Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2010Gütebestimmung von MEMS-Strukturen im Zeitbereich mittels Laser Doppler Vibrometer und einem Logarithmierer
Voigt, S.; Tenholte, D.; Franke, D.; Reuter, D.; Hiller, K.; Gessner, T.; Mehner, J.
Konferenzbeitrag
2008A MEMS friction vacuum gauge suitable for high temperature environment
Tenholte, D.; Kurth, S.; Gessner, T.; Dötzel, W.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2006MEMS Vakuumsensor nach dem Reibungsprinzip
Kurth, S.; Tenholte, D.; Hiller, K.; Kaufmann, C.; Gessner, T.; Dötzel, W.
Patent
2005Post-processing gap reduction in a micromachined resonator for vacuum pressure measurement
Billep, D.; Hiller, K.; Frömel, J.; Tenholte, D.; Reuter, D.; Dötzel, W.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag