Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2004Qualitaetsueberwachung bei einer Fertigung mit breitem Produktspektrum
Oechsner, R.; Tschaftary, T.; Strzyzewski, P.; Pfitzner, L.; Schneider, C.; Hennig, P.
Patent
2001Cost reduction strategies for wafer expenditure
Pfitzner, L.; Benesch, N.; Öchsner, R.; Schmidt, C.; Schneider, C.; Tschaftary, T.; Trunk, R.; Dudenhausen, H.-M.
Zeitschriftenaufsatz
2000Feed-forward control for a lithography/etch sequence
Öchsner, R.; Tschaftary, T.; Sommer, S.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Gerath, H.; Baier, C.; Hafner, M.
Konferenzbeitrag
2000In-production monitoring and control of in situ-chamber clean processes
Roeder, G.; Andrian-Werburg, M. von; Tschaftary, T.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; John, P.; Tegeder, V.
Konferenzbeitrag