Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1997Honen keramischer Werkstoffe
Weigmann, U.-P.
Buch
1997Schleifen und Honen keramischer Werkstoffe
Weigmann, U.-P.; Lierse, T.; Gäbler, J.; Eigenmann, B.; Friemuth, T.; Scherer, V.
Konferenzbeitrag
1996Funktionsbezogene Charakterisierung tribologisch beanspruchter Oberflächen
Spur, G.; Weigmann, U.-P.
Konferenzbeitrag
1996The impact of JESSI on the E and M Industry
Weigmann, U.
Zeitschriftenaufsatz
1995Honbearbeitung kermischer Werkstoffe
Spur, G.; Weigmann, U.-P.
Konferenzbeitrag
1995Influence of the material properties on the honing of ceramics
Spur, G.; Weigmann, U.-P.
Konferenzbeitrag
1993Honen - ein Verfahren zur Endbearbeitung keramischer Bauteile
Weigmann, U.-P.
Konferenzbeitrag
1990Einrichtung zur zerstoerungsfreien Bilderzeugung und ortsselektiven Oberflaechenbearbeitung in fokussierten Ionenstrahlsystemen
Betz, H.; Weigmann, U.; Burghause, H.
Patent
1990Influence of X-ray mask repair on pattern placement accuracy
Schaffer, H.; Weigmann, U.; Petzold, C.; Mescheder, U.
Konferenzbeitrag
1989Laser induced photolytic tin deposition with high deposition rates for the repair of clear X-ray mask defects
Putzar, R.; Petzold, H.-C.; Schaffer, H.; Weigmann, U.
Konferenzbeitrag
1989Repair of clear defects on X-ray masks by ion-induced metal deposition
Petzold, H.-C.; Burghause, H.; Putzar, R.; Weigmann, U.; Economou, N.P.; Stern, L.A.
Konferenzbeitrag
1989Verfahren zur Abscheidung von Zinn auf Substratoberflaechen
Putzar, R.; Weigmann, U.; Petzold, H.C.
Patent
1989Verfahren zur Reparatur von Defekten auf Masken
Betz, H.; Weigmann, U.; Burghause, H.
Patent
1988Laser-induced metal deposition for clear defect repair work on X-ray masks
Putzar, R.; Petzold, H.-C.; Weigmann, U.
Konferenzbeitrag
1988Reparatur von Röntgenmasken
Weigmann, U.
Konferenzbeitrag
1987Identification and removal of opaque defects on X-ray masks in a focussed ion beam repair system
Weigmann, U.; Burghause, H.; Schaffer, H.
Zeitschriftenaufsatz
1987Laser-induced metal deposition on silicon membranes for X-ray lithography
Petzold, H.-C.; Putzar, R.; Weigmann, U.; Wilke, I.
Konferenzbeitrag
1987Repair of clear X-ray mask defects by laser-induced metal deposition
Petzold, H.-C.; Putzar, R.; Weigmann, U.; Wilke, I.
Zeitschriftenaufsatz
1987Reparatur klarer Defekte auf Roentgenmasken durch laserpyrolytische Materialabscheidung
Petzold, H.-C.; Weigmann, U.
Abstract
1987Reparatur von Röntgenmasken mit Ionenstrahlen
Weigmann, U.
Konferenzbeitrag
1986Simulation of focused ion beam milling
Mueller, K.P.; Weigmann, U.; Burghause, H.
Konferenzbeitrag