Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Accounting for laser beam characteristics in the design of freeform optics for laser material processing
Völl, Annika; Wester, Rolf; Berens, Michael; Buske, Paul; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Zeitschriftenaufsatz
2019Dynamic High-Power Beam-Shaping for 3D Laser Polishing
Hofmann, Oskar; Holters, Martin; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2019Industrial photoresist development with the EUV laboratory exposure tool. Mask fabrication, sensitivity and contrast
Brose, Sascha; Danylyuk, Serhiy; Grüneberger, Franziska; Gerngroß, Maik; Stollenwerk, Jochen; Schirmer, Matthias; Loosen, Peter
Konferenzbeitrag
2019Konzept zur Nutzung von Digitalisierung und Vernetzung beim Design, Aufbau und Betrieb optischer Systeme
Prochnau, Marcel Sebastian; König, Georg; Scheres, Sven; Zerbes, Felix; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2019Laboratory-based EUV spectroscopy for the characterization of thin films, membranes and nanostructured surfaces
Bahrenberg, Lukas; Glabisch, Sven; Ghafoori, Moein; Brose, Sascha; Danylyuk, Serhiy; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Konferenzbeitrag
2019Local laser softening of high-strength steel with an adapted intensity
Vogt, Sabrina; Völl, Annika; Wollgarten, Susanne; Freese, Thomas; Stollenwerk, Jochen; Weisheit, Andreas; Loosen, Peter
Zeitschriftenaufsatz
2019Optisches System mit individueller Strahlmanipulation von bis zu 64 Teilstrahlen für die UKP Multistrahl-Lasermaterialbearbeitung
Hesker, Mario; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2019Spectroscopic reflectometry in the extreme ultraviolet for critical dimension metrology
Bahrenberg, Lukas; Danylyuk, Serhiy; Michels, Robert; Glabisch, Sven; Ghafoori, Moein; Brose, Sascha; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Konferenzbeitrag
2018Strukturierungsverfahren
Fader, Robert; Lorenz, Jürgen; Rommel, Mathias; Baum, Mario; Danylyuk, Serhiy; Gillner, Arnold; Stollenwerk, Jochen; Bläsi, Benedikt
Aufsatz in Buch
2017Anordnung und Verfahren zur verzeichnungsfreien zweidimensionalen Ablenkung von räumlich ausgedehnten Intensitätsverteilungen
Büsing, Lasse; Stollenwerk, Jochen
Patent
2017A method of sintering, crystallizing and/or crosslinking of a coating material on a substrate
Stollenwerk, Jochen; Hawelka, Dominik; Mrcarica, Milca
Patent
2015Verfahren zur Auslegung einer Anordnung für die Materialbearbeitung eines Werkstücks sowie Anordnung für die Materialbearbeitung eines Werkstücks
Stollenwerk, Jochen; Holters, Martin; Wester, Rolf
Patent
2015Verfahren zur Homogenisierung der Oberflächentopologie bei der Trocknung einer Beschichtung
Stollenwerk, Jochen; Hawelka, Dominik; Cavadini, Philipp; Scharfer, Philip; Schabel, Wilhelm
Patent
2014Verfahren zur Herstellung einer Beschichtung auf einer Substratoberfläche
Skrynecki, Nicolai; Eimann, Klaus; Stollenwerk, Jochen; Hawelka, Dominik
Patent