Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2005A contribution of molecular dynamics simulation to sophisticated engineering of coating processes applied to PVD DC sputter deposition
Westkämper, E.; Klein, P.; Gottwald, B.; Sommadossi, S.-A.; Baumann, P.; Gemmler, A.
Zeitschriftenaufsatz
2004Development of tolerances for microsystems on the example of plasma deposited surfaces
Westkämper, E.; Schöbel, J.; Gottwald, B.; Sommadossi, S.-A.
Konferenzbeitrag
2004Die Molekulardynamik-Methode (MD) als Beitrag zum gezielten Engineering von Beschichtungsprozessen am Beispiel des Sputterns
Westkämper, E.; Klein, P.; Gottwald, B.; Sommadossi, S.-A.; Gemmler, A.
Konferenzbeitrag
2003Integration der Schichttechnik in Fertigungsabläufe
Möbius, A.; Holeczek, H.; Gottwald, B.; Sommadossi, S.-A.
Konferenzbeitrag