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2018Development of a broadband dielectric beam splitter with reduced spectral wavefront error
Vergöhl, M.; Britze, C.; Bruns, S.; Ahrens, J.; Schäfer, B.; Mann, K.; Kirschner, V.
Konferenzbeitrag
2018Optical grade SiO₂ films prepared by HWCVD
Sittinger, V.; Höfer, M.; Harig, T.; Justianto, M.; Thiem, H.; Vergöhl, M.; Schäfer, L.
Zeitschriftenaufsatz
2018Optische Interferenzfilter auf Polymerfolien
Rohwer, K.; Jorke, H.; Neubert, T.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2018Organic optical coatings
Neubert, T.; Vergöhl, M.
Aufsatz in Buch
2018Spectrally resolved wavefront measurements on broad-band dielectric coatings
Mann, K.; Schäfer, B.; Zimara, J.; Vergöhl, M.; Britze, C.; Bruns, S.; Kirschner, V.
Konferenzbeitrag
2018Time resolved detection of particle contamination during thin film deposition
Rüsseler, A.K.; Balasa, I.; Kricheldorf, H.-U.; Vergöhl, M.; Jensen, L.; Ristau, D.
Konferenzbeitrag
2017Electrochromic properties of mixed oxides based on titanium and niobium for smart window applications
Ulrich, S.; Szyszko, C.; Jung, S.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2016Beschichteter Gegenstand und Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Gegenstands
Vergöhl, Michael; Bruns, Stefan; Kricheldorf, Hans-Ulrich; Schäfer, Lothar; Höfer, Markus
Patent
2016Deposition of abrasion resistant single films and antireflective coatings on sapphire
Bruns, S.; Vergöhl, M.; Zickenrott, T.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016Direct metallization of PMMA with aluminum films using HIPIMS
Bandorf, R.; Waschke, S.; Carreri, F.C.; Vergöhl, M.; Grundmeier, G.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016Efficient process control and monitoring for HIPIMS applied to deposition of ITO films
Carreri, F.C. de; Bandorf, R.; Gerdes, H.; Vergöhl, M.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2016Electrochromic properties of mixed oxides based on titanium and niobium for smart window application
Ulrich, S.; Szyszko, C.; Jung, S.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2016Highly insulating alumina films by a bipolar reactive MF sputtering process with special arc handling
Carreri, F.C.; Bandorf, R.; Gerdes, H.; Vergöhl, M.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016HIPIMS ITO films from a rotating cylindrical cathode
Carreri, F.C.; Sabelfeld, A.; Gerdes, H.; Bandorf, R.; Vergöhl, M.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016Magnetron sputtering of precision optical coatings enabled by process stability of rotatable cathodes
Bruns, S.; Vergöhl, M.; Zickenrott, T.
Konferenzbeitrag
2016Photocatalytic properties of titania thin films prepared by sputtering versus evaporation and aging of induced oxygen vacancy defects
Henkel, B.; Neubert, T.; Zabel, S.; Lamprecht, C.; Selhuber-Unkel, C.; Rätzke, K.; Strunskus, T.; Vergöhl, M.; Faupel, F.
Zeitschriftenaufsatz
2016Towards tuneable thin film filters with the use of liquid crystals
Bartzsch, H.; Frach, P.; Gittner, M.; Bruns, S.; Vergöhl, M.; Seeboth, A.; Lötzsch, D.; Rabe, Ch.
Konferenzbeitrag
2015Deposition of abrasion resistant single films and antireflective coatings on sapphire
Bruns, S.; Vergöhl, M.; Zickenrott, T.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2015Deposition of complex optical interference filters on polymer substrates by magnetron sputtering and PECVD processes
Neubert, T.; Lips, J.; Bandorf, R.; Sabelfeld, A.; Vergöhl, M.; Rohwer, K.; Simon, A.
Konferenzbeitrag
2015Haftfeste Direktmetallisierung von Kunststoffen durch Beschichtung mit Ionen
Bandorf, R.; Waschke, S.; Vergöhl, M.; Grundmeier, G.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz
2015Highly insulating alumina films by a bipolar reactive MF sputtering process with special arc handling
Carreri, F. C.; Bandorf, R.; Gerdes, H.; Vergöhl, M.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2015Industrial-scale deposition of highly uniform and precise optical interference filters by the use of an improved cylindrical magnetron sputtering system
Vergöhl, M.; Bruns, S.; Rademacher, D.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2015Magnetron-Zerstäubung für präzise optische Beschichtungen
Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2015Recent developments in precision optical coatings prepared by cylindrical magnetron sputtering
Bruns, S.; Vergöhl, M.; Zickenrott, T.
Konferenzbeitrag
2015Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung unformer Schichten auf bewegten Substraten und derart hergestellten Schichten
Vergöhl, Michael; Rademacher, Daniel; Zickenrott, Tobias
Patent
2014Numerical optimization of baffles for sputtering optical precision filters
Pflug, A.; Siemers, M.; Melzig, T.; Rademacher, D.; Zickenrott, T.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2014Optische Bauelemente und Verfahren zu deren Herstellung
Neubert, Thomas; Vergöhl, Michael
Patent
2014Progress on optical coatings deposited with dual rotatable magnetrons in a sputter up system
Vergöhl, M.; Rademacher, D.; Pflug, A.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2014Properties of reactive sputtered alumina-silica mixtures
Bruns, S.; Rademacher, D.; Vergöhl, M.; Weiss, P.
Zeitschriftenaufsatz
2014Superposition of mid-frequency and high power impulse magnetron sputtering
Gerdes, H.; Sittinger, V.; Bandorf, R.; Lenck, O.; Vergöhl, M.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2014Verfahren und Vorrichtung zur Beeinflussung der Schichtdickenverteilung auf Substraten sowie derart beschichtete Substrate
Vergöhl, Michael; Rademacher, Daniel; Zickenrott, Tobias
Patent
2013Applications of HIPIMS metal oxides
Sittinger, V.; Lenck, O.; Vergöhl, M.; Szyszka, B.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz
2013Characterization of 31 nonperiodic layers of alternate SiO2/Nb2O5 on glass for optical filters by SIMS, XRR, and ellipsometry
Schiffmann, K.I.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2013Comparison of abrasive tests for transparent optical coatings
Bruns, S.; Montzka, S.; Reimann, W.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2013Herstellung von Polymer- und Polymer-Metalloxid-Kompositschichten
Neubert, T.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2013Impact of thin film fabrication to the optimization process of a multispectral chromatic camera
Taphanel, Miro; Rademacher, D.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2013Numerical shaper optimization for sputtered optical precision filters
Pflug, A.; Siemers, M.; Melzig, T.; Rademacher, D.; Zickenrott, T.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2013Organic optical coatings
Neubert, T.; Vergöhl, M.
Aufsatz in Buch
2013Properties of reactive sputtered alumina-silica mixtures
Bruns, S.; Rademacher, D.; Vergöhl, M.; Weiss, P.
Konferenzbeitrag
2013Recent results of optical coatings deposited on the EOSS coater
Rademacher, D.; Bruns, S.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2013Sputtering of dielectric single layers by metallic mode reactive sputtering and conventional reactive sputtering from cylindrical cathodes in a sputter-up configuration
Rademacher, D.; Zickenrott, T.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2013Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung partikelarmer Schichten auf Substraten
Vergöhl, Michael; Rademacher, Daniel
Patent
2012Applying hafnia mixtures to enhance the laser-induced damage threshold of coatings for third-harmonic generation optics
Mende, M.; Jensen, L.O.; Ehlers, H.; Bruns, S.; Vergöhl, M.; Burdack, P.; Ristau, D.
Konferenzbeitrag
2012Comparison of abrasive tests for transparent optical coatings
Bruns, S.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2012Computational optimization of the thickness uniformity of magnetron-sputtered optical layers by means of particle in cell plasma simulations
Vergöhl, M.; Pflug, A.; Rademacher, D.; Zickenrott, T.
Konferenzbeitrag
2012Gegenstand mit reflexionsmindernder Beschichtung und Verfahren zu dessen Herstellung
Vergöhl, Michael; Rademacher, Daniel; Werber, O.; Bruns, S.; Neubert, T.; Weiss, P.
Patent
2012High rate deposition of mixed oxides by controlled reactive magnetron-sputtering from metallic targets
Bruns, S.; Vergöhl, M.; Werner, O.; Wallendorf, T.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2012Investigations on adhesion of sputtered layers on polytetrafluorethylene surfaces
Neubert, T.; Vergöhl, M.; Strunskus, T.; Faupel, F.
Konferenzbeitrag
2012Manufacturing of high-precision optical coatings using a novel sputtering system
Rademacher, D.; Kreher, S.; Rudin, M.; Vergöhl, M.; Zickenrott, T.
Konferenzbeitrag
2012Manufacturing of high-precision optical coatings using cylindrical cathodes in a sputter-up configuration
Rademacher, D.; Kreher, S.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2012Mixed oxides for ultraviolet coatings prepared by pulsed reactive magnetron sputtering
Bruns, S.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2012Optical properties of silicon titanium oxide mixtures prepared by metallic mode reactive sputtering
Rademacher, D.; Bräuer, G.; Fritz, B.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2012Origin of particles during reactive sputtering of oxides using planar and cylindrical magnetrons
Rademacher, D.; Fritz, B.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2012Sauber durch die Sonne
Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2012Towards ultra-precise optical interference filters on large area: Computational and experimental optimization of the homogeneity of magnetron-sputtered precision optical coatings
Vergöhl, M.; Pflug, A.; Rademacher, D.
Konferenzbeitrag
2011Deposition of optical coatings on plastics using poly-para-xylylene
Neubert, T.; Gaida, A.; Huwer, W.; Nagel, K.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2011In situ thickness determination of multilayered structures using single wavelength ellipsometry and reverse engineering
Rademacher, D.; Vergöhl, M.; Richter, U.
Zeitschriftenaufsatz
2011Magnetron sputtering and its applications
Bräuer, G.; Bandorf, R.; Bewilogua, K.; Diehl, W.; Szyszka, B.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2011Mixed oxide coatings for optics
Stenzel, O.; Wilbrandt, S.; Schürmann, M.; Kaiser, N.; Ehlers, H.; Mende, M.; Ristau, D.; Bruns, S.; Vergöhl, M.; Stolze, M.; Held, M.; Niederwald, H.; Koch, T.; Riggers, W.; Burdack, P.; Mark, G.; Schäfer, R.; Mewes, S.; Bischoff, M.; Arntzen, M.; Eisenkrämer, F.; Lappschies, M.; Jakobs, S.; Koch, S.; Baumgarten, B.; Tünnermann, A.
Zeitschriftenaufsatz
2011New sputtering concept for optical precision coatings
Rademacher, D.; Bräuer, G.; Vergöhl, M.; Fritz, B.; Zickenrott, T.
Konferenzbeitrag
2011Optical and mechanical properties of oxide UV coatings, prepared by PVD techniques
Stenzel, O.; Schürmann, M.; Wilbrandt, S.; Kaiser, N.; Tünnermann, A.; Mende, M.; Ehlers, H.; Ristau, D.; Bruns, S.; Vergöhl, M.; Riggers, W.; Bischoff, M.; Held, M.
Konferenzbeitrag
2011Optical and thin film properties of mixed oxides deposited by pulsed reactive magnetron sputtering
Bruns, S.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2011Organic materials for the use in optical layer systems
Neubert, T.; Gaida, A.; Huwer, W.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2011Partikelarme Beschichtungsprozesse zur Herstellung funktionaler Dünnschichtsysteme für industrielle Anwendungen "PartiPro"
Vergöhl, M.; Starke, K.; Plagemann, P.
Bericht
2011Photocatalytic TiO2 films deposited by different methods
Vergöhl, M.; Althues, H.; Frach, P.; Glöß, D.; Graumann, T.; Hübner, C.; Neumann, F.; Neubert, T.; Schottner, G.; Song, D.-K.
Zeitschriftenaufsatz
2011Reactive HiPIMS of oxides for optical coatings
Vergöhl, M.; Bandorf, R.; Bräuer, G.; Bruns, S.; Werner, O.
Konferenzbeitrag
2010Gepulste Plasmen für industrielle Beschichtungsprozesse
Bräuer, G.; Szyszka, B.; Bandorf, R.; Bewilogua, K.; Brand, J.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2010Grundlagen optischer Schichten
Vergöhl, M.
Aufsatz in Buch
2010High rate deposition of mixed oxides by controlled reactive magnetron-sputtering from metallic targets
Bruns, S.; Vergöhl, M.; Werner, O.; Wallendorf, T.
Konferenzbeitrag
2010In situ thickness determination of multilayered structures using single wavelength ellipsometry and reverse engineering
Rademacher, D.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2010In-Situ Messaufbau für den Einsatz in Beschichtungsanlagen
Szyszka, B.; Pflug, A.; Rademacher, D.; Vergöhl, M.
Patent
2010Magnetron sputtering. Milestones of 30 years
Bräuer, G.; Szyszka, B.; Vergöhl, M.; Bandorf, R.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2010Measurement of the photocatalytic activity of TiO2 films deposited by different methods
Vergöhl, M.; Althues, H.; Frach, P.; Glöß, D.; Graumann, T.; Hübner, C.; Neumann, F.; Neubert, T.; Schottner, G.; Song, D.K.
Konferenzbeitrag
2010New superimposed pulsed plasma technology using High Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS) combined with DC or MF-frequency
Mark, G.; Parra, E.; Bandorf, R.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2010Optische Schichten
Vergöhl, M.
Aufsatz in Buch
2010Organische Schichten für optische Interferenzschichtsysteme
Neubert, T.; Drost, S.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2010Particle generation during reactive magnetron sputtering of SiO2 with cylindrical and planar cathodes
Vergöhl, M.; Rademacher, D.
Konferenzbeitrag
2010Particle generation during reactive sputtering of SiO2 with planar and cylindrical magnetrons
Vergöhl, M.; Rademacher, D.
Konferenzbeitrag
2010Polymer metal oxide composite layers for optical functional coatings
Neubert, T.; Drost, S.; Nagel, K.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2010Properties of TiO2 films deposited by bipolar reactive HiPIMS
Vergöhl, M.; Bruns, S.
Konferenzbeitrag
2010Rotatable target serial co-sputtering
Szyszka, B.; Pflug, A.; Sittinger, V.; Ulrich, S.; Vergöhl, M.; Werner, W.; Kaiser, A.; Jung, S.; Bringmann, U.; Bräuer, G.; Köhl, D.; Austgen, M.; Wuttig, M.; Weis, H.; Herwig, W.; Polle, A.; Herlitze, L.
Konferenzbeitrag
2010Sputtern optischer Schichten mit Rotatable-Kathoden
Vergöhl, M.; Rademacher, D.; Fritz, B.
Konferenzbeitrag
2009Chemischer Mediensensor, Verfahren zu dessen Herstellung sowie Verwendungszwecke
Vergöhl, M.; Jung, T.; Martin, A.; Krauss, A.
Patent
2009HiPIMS - Technologie und Anwendungsfelder
Bandorf, R.; Vergöhl, M.; Werner, O.; Sittinger, V.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz
2009Optisch dünne Schichten mit kontrollierten Eigenschaften durch plasmaunterstütztes Magnetronsputtern
Werner, O.; Neumann, F.; Neubert, T.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2009Process control and thin film properties of Al2O3 layers deposited by high power impulse magnetron sputtering
Vergöhl, M.; Bruns, S.; Werner, O.
Konferenzbeitrag
2009Properties of cosputtered SiO2-Ta2O5-mixtures
Polenzky, C.; Rickers, C.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2008Cosputtered SiOO2R and TaO2ROO5R - influence of temperature and composition to the optical functionality of a Rugate filter
Polenzky, C.; Rickers, C.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2008HIPIMS/HPPMS process design with multi channel pulse pattern controller
Wallendorf, T.; Vergöhl, M.; Werner, O.; Bandorf, R.
Konferenzbeitrag
2008New developments in magnetron sputter processes for precision optics
Vergöhl, M.; Werner, O.; Bruns, S.
Konferenzbeitrag
2008Photokatalytische Titandioxidbeschichtung aus der Gasphase
Neubert, T.; Graumann, T.; Neumann, F.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2008Preparation of photocatalytically active TiOO2R layers on polycarbonate by reactive magnetron sputtering
Neubert, T.; Werner, O.; Neumann, F.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2008Properties of ZrOO2R thin films deposited by plasma assisted pulsed reactive magnetron sputtering
Vergöhl, M.; Werner, O.; Bruns, S.
Konferenzbeitrag
2008Research on promising applications for high power pulse magnetron sputtering
Sittinger, V.; Szyszka, B.; Bandorf, R.; Vergöhl, M.; Pflug, A.; Christie, D.J.; Ruske, F.
Konferenzbeitrag
2008Smart coatings for intelligent surfaces
Bräuer, G.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Dietz, A.; Lüthje, H.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2008Superimposed MF-HiPIMS processes for the deposition of ZrOO2R thin films
Vergöhl, M.; Werner, O.; Bruns, S.; Wallendorf, T.; Mark, G.
Konferenzbeitrag
2007Characterization of photocatalytic activity of TiO2 thin films for optical applications
Neubert, T.; Sun, W.; Neumann, F.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2007High power pulse magnetron sputtering
Vergöhl, M.; Bandorf, R.; Giesel, P.
Konferenzbeitrag
2007Investigation of HPPMS titania thin films prepared by unipolar, DC-superimposed and bipolar sputtering
Bandorf, R.; Vergöhl, M.; Giesel, P.; Wallendorf, T.; Mark, G.
Konferenzbeitrag
2007Magnetronplasmaanlage
Vergöhl, M.; Bandorf, R.; Mark, G.
Patent
2007Photokatalytisches Schichtsystem mit hohem Schalthub
Vergoehl, M.; Neumann, F.; Bialuch, I.
Patent
2007Physikalisch-chemische und mikrobiologische Wirkung gesputterter photokatalytischer Titanoxid-Schichten
Frach, P.; Glöß, D.; Vergöhl, M.; Hund-Rinke, K.; Trick, I.
Zeitschriftenaufsatz
2007Plasma for surface technology - examples of current developments
Bräuer, G.; Diehl, W.; Frach, P.; Kirchhoff, V.; Sittinger, V.; Szyszka, B.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2007Plasma for surface technology - examples of current developments
Bräuer, G.; Diehl, W.; Frach, P.; Kirchhoff, V.; Sittinger, B.; Szyszka, B.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2007Process technology, applications and potentials of magnetron sputtering technology for optical coatings
Vergöhl, M.; Frach, P.; Bartzsch, H.; Pflug, A.; Rickers, C.
Konferenzbeitrag
2007Temperaturstabiles Schichtsystem
Vergoehl, M.; Rickers, C.; Neumann, F.; Polenzky, C.
Patent
2007Verfahren zur Herstellung von Titanoxidschichten mit hoher photokatalytischer Aktivitaet und dergestalt hergestellte Titanoxidschichten
Neubert, T.; Neumann, F.; Vergoehl, M.
Patent
2006Decomposition ability and bioactivity of photocatalytic TiO2 based layers prepared by reactive pulse magnetron sputtering
Frach, P.; Glöß, D.; Zywitzki, O.; Vergöhl, M.; Neumann, F.; Hund-Rinke, K.; Trick, I.
Konferenzbeitrag
2006Deposition and spectral performance of an inhomogeneous broadband wide-angular antireflective coating
Janicki, V.; Gäbler, D.; Wilbrandt, S.; Leitel, R.; Stenzel, O.; Kaiser, N.; Lappschies, M.; Görtz, B.; Ristau, D.; Rickers, C.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2006Deposition of multilayer optical films and rugate filters deposited by reactive magnetron sputtering
Vergöhl, M.; Rickers, C.; Kricheldorf, U.; Schiffmann, K.; Giesel, P.; Dittrich, R.; Richter, U.
Konferenzbeitrag
2006Deposition of rugate filters by magnetron sputtering technology
Rickers, C.; Polenzky, C.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2006Intelligente Schichten für "denkende Oberflächen"
Bräuer, G.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Dietz, A.; Lüthje, H.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2006Investigation of reactively sputtered titania thin films prepared by DC, pulsed and highly ionized pulsed power magnetron sputtering
Bandorf, R.; Vergöhl, M.; Schiffmann, K.; Wallendorf, T.
