Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2003Anordnung zur Bestimmung der Konzentration kontaminierender Teilchen in einem Be- und Entladebereich eines Geraetes zur Verarbeitung wenigstens eines scheibenfoermigen Objektes
Trunk, R.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Storbeck, O.
Patent
2003Partikelmessgeraetanordnung sowie Geraet zur Prozessierung von Halbleiterscheiben mit einer solchen Anordnung
Trunk, R.; Schmid, H.; Schneider, C.; Pfitzner, L.
Patent
2002HandMon-ISPM: Handling monitoring in a loading stations of a furnaces
Trunk, R.; Schmid, H.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Bernhardt, H.; Marx, E.
Konferenzbeitrag
2001Cost reduction strategies for wafer expenditure
Pfitzner, L.; Benesch, N.; Öchsner, R.; Schmidt, C.; Schneider, C.; Tschaftary, T.; Trunk, R.; Dudenhausen, H.-M.
Zeitschriftenaufsatz
2001In Situ Particle Measurement System in Loading Stations of Furnaces
Trunk, R.; Schmid, H.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Bernhardt, H.; Marx, E.
Konferenzbeitrag
2001In-situ particle measurement in loading stations of furnaces
Trunk, R.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Storbeck, O.
Konferenzbeitrag
1999Defektmanagement - In-situ-Partikelmessung in der Halbleiterfertigung zur Prozeß- und Gerätekontrolle
Trunk, R.
Zeitschriftenaufsatz
1999In-situ particle measurements in liquids
Ryssel, H.; Ramin, M.; Schmidt, A.; Trunk, R.
Konferenzbeitrag
1998In situ particle monitoring for vacuum applications
Trunk, R.; Ramin, M.
Konferenzbeitrag
1998Productronica 97. Proceedings HLF. Semiconductor equipment and materials contamination control and defect reduction
Ryssel, H.; Pfitzner, L.; Trunk, R.
Tagungsband