Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2020MEMS based speakers - sounds good?!
Beer, Daniel; Küller, Jan; Zhykhar, Albert; Fritsch, Tobias; Männchen, Andreas; Strehle, Steffen; Knechtel, Roy; Bös, Joachim
Konferenzbeitrag
2019Investigation of ScAlN for piezoelectric and ferroelectric applications
Petrich, R.; Bartsch, H.; Tonisch, K.; Jaekel, K.; Barth, S.; Bartzsch, H.; Glöß, D.; Delan, A.; Krischok, S.; Strehle, S.; Hoffmann, M.; Müller, J.
Konferenzbeitrag
2019New potential for portable spatial audio with MEMS based speakers
Beer, Daniel; Brocks, Tobias; Küller, Jan; Strehle, Steffen; Koch, Tilman
Konferenzbeitrag
2019Untersuchung von ScAlN für piezoelektrische und ferroelektrische Anwendungen
Petrich, Rebecca; Bartsch, Heike; Tonisch, Katja; Jaekel, Konrad; Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Delan, Annekatrin; Krischok, S.; Strehle, S.; Hoffmann, Martin; Müller, Jens
Konferenzbeitrag
2012Electrical evaluation of Ru-W(-N), Ru-Ta(-N) and Ru-Mn films as Cu diffusion barriers
Wojcik, H.; Kaltofen, R.; Merkel, U.; Krien, C.; Strehle, S.; Gluch, J.; Knaut, M.; Wenzel, C.; Preusse, A.; Bartha, J.W.; Geidel, M.; Adolphi, B.; Neumann, V.; Liske, R.; Munnik, F.
Zeitschriftenaufsatz
2011Comparison of PVD, PECVD and PEALD Ru-TaN films with high Ru concentration for direct Cu plating
Wojcik, H.; Merkel, U.; Bartha, J.W.; Li, J.; Lehninger, D.; Engelmann, H.J.; Popatov, P.; Gluch, J.; Knaut, M.; Strehle, S.; Wenzel, C.; Adolphi, B.; Neumann, V.; Liske, R.
Konferenzbeitrag