Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Development of a broadband dielectric beam splitter with reduced spectral wavefront error
Vergöhl, M.; Britze, C.; Bruns, S.; Ahrens, J.; Schäfer, B.; Mann, K.; Kirschner, V.
Konferenzbeitrag
2018Optical grade SiO₂ films prepared by HWCVD
Sittinger, V.; Höfer, M.; Harig, T.; Justianto, M.; Thiem, H.; Vergöhl, M.; Schäfer, L.
Zeitschriftenaufsatz
2018Optische Interferenzfilter auf Polymerfolien
Rohwer, K.; Jorke, H.; Neubert, T.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2018Organic optical coatings
Neubert, T.; Vergöhl, M.
Aufsatz in Buch
2018Spectrally resolved wavefront measurements on broad-band dielectric coatings
Mann, K.; Schäfer, B.; Zimara, J.; Vergöhl, M.; Britze, C.; Bruns, S.; Kirschner, V.
Konferenzbeitrag
2018Time resolved detection of particle contamination during thin film deposition
Rüsseler, A.K.; Balasa, I.; Kricheldorf, H.-U.; Vergöhl, M.; Jensen, L.; Ristau, D.
Konferenzbeitrag
2017Electrochromic properties of mixed oxides based on titanium and niobium for smart window applications
Ulrich, S.; Szyszko, C.; Jung, S.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2016Beschichteter Gegenstand und Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Gegenstands
Vergöhl, Michael; Bruns, Stefan; Kricheldorf, Hans-Ulrich; Schäfer, Lothar; Höfer, Markus
Patent
2016Deposition of abrasion resistant single films and antireflective coatings on sapphire
Bruns, S.; Vergöhl, M.; Zickenrott, T.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016Direct metallization of PMMA with aluminum films using HIPIMS
Bandorf, R.; Waschke, S.; Carreri, F.C.; Vergöhl, M.; Grundmeier, G.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016Efficient process control and monitoring for HIPIMS applied to deposition of ITO films
Carreri, F.C. de; Bandorf, R.; Gerdes, H.; Vergöhl, M.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2016Electrochromic properties of mixed oxides based on titanium and niobium for smart window application
Ulrich, S.; Szyszko, C.; Jung, S.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2016Highly insulating alumina films by a bipolar reactive MF sputtering process with special arc handling
Carreri, F.C.; Bandorf, R.; Gerdes, H.; Vergöhl, M.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016HIPIMS ITO films from a rotating cylindrical cathode
Carreri, F.C.; Sabelfeld, A.; Gerdes, H.; Bandorf, R.; Vergöhl, M.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016Magnetron sputtering of precision optical coatings enabled by process stability of rotatable cathodes
Bruns, S.; Vergöhl, M.; Zickenrott, T.
Konferenzbeitrag
2016Photocatalytic properties of titania thin films prepared by sputtering versus evaporation and aging of induced oxygen vacancy defects
Henkel, B.; Neubert, T.; Zabel, S.; Lamprecht, C.; Selhuber-Unkel, C.; Rätzke, K.; Strunskus, T.; Vergöhl, M.; Faupel, F.
Zeitschriftenaufsatz
2016Towards tuneable thin film filters with the use of liquid crystals
Bartzsch, H.; Frach, P.; Gittner, M.; Bruns, S.; Vergöhl, M.; Seeboth, A.; Lötzsch, D.; Rabe, C.
Konferenzbeitrag
2015Deposition of abrasion resistant single films and antireflective coatings on sapphire
Bruns, S.; Vergöhl, M.; Zickenrott, T.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2015Deposition of complex optical interference filters on polymer substrates by magnetron sputtering and PECVD processes
Neubert, T.; Lips, J.; Bandorf, R.; Sabelfeld, A.; Vergöhl, M.; Rohwer, K.; Simon, A.
Konferenzbeitrag
2015Haftfeste Direktmetallisierung von Kunststoffen durch Beschichtung mit Ionen
Bandorf, R.; Waschke, S.; Vergöhl, M.; Grundmeier, G.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz
2015Highly insulating alumina films by a bipolar reactive MF sputtering process with special arc handling
Carreri, F.C.; Bandorf, R.; Gerdes, H.; Vergöhl, M.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2015Industrial-scale deposition of highly uniform and precise optical interference filters by the use of an improved cylindrical magnetron sputtering system
Vergöhl, M.; Bruns, S.; Rademacher, D.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2015Magnetron-Zerstäubung für präzise optische Beschichtungen
Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2015Recent developments in precision optical coatings prepared by cylindrical magnetron sputtering
Bruns, S.; Vergöhl, M.; Zickenrott, T.
Konferenzbeitrag
2015Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung unformer Schichten auf bewegten Substraten und derart hergestellten Schichten
Vergöhl, Michael; Rademacher, Daniel; Zickenrott, Tobias
Patent
2014Numerical optimization of baffles for sputtering optical precision filters
Pflug, A.; Siemers, M.; Melzig, T.; Rademacher, D.; Zickenrott, T.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2014Optische Bauelemente und Verfahren zu deren Herstellung
Neubert, Thomas; Vergöhl, Michael
Patent
2014Progress on optical coatings deposited with dual rotatable magnetrons in a sputter up system
Vergöhl, M.; Rademacher, D.; Pflug, A.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2014Properties of reactive sputtered alumina-silica mixtures
Bruns, S.; Rademacher, D.; Vergöhl, M.; Weiss, P.
