Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Thermo-mechanical characterisation of thin sputtered copper films on silicon: Towards elasto-plastic, fatigue and subcritical fracture-mechanical data
Wunderle, B.; May, D.; Zschenderlein, U.; Ecke, R.; Springborn, M.; Jöhrmann, N.; Pareek, K.A.; Heilmann, J.; Stiebing, M.; Arnold, J.; Dudek, R.; Schulz, S.; Wolf, M.J.; Rzepka, S.
Konferenzbeitrag
2017Correlation between mechanical material properties and stress in 3D-integrated silicon microstructures
Stiebing, M.; Vogel, D.; Steller, W.; Wolf, M.J.; Zschenderlein, U.; Wunderle, B.
Konferenzbeitrag
2016Stress investigations in 3D-integrated silicon microstructures
Stiebing, M.; Lörtscher, E.; Steller, W.; Vogel, D.; Wolf, M.J.; Brunschwiler, T.; Wunderle, B.
Konferenzbeitrag
2015Challenges in the reliability of 3D integration using TSVs
Stiebing, M.; Vogel, D.; Steller, W.; Wolf, M.J.; Wunderle, B.
Konferenzbeitrag