Konferenzbeitrag
2006Investigation of TiO2 based thin films deposited by reactive magnetron sputtering for use at high temperatures
Hunsche, B.; Vergöhl, M.; Ritz, A.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2006Kontrasterhoehender Rueckprojektionsschirm
Vergoehl, M.; Neumann, F.; Rickers, C.
Patent
2006Production of MF and DC-pulse sputtered anti-reflective/anti-static optical interference coatings using a large area in-line coater
Sittinger, V.; Pflug, A.; Werner, W.; Rickers, C.; Vergöhl, M.; Kaiser, A.; Szyszka, B.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2006Verfahren zur Quantifizierung der photokatalytischen Aktivitaet von Oberflaechen und dessen Verwendung
Neubert, T.; Neumann, F.; Vergöhl, M.
Patent
2005Photokatalytische Eigenschaften von gesputterten dotierten TiO2 Schichten
Vergöhl, M.; Neumann, F.; Frach, P.; Glöß, D.
Konferenzbeitrag
2005Temperature dependence of the optical properties of mixed oxide thin films deposited by reactive magnetron sputtering
Vergöhl, M.; Hunsche, B.; Ritz, A.
Konferenzbeitrag
2005VERFAHREN ZUR PLASMABEHANDLUNG EINER OBERFLAECHE
Vergoehl, M.; Penache, M.; Klages, C.; Hunsche, B.
Patent
2005Vorrichtung zum Anzeigen von Informationen auf einem transparenten Substrat
Rickers, C.; Vergoehl, M.
Patent
2004Getting smarter
Neumann, F.; Vergöhl, M.; Frach, P.; Glöß, D.
Zeitschriftenaufsatz
2004Investigation of TiO2 based thin films deposited by reactive magnetron sputtering for use at high temperatures
Hunsche, B.; Vergöhl, M.; Ritz, A.
Konferenzbeitrag
2004Kontrasterhoehende Bildwand
Rickers, C.; Vergoehl, M.
Patent
2004Photocatalytic properties of doped TiO2 and of Ti-based mixed oxide thin films prepared by reactive pulse magnetron sputtering
Vergöhl, M.; Frach, P.; Neumann, F.; Hunsche, B.; Glöß, D.
Konferenzbeitrag
2004Production of MF and DC-pulse sputtered precision optical interference coatings using a large area in-line coater
Sittinger, V.; Pflug, A.; Werner, W.; Rickers, C.; Vergöhl, M.; Kaiser, A.; Szyszka, B.
Konferenzbeitrag
2004VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG LOKAL FUNKTIONELLER PHOTOKATALYTISCHER BEREICHE UND DAMIT ERHAELTLICHE GEGENSTAENDE
Vergoehl, M.; Neumann, F.; Thomas, M.; Hunsche, B.; Rickers, C.
Patent
2003Beschichtung mit photoinduzierter Hydrophilie
Vergoehl, M.; Hunsche, B.; Rickers, C.; Klages, C.
Patent
2003Spectrally selective reflecting thin-film filters for laser display technology
Rickers, C.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2003VERFAHREN ZUR REGELUNG VON REAKTIVEN SPUTTERPROZESSEN
Bringmann, U.; Hoeing, T.; Malkomes, N.; Szyszka, B.; Vergoehl, M.; Poeckelmann, R.
Patent
2002Design and manufacture of spectrally selective reflecting coatings for the use with laser display projection screens
Rickers, C.; Vergöhl, M.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2002Spectrally selective reflecting thin-film filters for laser display technology
Rickers, C.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2001Dynamic simulation of process control of the reactive sputter process and experimental results
Malkomes, N.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2001Dynamic simulation of process control of the reactive sputter process using two seperate targets and experimental results
Malkomes, N.; Bierhals, A.; Szyszka, B.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2001Effect of deposition parameters on optical and mechanical properties of MF- and DC-sputtered Nb2O5-films
Hunsche, B.; Vergöhl, M.; Neuhäuser, H.; Klose, F.; Szyszka, B.; Matthee, T.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2001In-situ monitoring of optical coatings on architectural glass and comparison of the accuracy of the layer thicknesses attainable with ellipsometry and photometry
Vergöhl, M.; Malkomes, N.; Matthee, T.; Bräuer, G.; Richter, U.; Nickol, F.-W.; Bruch, J.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2001Large area deposition of transparent and conductive ZnO:Al layers by reactive mid frequency magnetron sputtering
Szyszka, B.; Höing, T.; Jiang, X.; Bierhals, A.; Malkomes, N.; Vergöhl, M.; Sittinger, V.; Bringmann, U.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2001Properties of aluminum-doped zinc oxide films deposited by high rate mid-frequency reactive magnetron sputtering
Malkomes, N.; Vergöhl, M.; Szyszka, B.
Zeitschriftenaufsatz
2001Spektral selektiv reflektierende Bildwand
Klages, C.; Vergoehl, M.
Patent
2000Atmospheric pressure plasma deposition of a-C:H films in barrier discharges
Klages, C.-P.; Thyen, R.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2000Effect of deposition parameters on optical and mechanical film properties of MF- and DC-sputtered Nb2O5-films
Hunsche, B.; Vergöhl, M.; Neuhäuser, H.; Klose, F.; Szyszka, B.; Matthee, T.
Konferenzbeitrag
2000Fensterbeschichtung mit Durchblick
Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2000In-situ Messung dünner Schichten auf Architekturglas
Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2000In-situ monitoring of optical coatings on architectural glass and comparison of the accuracy of the layer thicknesses attainable with ellipsometry and photometry
Vergöhl, M.; Malkomes, N.; Matthee, T.; Bräuer, G.; Richter, U.; Nickol, F.-W.; Bruch, J.
Konferenzbeitrag
2000In-situ spectroscopic ellipsometry and photometry for magnetron sputter process control
Vergöhl, M.; Malkolmes, N.; Matthee, T.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2000In-situ spectroscopic ellipsometry and plasma control for large-scale magnetron sputter deposition processes
Vergöhl, M.; Malkomes, N.; Matthée, T.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2000Optimization of the reflectivity of magnetron sputter deposited silver films
Vergöhl, M.; Malkomes, N.; Szyszka, B.; Neumann, F.; Matthee, T.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2000Real-time control of reactive magnetron-sputter deposited optical filters by in situ spectroscopic ellipsometry
Vergöhl, M.; Malkomes, N.; Matthée, T.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2000Stabilization of high-deposition-rate reactive magnetron sputtering of oxides by in situ spectroscopic ellipsometry and plasma diagnostics
Vergöhl, M.; Hunsche, B.; Malkomes, N.; Matthee, T.; Szyszka, B.
Zeitschriftenaufsatz
2000Stabilization of high-deposition-rate reactive magnetron sputtering of oxides by in situ spectroscopic ellipsometry and plasma diagnostics
Vergöhl, M.; Hunsche, B.; Malkomes, N.; Matthee, T.; Szyszka, B.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
1999Effizienzsteigerung von Beschichtungsprozessen für optische Funktionsschichten auf Architekturglas durch in-situ Kontrolle und Regelung
Vergöhl, M.; Malkomes, N.; Bräuer, G.; Bruch, J.; Jäger, S.; Richter, U.
Konferenzbeitrag
1999Ex situ and in situ spectroscopic ellipsometry of MF and DC-sputtered TiO2 and SiO2 films for process control
Vergöhl, M.; Malkomes, N.; Staedler, T.; Matthee, T.; Richter, U.
Konferenzbeitrag
1999Ex situ and in situ spectroscopic ellipsometry of MF and DC-sputtered TiO2 and SiO2 films for process control
Vergöhl, M.; Malkomes, N.; Staedler, T.; Matthee, T.; Richter, U.
Zeitschriftenaufsatz
1999In-situ Ellipsometrie und Plasmadiagnostik zur Effizienzsteigerung der Abscheidung optischer Funktionsschichten durch reaktives Magnetron-Sputtern
Vergöhl, M.; Malkomes, N.; Bräuer, G.; Bruch, J.; Jäger, S.; Richter, U.
Konferenzbeitrag
1998Vorrichtung zur Darstellung statischer und bewegter Bilder unter Verwendung einer Bildwand, Bildwand sowie Verfahren zur Darstellung und zur Herstellung
Klages, C.P.; Vergoehl, M.; Weber, A.
Patent