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| 1994 | Verfahren zum Herstellen einer Silikatschicht in einer integrierten Schaltung und Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens
Sigmund, H.; Klumpp, A. | Patent |
| 1993 | Verfahren zur Kristallisation duenner Halbleiterschichten auf einem Substratmaterial
Sigmund, H.; Stumpff, C. | Patent |
| 1990 | Charakterisierung von Bulk-Punktdefekten in Si MOS-FET Strukturen mittels conductance-DLTS
Lee, G.-Y.; Sigmund, H. | Tagungsband |
| 1990 | Laser temperature interlevel SiO2 layers by photoinduced processing
Sigmund, H.; Klumpp, A.; Springholz, G. | Konferenzbeitrag |
| 1989 | Deposition of high quality SiO2 layers from TEOS by excimer laser
Klumpp, A.; Sigmund, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1989 | Entwicklung und Einsatzmöglichkeit von Produktionssystemen für die modulare Prozesstechnik unter Berücksichtigung photonenunterstützter Prozesse
Sigmund, H.; Haberger, K.; Seegebrecht, P. | Konferenzbeitrag |
| 1989 | Laser-induced formation of SiO2 layers for microelectronics
Sigmund, H. | Konferenzbeitrag |
| 1989 | Photoinduced transformation of polysiloxane layers by SiO2
Klumpp, A.; Sigmund, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1989 | Selective crystallization of silicon layers without seeding and capping layer
Stumpff, C.; Sigmund, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1988 | Kristalline Mehrschicht-Struktur in einer Silizium-Solarzelle
Sigmund, H. | Patent |
| 1986 | Analysis of the current-voltage characteristic of solar cells
Sigmund, H.; Fuchs, D.R. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1986 | Structured deposition of SiO2 and poly-Si by Ar+ -Laser pyrolysis
Sigmund, H.; Metzger, M.; Stumpff, C. | Konferenzbeitrag |
| 1985 | Efficiency of thin solar cells with a heterogen base layer
Sigmund, H. | Konferenzbeitrag |
| 1983 | Doping behavior of implanted Mg in Silicon
Sigmund, H.; Weiss, D. | Aufsatz in Buch |
| 1982 | Solubility of Mg and Ca in Silicon
Sigmund, H.; Weiss, D. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1978 | Verfahren zur Herstellung von Siliciumschichten
Sigmund, H. | Patent |