Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2020Accuracy analysis of a stand-alone EUV spectrometer for the characterization of ultrathin films and nanoscale gratings
Schröder, Sophia; Bahrenberg, Lukas; Eryilmaz, Nimet Kutay; Glabisch, Sven; Danylyuk, Serhiy; Brose, Sascha; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Konferenzbeitrag
2020Characterization of nanoscale gratings by spectroscopic reflectometry in the extreme ultraviolet with a stand-alone setup
Bahrenberg, Lukas; Danylyuk, Serhiy; Glabisch, Sven; Ghafoori, Moein; Schröder, Sophia; Brose, Sascha; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Zeitschriftenaufsatz
2020Design and realization of an industrial stand-alone EUV resist qualification setup
Lüttgenau, Bernhard; Brose, Sascha; Choi, Seonghyeok; Panitzek, Dieter; Danylyuk, Serhiy; Lebert, Rainer; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Konferenzbeitrag
2020Design of multi-beam optics for high throughput parallel processing
Hofmann, Oskar; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Zeitschriftenaufsatz
2020Highly dynamic positioning of individual laser beams in a multi-beam system for laser surface processing
Hofmann, Oskar; Chemerenko, Olga; Finger, Johannes-Thomas; Eifel, Stephan; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2020Methodik zur kostenbasierten Toleranzbudgetfestlegung optomechanischer Systeme
Grubert, Nicole; König, Georg; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2020Nanoscale grating characterization through EUV spectroscopy aided by machine learning techniques
Bahrenberg, Lukas; Glabisch, Sven; Danylyuk, Serhiy; Ghafoori, Moein; Schröder, Sophia; Brose, Sascha; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Konferenzbeitrag
2020Novel high-contrast phase-shifting masks for EUV interference lithography
Lüttgenau, Bernhard; Brose, Sascha; Danylyuk, Serhiy; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Konferenzbeitrag
2019Accounting for laser beam characteristics in the design of freeform optics for laser material processing
Völl, Annika; Wester, Rolf; Berens, Michael; Buske, Paul; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Zeitschriftenaufsatz
2019Dynamic High-Power Beam-Shaping for 3D Laser Polishing
Hofmann, Oskar; Holters, Martin; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2019EUV-LET 2.0: A compact exposure tool for industrial research at a wavelength of 13.5nm
Brose, Sascha; Danylyuk, Serhiy; Bahrenberg, Lukas; Lebert, Rainer; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter; Juschkin, Larissa
Konferenzbeitrag
2019Industrial photoresist development with the EUV laboratory exposure tool. Mask fabrication, sensitivity and contrast
Brose, Sascha; Danylyuk, Serhiy; Grüneberger, Franziska; Gerngroß, Maik; Stollenwerk, Jochen; Schirmer, Matthias; Loosen, Peter
Konferenzbeitrag
2019Konzept zur Nutzung von Digitalisierung und Vernetzung beim Design, Aufbau und Betrieb optischer Systeme
Prochnau, Marcel Sebastian; König, Georg; Scheres, Sven; Zerbes, Felix; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2019Laboratory-based EUV spectroscopy for the characterization of thin films, membranes and nanostructured surfaces
Bahrenberg, Lukas; Glabisch, Sven; Ghafoori, Moein; Brose, Sascha; Danylyuk, Serhiy; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Konferenzbeitrag
2019Local laser softening of high-strength steel with an adapted intensity
Vogt, Sabrina; Völl, Annika; Wollgarten, Susanne; Freese, Thomas; Stollenwerk, Jochen; Weisheit, Andreas; Loosen, Peter
Zeitschriftenaufsatz
2019Optisches System mit individueller Strahlmanipulation von bis zu 64 Teilstrahlen für die UKP Multistrahl-Lasermaterialbearbeitung
Hesker, Mario; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2019Spectroscopic reflectometry in the extreme ultraviolet for critical dimension metrology
Bahrenberg, Lukas; Danylyuk, Serhiy; Michels, Robert; Glabisch, Sven; Ghafoori, Moein; Brose, Sascha; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Konferenzbeitrag
2018Strukturierungsverfahren
Fader, Robert; Lorenz, Jürgen; Rommel, Mathias; Baum, Mario; Danylyuk, Serhiy; Gillner, Arnold; Stollenwerk, Jochen; Bläsi, Benedikt
Aufsatz in Buch
2017Anordnung und Verfahren zur verzeichnungsfreien zweidimensionalen Ablenkung von räumlich ausgedehnten Intensitätsverteilungen
Büsing, Lasse; Stollenwerk, Jochen
Patent
2017A method of sintering, crystallizing and/or crosslinking of a coating material on a substrate
Stollenwerk, Jochen; Hawelka, Dominik; Mrcarica, Milca
Patent
2015Verfahren zur Auslegung einer Anordnung für die Materialbearbeitung eines Werkstücks sowie Anordnung für die Materialbearbeitung eines Werkstücks
Stollenwerk, Jochen; Holters, Martin; Wester, Rolf
Patent
2015Verfahren zur Homogenisierung der Oberflächentopologie bei der Trocknung einer Beschichtung
Stollenwerk, Jochen; Hawelka, Dominik; Cavadini, Philipp; Scharfer, Philip; Schabel, Wilhelm
Patent
2014Verfahren zur Herstellung einer Beschichtung auf einer Substratoberfläche
Skrynecki, Nicolai; Eimann, Klaus; Stollenwerk, Jochen; Hawelka, Dominik
Patent