M.; Wenzel, C.
Zeitschriftenaufsatz
2009Entwicklung eines aktiven Montagekopfs für die Mikromontage mit herkömmlichen Handhabungsgeräten
Freundt, M.; Brecher, C.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2009Five-axes accuracy enhancement by compact and integral design
Brecher, C.; Utsch, P.; Wenzel, C.
Zeitschriftenaufsatz
2009Fräsen von Hochleistungskeramik
Brecher, C.; Rosen, C.J.; Wenzel, C.; Bausch, S.
Zeitschriftenaufsatz
2009Integral design axis for the accuracy enhancement of ultraprecision machine tools
Brecher, C.; Utsch, P.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2009Laser-assisted thermoplastic tape-laying systems
Brecher, C.; Dubratz, M.; Steyer, M.; Schütte, A.; Emonts, M.; Wenzel, C.
Zeitschriftenaufsatz
2009Methode zur systematischen Auslegung von Werkzeugen für das ultraschallunterstützte Schleifen
Brecher, C.; Wenzel, C.; Hannig, S.; Schug, R.; Weber, A.
Konferenzbeitrag
2009Metrology data feedback for shrinkage compensated polymer lenses
Brecher, C.; Schmitt, R.; Buß, C.; Kolb, P.; Wenzel, C.; Köllmann, D.
Konferenzbeitrag
2009Ultraprecise 5-axis machining by compact, integral design
Brecher, C.; Utsch, P.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2008Characterization and optimization of the dynamic tool path of a highly dynamic micro milling machine
Brecher, C.; Wenzel, C.; Klar, R.
Konferenzbeitrag
2008Characterization and optimization of the dynamic tool path of a highly dynamic micromilling machine
Brecher, C.; Wenzel, C.; Klar, R.
Zeitschriftenaufsatz
2008Development of a dynamic high precision compact milling machine
Klar, R.; Brecher, C.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2008Development of a force controlled polishing tool
Brecher, C.; Wenzel, C.; Tücks, R.
Konferenzbeitrag
2008Hybrid universal handling systems for micro component assembly
Freundt, M.; Brecher, C; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2008INNOLITE GmbH - Spin-off zur Herstellung anspruchsvoller Kunststoff- und Metalloptiken
Wenzel, C.; Klar, R.
Zeitschriftenaufsatz
2008KombiMasch - Hybride Werkzeugmaschine zur Verkürzung der Prozesskette
Brecher, C.; Klocke, F.; Wenzel, C.; Emonts, M.; Frank, J.
Zeitschriftenaufsatz
2008Manufacturing and replication of cell aligning micro structures
Brecher, C.; Klar, R.; Pretzsch, F.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2008Micro structure surface functionalisation for tissue engineering applications - A systematic integrated approach towards high volume production
Brecher, C.; Wenzel, C.; Klar, R.; Pretzsch, F.
Konferenzbeitrag
2008Microstructuring of free-form surfaces by the use of a hybrid fast-tool-servo system
Brecher, C.; Merz, M.; Niehaus, F.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2008Mikrostrukturierung von Freiformflächen
Brecher, C.; Niehaus, F.; Merz, M.; Wenzel, C.
Zeitschriftenaufsatz
2008Optikfertigung. Treiber für die Präzisionstechnik
Brecher, C.; Marschall, D.; Mayer, R.; Merz, M.; Niehaus, F.; Schneider, G.; Schreiber, P.; Weinzierl, M.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2008Optimising form accuracy in maching arrays of optically functional surfaces
Brecher, C.; Niehaus, F.; Merz, M.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2008Pneumatic positioning system for precision assembly
Freundt, M.; Brecher, C; Wenzel, C.; Pyschny, N.
Konferenzbeitrag
2008Technologie der Zukunft: Laserunterstütztes Fiber Placement
Dubratz, Markus; Brecher, Christian; Wenzel, Christian
Zeitschriftenaufsatz
2008Verfahren und Messsystem zur Erfassung thermisch oder mechanisch bedingter Verlagerung an Werkzeugmaschinen
Schauerte, G.; Brecher, C.; Wenzel, C.
Patent
2007Development and design of compact high precision machine tools
Brecher, C.; Klar, R.; Wenzel, C.
Zeitschriftenaufsatz
2007Development and design of compact high precision machine tools
Klar, R.; Wenzel, C.; Brecher, C.
Konferenzbeitrag
2007Development of a dynamic high precision miniature milling machine
Brecher, C.; Klar, R.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2007Dynamic long axis for ultra-precision machining of optical linear structures
Brecher, C.; Baum, C.; Winterschladen, M.; Wenzel, C.
Zeitschriftenaufsatz
2007Hybride Fertigungszelle für die Dreh-, Fräs- und Laserbearbeitung
Brecher, C.; Wenzel, C.; Emonts, M.; Frank, J.
Zeitschriftenaufsatz
2007Hybrides, laserunterstütztes Scherschneidverfahren
Brecher, C.; Wenzel, C.; Emonts, M.
Zeitschriftenaufsatz
2007Hybrides, universell einsetzbares Handhabungssystem zur Montage von Mikrobauteilen
Freundt, M.; Brecher, C.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2007LaserPunch - Steigerung der Leistungsfähigkeit von Stanzmaschinen durch laserunterstütztes Scherschneiden
Brecher, C.; Wenzel, C.; Emonts, M.
Zeitschriftenaufsatz
2007New systematic and time-saving procedure to design complex shaped tools for the application of ultrasonic assisted grinding
Brecher, C.; Schug, R.; Weber, A.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2007New systematic and time-saving procedure to design cup grinding wheels for the application of ultrasonic assisted grinding
Brecher, C.; Schug, R.; Weber, A.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2007Optimisation of servo control for highly dynamic axes for ultra precision freeform machining
Brecher, C.; Merz, M.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2007Parallele passive Justage in der automatisierten Mikromontage
Brecher, C.; Weinzierl, M.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2007Positionier- und Justagesystem für die Montage hybrider Mikrosysteme
Freundt, M.; Brecher, C.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2007Simulation of dynamic effects on hydrostatic bearings and membrane restrictors
Brecher, C.; Baum, C.; Winterschladen, M.; Wenzel, C.
Zeitschriftenaufsatz
2007Ultrapräzises 5-Achs-Schleifen auf kleinstem Raum
Brecher, C.; Utsch, P.; Wenzel, C.
Zeitschriftenaufsatz
2007Ultraprecise compact five-axes grinding machine
Brecher, C.; Utsch, P.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2006Ausrüstungen für die Herstellung großflächig funktionell mikrostrukturierter Oberflächen
Brecher, C.; Lange, S.C.; Wenzel, C.; Niehaus, F.; Widemann, R.
Konferenzbeitrag
2006Automated tool exchange for ultraprecision diamond milling and turning applications
Brecher, C.; Lange, S.; Niehaus, F.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2006Kinematic influences on the formation of the footprint during local polishing of steel
Brecher, C.; Wenzel, C.; Lange, S.C.
Zeitschriftenaufsatz
2006Lokale Korrekturpolitur von komplexen Werkzeugformeinsätzen aus Stahl
Wenzel, C.
Dissertation
2006Mechanical micro-machining using milling, wire EDM, die-sinking EDM and diamond turning
Herrero, A.; Goenaga, I.; Azcarate, S.; Uriarte, L.; Ivanov, A.; Rees, A.; Wenzel, C.; Müller, C.
Zeitschriftenaufsatz
2006NURBS based ultra-precision free-form machining
Brecher, C.; Lange, S.; Merz, M.; Niehaus, F.; Wenzel, C.; Winterschladen, M.; Weck, M.
Konferenzbeitrag
2006NURBS based ultra-precision free-form machining
Brecher, C.; Lange, S.; Merz, M.; Niehaus, F.; Wenzel, C.; Winterschladen, M.
Zeitschriftenaufsatz
2005Adaptiver Polierkopf zur Bearbeitung von Freiformflächen in optischer Qualität
Brecher, C.; Wenzel, C.
Aufsatz in Buch
2005Precision Manufacturing - Trends, Anwendungen und Beispiele
Brecher, C.; Lange, S.; Schug, R.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2004Industrial precision deposition for microelectronics and next generation hard disk
Berthold, J.; Hentsch, W.; Hilgers, H.; Schülke, T.; Siemroth, P.; Seifried, S.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2004Ultrapräzisionstechnik
Lange, S.; Wenzel, C.
Aufsatz in Buch
2003Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Metallisierungen auf Halbleiterkoerpern
Klimes, W.; Wenzel, C.; Urbansky, N.; Siemroth, P.; Schuelke, T.; Schultrich, B.
Patent
2002Improvement of Ta-based thin-film barriers on copper by ion- implantation of nitrogen and oxygen
Wieser, E.; Peikert, M.; Wenzel, C.; Schreiber, J.; Bartha, J.W.; Bendjus, B.; Melov, V.V.; Reuther, H.; Mucklich, A.; Adolphi, B.; Fischer, D.
Zeitschriftenaufsatz
2002Ultra precision machining of micro components
Weck, M.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
1998Copper metallization of submicron trenches with pulsed vacuum arc
Siemroth, P.; Wenzel, C.; Witke, T.; Schultrich, B.
Konferenzbeitrag
1997Characterization of Nanocrystalline Ta(N,O) - Diffusions Barriers for Use in Semiconductor Metallization with Scanning Force Microscopy
Fischer, D.; Meissner, O.; Stavrev, M.; Wenzel, C.; Köhler, B.; Schreiber, J.
Konferenzbeitrag
1997Characterization of Nanocrystalline Ta(N,O) - Diffusions Barriers for Use in Semiconductor Metallization and Cu/Ta-Stacks with Scanning Force Microscopy
Meissner, O.; Fischer, D.; Schreiber, J.; Stavrev, M.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag