Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2015Integration challenges of ferroelectric hafnium oxide based embedded memory (Invited)
Müller, Johannes; Polakowski, Patrick; Paul, Jan; Riedel, Stefan; Hoffmann, Raik; Drescher, Maximilian; Slesazeck, Stefan; Müller, Stefan; Mulaosmanovic, Halid; Schröder, Uwe; Mikolajick, Thomas; Flachowsky, Stefan; Erben, Elke; Smith, Elliot; Binder, Robert; Triyoso, Dina H.; Metzger, Joachim; Kolodinski, Sabine
Konferenzbeitrag
2014ALD ZrO2 processes for BEoL device applications
Weinreich, Wenke; Seidel, Konrad; Polakowski, Patrick; Riedel, Stefan; Wilde, Lutz; Sundqvist, Jonas; Triyoso, Dina H.; Nolan, Mark G.
Konferenzbeitrag