Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2020The Limits of the Post‐Growth Optimization of AlN Thin Films Grown on Si(111) via Magnetron Sputtering
Solonenko, D.; Schmidt, C.; Stoeckel, C.; Hiller, K.; Zahn, D.R.T.
Zeitschriftenaufsatz
2020Piezoelectric scanning micromirror with built-in sensors based on thin film aluminum nitride
Meinel, K.; Stoeckel, C.; Melzer, M.; Zimmermann, S.; Forke, R.; Hiller, K.; Otto, T.
Zeitschriftenaufsatz
2018Thin Film Piezoelectric Aluminum Nitride for Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers
Stoeckel, C.; Meinel, K.; Melzer, M.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2016Piezoelektrische Aluminiumnitrid-Dünnschichten für mikroelektromechanische Systeme
Stöckel, C.
Dissertation
2015Wake up MEMS for inertial sensors
Stoeckel, C.; Billep, D.; Konietzka, S.; Zimmermann, S.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2014High precision vibratory MEMS gyroscope
Billep, D.; Hiller, K.; Hahn, S.; Forke, R.; Köhler, D.; Stöckel, C.; Konietzka, S.; Heinz, S.
Aufsatz in Buch
2014Pulsed DC magnetron sputtered piezoelectric thin film aluminum nitride - Technology and piezoelectric properties
Stoeckel, C.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Schulze, R.; Billep, D.; Gessner, T.
Zeitschriftenaufsatz
2013Optimization of MEMS/NEMS for reliable resonance frequencies
Stoeckel, C.; Hofmann, K.; Forke, R.; Billep, D.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2013Precise determination of piezoelectric longitudinal charge coefficients for piezoelectric thin films assisted by finite element modeling
Stoeckel, C.; Kaufmann, C.; Schulze, R.; Billep, D.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag