Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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2012Doping induced lattice misfit in 4H-SiC homoepitaxy
Kallinger, Birgit; Berwian, Patrick; Friedrich, Jochen; Müller, Georg; Weber, Arnd-Dietrich; Volz, Eduard; Trachta, Gerd; Spiecker, Erdmann; Thomas, Bernd
Zeitschriftenaufsatz
2011Homoepitaxial growth and defect characterization of 4H-SiC epilayers
Kallinger, Birgit; Thomas, Bernd; Berwian, Patrick; Friedrich, Jochen; Weber, Arnd-Dietrich; Volz, Eduard; Trachta, Gerd; Spiecker, Erdmann
Vortrag