Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1999Katalytisches Gassensorelement
Drost, S.; Lang, W.; Steiner, P.; Krenkow, A.; Mueller, G.; Hellmich, W.; Beguin, B.; Primet, M.; Manguin Fritsch, A.; Suski, J.; Endres, H.-E.
Patent
1992Stress biasing of thin film membranes
Moldovan, N.; Csepregi, L.; Suski, J.; Lang, W.
Konferenzbeitrag
1992Stress compensation techniques in thin layers applied to silicon micromachining
Mück, G.; Bausells, J.; Csepregi, L.; Moldovan, N.; Suski, J.; Lang, W.
Tagungsband