Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2002Verfahren zum Erzeugen von Strukturen aus Nanoteilchen
Hartmann, E.; Radojkovic, P.; Schwartzkopff, M.; Marquardt, P.; Steinberger, H.
Patent
1998Health and environmental risks from the operation of CdTe and CIS thin film modules
Steinberger, H.
Konferenzbeitrag
1998Health, safety and environmental risks form the operation of CdTe and CIS thin film modules
Steinberger, H.
Zeitschriftenaufsatz
1992Kurzbericht über die SSA-Konferenz
Steinberger, H.
Tagungsband
1991The cleanroom as an environment for product and fabrication
Steinberger, H.
Konferenzbeitrag
1991Elektronische Baugruppen
Steinberger, H.
Aufsatz in Buch
1991Epitaxial growth of unintentionally p-type doped beta-SiC single crystal layers
Just, W.; Mühlhoff, L.; Scholz, C.; Steinberger, H.; Weber, T.
Konferenzbeitrag
1991Reinraumdesign und Konstruktion
Steinberger, H.
Konferenzbeitrag
1991Zusammenarbeit User - Planer - Architekt
Steinberger, H.
Konferenzbeitrag
1990Angemessene Vorsorge erforderlich
Steinberger, H.
Zeitschriftenaufsatz
1990Erfahrungsbericht einer USA-Reise, Gasdetektion, Überwachung und Infrastruktur von Halbleiterfabriken
Steinberger, H.
Konferenzbeitrag
1990Der Reinraum als Fertigungsstätte für partikelkritische Produkte und Verfahren
Steinberger, H.
Aufsatz in Buch
1990Reinraumdesign und Konstruktion. Konzeption, Planung und Inbetriebnahme. Tl.1
Steinberger, H.
Konferenzbeitrag
1990Sicherheitsaspekte bei Planung und Betrieb von Reinräumen
Steinberger, H.
Aufsatz in Buch
1990Zusammenarbeit User - Planer - Architekt
Steinberger, H.
Konferenzbeitrag
1989Konzeption, Planung und Inbetriebnahme von Reinräumen
Steinberger, H.
Konferenzbeitrag
1989Optically matched capping layers for CO2 laser recrystallization of polysilicon
Buchner, R.; Haberger, K.; Rose, E.; Steinberger, H.
Zeitschriftenaufsatz
1989Staubfrei. Tendenzen der Entwicklung industrieller Reinraumtechniken
Steinberger, H.
Zeitschriftenaufsatz
19883D-IC's - Entwicklungstrends
Steinberger, H.
Zeitschriftenaufsatz
1988CW argon-laser induced zone-melting recrystallization of thin silicon on oxide.
Ryssel, H.; Götzlich, J.; Steinberger, H.; Qiuxia, X
Zeitschriftenaufsatz
1988CW argon-laser-induced zone-melting recrystallization of thin silicon on oxide
Ryssel, H.; Götzlich, J.; Qiuxia, X; Steinberger, H.
Zeitschriftenaufsatz
1988Fast CO2 laser recrystallization for 3D integration
Haberger, K.; Panish, P.; Buchner, R.; Steinberger, H.
Konferenzbeitrag
1988Halbleiterfertigung
Steinberger, H.
Aufsatz in Buch
1988Herstellung von Keramik-Vielschicht-chip-Kondensatoren
Steinberger, H.
Zeitschriftenaufsatz
1988Höchste Reinheit. Stand der Entwicklungen in der Technik für hochreine Räume
Seitz, D.; Steinberger, H.
Zeitschriftenaufsatz
1988Mehr Funktionen auf weniger Raum - Waferkontamination in der IC-Fertigung
Steinberger, H.
Zeitschriftenaufsatz
1988Partikelarme Herstellbedingungen in der Halbleiterfertigung
Steinberger, H.
Konferenzbeitrag
1988Reinräume in der Mikroelektronik, unterstützende Maßnahmen für Mensch und Maschine
Steinberger, H.
Aufsatz in Buch
1988Systeme zur partikelrelevanten Halbleiterfertigung in modernen Räumen
Steinberger, H.
Tagungsband
1988Treffpunkt der Spezialisten - Messebericht Semicon '88 in Zürich
Steinberger, H.
Zeitschriftenaufsatz
1988Verringerte Partikelemission und Kostenreduktion angestrebt
Steinberger, H.
Zeitschriftenaufsatz
1988Wafer-Reinigung in der IC-Fertigung
Steinberger, H.
Zeitschriftenaufsatz
1987High troughput CO2 laser recrystallization for 3D integrated devices
Haberger, K.; Panish, P.; Buchner, R.; Steinberger, H.
Konferenzbeitrag
1987Reinraumtechnik - Portrait einer Branche
Steinberger, H.
Buch
1987Tagungsbericht VDI-Fachtagung - Perspektiven der Reinraumtechnik
Steinberger, H.
Konferenzbeitrag
1987Von anderen lernen - Der Reinraum ist eine Herausforderung
Steinberger, H.
Zeitschriftenaufsatz
1986Dreidimensionale Bauweise integrierter Schaltungen
Steinberger, H.
Zeitschriftenaufsatz
1985Automatische Bestueckung "drahtloser" Baulelemente
Steinberger, H.
Zeitschriftenaufsatz
1985IC-Herstellung - Vom Schaltungsentwurf zum Chip
Steinberger, H.
Zeitschriftenaufsatz