Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2015Simulation of plasma immersion ion implantation into silicon
Burenkov, A.; Lorenz, J.; Spiegel, Y.; Torregrosa, F.
Konferenzbeitrag
2014Large boron-interstitial cluster modelling in BF3 plasma implanted silicon
Essa, Z.; Cristiano, F.; Spiegel, Y.; Qiu, Y.; Boulenc, P.; Quillec, M.; Taleb, N.; Zographos, N.; Bedel-Pereira, E.; Mortet, V.; Burenkov, A.; Hackenberg, M.; Torregrosa, F.; Tavernier, C.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2014Simulation of AsH3 plasma immersion ion implantation into silicon
Burenkov, Alex; Lorenz, Jürgen; Spiegel, Yohann; Torregrosa, Frank
Konferenzbeitrag
2012BF3 PIII modeling: Implantation, amorphisation and diffusion
Essa, Z.; Cristiano, F.; Spiegel, Y.; Boulenc, P.; Qiu, Y.; Quillec, M.; Taleb, N.; Burenkov, A.; Hackenberg, M.; Bedel-Pereira, E.; Mortet, V.; Torregrosa, F.; Tavernier, C.
Konferenzbeitrag
2012Implantation-induced structural defects in highly activated USJs: Boron precipitation and trapping in pre-amorphised silicon
Cristiano, F.; Essa, Z.; Qiu, Y.; Spiegel, Y.; Torregrosa, F.; Duchaine, J.; Boulenc, P.; Tavernier, C.; Cojocaru, O.; Blavette, D.; Mangelinck, D.; Fazzini, P.F.; Quillec, M.; Bazizi, M.; Hackenberg, M.; Boninelli, S.
Konferenzbeitrag
2012Simulation of BF3 plasma immersion ion implantation into silicon
Burenkov, A.; Hahn, A.; Spiegel, Y.; Etienne, H.; Torregrosa, F.
Konferenzbeitrag
2011Simulation of plasma immersion ion implantation
Burenkov, A.; Pichler, P.; Lorenz, J.; Spiegel, Y.; Duchaine, J.; Torregrosa, F.
Konferenzbeitrag