Zeitschriftenaufsatz
2014Superposition of mid-frequency and high power impulse magnetron sputtering
Gerdes, H.; Sittinger, V.; Bandorf, R.; Lenck, O.; Vergöhl, M.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2014Verfahren und Vorrichtung zur Beeinflussung der Schichtdickenverteilung auf Substraten sowie derart beschichtete Substrate
Vergöhl, Michael; Rademacher, Daniel; Zickenrott, Tobias
Patent
2013Applications of HIPIMS metal oxides
Sittinger, V.; Lenck, O.; Vergöhl, M.; Szyszka, B.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz
2013Characterization of 31 nonperiodic layers of alternate SiO2/Nb2O5 on glass for optical filters by SIMS, XRR, and ellipsometry
Schiffmann, K.I.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2013Comparison of abrasive tests for transparent optical coatings
Bruns, S.; Montzka, S.; Reimann, W.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2013Herstellung von Polymer- und Polymer-Metalloxid-Kompositschichten
Neubert, T.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2013Impact of thin film fabrication to the optimization process of a multispectral chromatic camera
Taphanel, Miro; Rademacher, D.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2013Numerical shaper optimization for sputtered optical precision filters
Pflug, A.; Siemers, M.; Melzig, T.; Rademacher, D.; Zickenrott, T.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2013Organic optical coatings
Neubert, T.; Vergöhl, M.
Aufsatz in Buch
2013Properties of reactive sputtered alumina-silica mixtures
Bruns, S.; Rademacher, D.; Vergöhl, M.; Weiss, P.
Konferenzbeitrag
2013Recent results of optical coatings deposited on the EOSS coater
Rademacher, D.; Bruns, S.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2013Sputtering of dielectric single layers by metallic mode reactive sputtering and conventional reactive sputtering from cylindrical cathodes in a sputter-up configuration
Rademacher, D.; Zickenrott, T.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2013Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung partikelarmer Schichten auf Substraten
Vergöhl, Michael; Rademacher, Daniel
Patent
2012Applying hafnia mixtures to enhance the laser-induced damage threshold of coatings for third-harmonic generation optics
Mende, M.; Jensen, L.O.; Ehlers, H.; Bruns, S.; Vergöhl, M.; Burdack, P.; Ristau, D.
Konferenzbeitrag
2012Comparison of abrasive tests for transparent optical coatings
Bruns, S.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2012Computational optimization of the thickness uniformity of magnetron-sputtered optical layers by means of particle in cell plasma simulations
Vergöhl, M.; Pflug, A.; Rademacher, D.; Zickenrott, T.
Konferenzbeitrag
2012Gegenstand mit reflexionsmindernder Beschichtung und Verfahren zu dessen Herstellung
Vergöhl, Michael; Rademacher, Daniel; Werber, O.; Bruns, S.; Neubert, T.; Weiss, P.
Patent
2012High rate deposition of mixed oxides by controlled reactive magnetron-sputtering from metallic targets
Bruns, S.; Vergöhl, M.; Werner, O.; Wallendorf, T.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2012Investigations on adhesion of sputtered layers on polytetrafluorethylene surfaces
Neubert, T.; Vergöhl, M.; Strunskus, T.; Faupel, F.
Konferenzbeitrag
2012Manufacturing of high-precision optical coatings using a novel sputtering system
Rademacher, D.; Kreher, S.; Rudin, M.; Vergöhl, M.; Zickenrott, T.
Konferenzbeitrag
2012Manufacturing of high-precision optical coatings using cylindrical cathodes in a sputter-up configuration
Rademacher, D.; Kreher, S.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2012Mixed oxides for ultraviolet coatings prepared by pulsed reactive magnetron sputtering
Bruns, S.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2012Optical properties of silicon titanium oxide mixtures prepared by metallic mode reactive sputtering
Rademacher, D.; Bräuer, G.; Fritz, B.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2012Origin of particles during reactive sputtering of oxides using planar and cylindrical magnetrons
Rademacher, D.; Fritz, B.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2012Sauber durch die Sonne
Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2012Towards ultra-precise optical interference filters on large area: Computational and experimental optimization of the homogeneity of magnetron-sputtered precision optical coatings
Vergöhl, M.; Pflug, A.; Rademacher, D.
Konferenzbeitrag
2011Deposition of optical coatings on plastics using poly-para-xylylene
Neubert, T.; Gaida, A.; Huwer, W.; Nagel, K.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2011In situ thickness determination of multilayered structures using single wavelength ellipsometry and reverse engineering
Rademacher, D.; Vergöhl, M.; Richter, U.
Zeitschriftenaufsatz
2011Magnetron sputtering and its applications
Bräuer, G.; Bandorf, R.; Bewilogua, K.; Diehl, W.; Szyszka, B.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2011Mixed oxide coatings for optics
Stenzel, O.; Wilbrandt, S.; Schürmann, M.; Kaiser, N.; Ehlers, H.; Mende, M.; Ristau, D.; Bruns, S.; Vergöhl, M.; Stolze, M.; Held, M.; Niederwald, H.; Koch, T.; Riggers, W.; Burdack, P.; Mark, G.; Schäfer, R.; Mewes, S.; Bischoff, M.; Arntzen, M.; Eisenkrämer, F.; Lappschies, M.; Jakobs, S.; Koch, S.; Baumgarten, B.; Tünnermann, A.
Zeitschriftenaufsatz