Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2013Comparative study of n-LIGBT and n-LDMOS structures on 4H-SiC
Häublein, V.; Temmel, G.; Mitlehner, H.; Rattmann, G.; Strenger, C.; Hürner, A.; Bauer, A.J.; Ryssel, H.; Frey, L.
Konferenzbeitrag
2010Herstellung von flexiblen organischen Bauelementen und Vergleich mit starren Systemen
Güth, F.
: Temmel, G.; Hild, O.R.
Bachelor Thesis
1999Mainstream measurement and dosage of anaesthetic gases by using microsystems
Schnupp, R.; Temmel, G.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1999Sensorsystem und Multisensorsystem zur Erfassung von klimatischen Messdaten sowie Verfahren zur Herstellung des Sensorsystems und des Multisensorsystems
Temmel, G.; Burte, E.
Patent
1999Simulation of the production of functional layers for vibration sensors for tool state monitoring and finite element analysis of mechanical characteristics
Thomas, J.; Kuhnhold, R.; Schnupp, R.; Temmel, G.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1999Thin stoichiometric silicon nitride prepared by r.f. reactive sputtering
Qian, F.; Temmel, G.; Schnupp, R.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1999Vorrichtung zur Bestimmung von Fluidkomponenten und Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung
Temmel, G.; Burte, E.
Patent
1999Vorrichtung zur Emission elektromagnetischer Strahlung durch Gasentladung und Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung
Temmel, G.
Patent
1998A compact ozone measurement system
Qian, F.; Jin, G.R.; Schnupp, R.; Temmel, G.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1998Einsatz von Mikrosystemen in der Anästhesie
Burte, E.; Temmel, G.
Zeitschriftenaufsatz
1998Thin carbon films as elctrodes for bioelectronic applications
Schnupp, R.; Kühnhold, R.; Temmel, G.; Burte, E.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
1997Micromechanical ultrasonic liquid nebulizer
Paneva, R.; Temmel, G.; Burte, E.P.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
1997Mikrosysteme zur Dosierung und Messung von volatilen Anästhetika und Atemgasen in Narkosegeräten
Rintelmann, K.; Hermes, T.; Temmel, G.; Göttler, D.; Kluge, S.; Junger, S.; Kodl, G.; Lutter, N.; Lutter, S.; Habermaier, H.-P.; Woias, P.; Schoenebeck, U. von; Burte, E.
Konferenzbeitrag
1996Entwurf von Vibrationssensoren und Optimierungsanalysen mittels der Methode der finiten Elemente
Thomas, J.; Künhold, R.; Temmel, G.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1996A micro fluid system for liquid dosage and nebulization
Kluge, S.; Woias, P.; Paneva, R.; Hermes, T.; Temmel, G.
Konferenzbeitrag
1996A micro mechanical system for liquid dosage and nebulization
Kluge, S.; Hermes, T.; Paneva, R.; Temmel, G.; Woias, P.
Konferenzbeitrag
1996A micro mechanical system for liquid dosage and nebulization
Temmel, G.; Hermes, T.; Paneva, R.; Kluge, S.; Woias, P.
Konferenzbeitrag
1996Micromechanical ultrasonic liquid nebulizer
Paneva, R.; Temmel, G.; Burte, E.P.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1996Mikrodosierung und Zerstäubung von Flüssigkeiten im µl-Bereich
Paneva, R.; Temmel, G.
Aufsatz in Buch
1995Nitrogen implanted etch-stop layers in silicon
Paneva, R.; Temmel, G.; Ryssel, H.; Burte, E.P.
Konferenzbeitrag
1995Ultrasonic transducer with silicon membrane for liquid nebulization
Paneva, R.; Temmel, G.
Konferenzbeitrag
1995Ultrasonic transducer with silicon. A well known material with new applications
Paneva, R.; Temmel, G.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1993Hochfrequenz-Schmelzsicherung
Duerr, W.; Temmel, G.
Patent
1992In situ measurement for resist thickness control and development endpoint detection
Roeder, G.; Ryssel, H.; Temmel, G.
Konferenzbeitrag
1990Untersuchungen über Regelparameter in einer Lithographiezelle
Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Temmel, G.; Zielonka, G.
Konferenzbeitrag
1989Entwicklung von Prozessmodulen und in-situ-Meßmethoden für ein Flexibles Fotolithografisches Prozeßzentrum
Temmel, G.; Zielonka, G.; Olbrich, H.; Mann, R.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag