Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Reflexionsminderndes Schichtsystem und Verfahren zu dessen Herstellung
Pfeiffer, Kristin; Schulz, Ulrike; Szeghalmi, Adriana
Patent
2016Encapsulation of optical gratings using nanoporous alumina layers
Ghazaryan, Lilit; Kley, Ernst-Bernhard; Szeghalmi, Adriana
Zeitschriftenaufsatz
2016Verfahren zur Herstellung optisch wirksamer Elemente
Szeghalmi, Adriana; Ghazaryan, Lilit; Kley, Ernst Bernhard
Patent
2015Double-sided structured mask for sub-micron resolution proximity i-line mask-aligner lithography
Bourgin, Yannick; Siefke, Thomas; Käsebier, Thomas; Genevee, Pascal; Szeghalmi, Adriana; Kley, Ernst-Bernhard; Zeitner, Uwe D.
Zeitschriftenaufsatz
2015Encapsulation process for diffraction gratings
Ratzsch, Stephan; Kley, Ernst-Bernhard; Tünnermann, Andreas; Szeghalmi, Adriana
Zeitschriftenaufsatz
2015Influence of the oxygen plasma parameters on the atomic layer deposition of titanium dioxide
Ratzsch, Stephan; Kley, Ernst-Bernhard; Tünnermann, Andreas; Szeghalmi, Adriana
Zeitschriftenaufsatz
2012High aspect ratio deep UV wire grid polarizer fabricated by double patterning
Weber, Thomas; Käsebier, Thomas; Szeghalmi, Adriana; Knez, Mato; Kley, Ernst-Bernhard; Tünnermann, Andreas
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag