Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2004Realization and metrological characterization of thickness standards below 100 nm
Thomsen-Schmidt, P.; Hasche, K.; Ulm, G.; Herrmann, K.; Krumrey, M.; Ade, G.; Stümpel, J.; Busch, I.; Schädlich, S.; Schindler, A.; Frank, W.; Hirsch, D.; Procop, M.; Beck, U.
Zeitschriftenaufsatz
2003Metrological characterization of nanometer film thickness standards for XRR and ellipsometry applications
Hasche, K.; Thomsen-Schmidt, P.; Krumrey, M.; Ade, G.; Ulm, G.; Stümpel, J.; Schädlich, S.; Frank, W.; Procop, M.; Beck, U.
Konferenzbeitrag
2002About the calibration of thickness standards on the nanometre scale
Hasche, K.; Ulm, G.; Herrmann, K.; Krumrey, M.; Ade, G.; Stümpel, J.; Busch, I.; Thomsen-Schmidt, P.; Schädlich, S.; Schindler, A.; Frank, W.; Procop, M.; Beck, U.
Konferenzbeitrag
2002Ein Beitrag zu kalibrierten Nanometerschichten für unterschiedliche Anwendungsbereiche
Hasche, K.; Herrmann, K.; Thomsen-Schmidt, P.; Krumrey, M.; Ulm, G.; Ade, G.; Pohlenz, F.; Stümpel, J.; Busch, I.; Schädlich, S.; Frank, W.; Hirsch, D.; Schindler, A.; Procop, M.; Beck, U.
Konferenzbeitrag
2002Film thickness standards on the nanometer scale
Hasche, K.; Ulm, G.; Herrmann, K.; Krumrey, M.; Ade, G.; Stümpel, J.; Busch, I.; Thomsen-Schmidt, P.; Schädlich, S.; Schindler, A.; Frank, W.; Procop, M.; Beck, U.
Konferenzbeitrag
2001Thin layer measurements need reference standards
Hasche, K.; Herrmann, K.; Krumrey, M.; Ulm, G.; Ade, G.; Thomsen-Schmidt, P.; Schädlich, S.; Frank, W.; Procop, M.; Beck, U.
Konferenzbeitrag
1997Investigation of the absorption induced damage in ultraviolet dielectric thin films
Welsch, E.; Ettrich, K.; Blaschke, H.; Schäfer, D.; Kaiser, N.; Thomsen-Schmidt, P.
Zeitschriftenaufsatz
1996Interaction of UV-laser-radiation with dielectric thin films
Kaiser, N.; Welsch, E.; Ettrich, K.; Blaschke, H.; Schäfer, D.; Thomsen-Schmidt, P.
Zeitschriftenaufsatz