Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2007Structural characterization of diamond-like carbon films for ultracold neutron applications
Atchison, F.; Brys, T.; Daum, M.; Fierlinger, P.; Foelske, A.; Gupta, A.; Henneck, R.; Heule, S.; Kasprzak, M.; Kirch, K.; Kötz, R.; Kuzniak, M.; Lippert, T.; Meyer, C.F.; Nolting, F.; Pichlmaier, A.; Schneider, D.; Schultrich, B.; Siemroth, P.; Straumann, U.
Zeitschriftenaufsatz
2007Vorrichtung und Verfahren zum Elektronenstrahlaufdampfen von reaktiv gebildeten Schichten auf Substraten
Zimmer, O.; Siemroth, P.; Schultrich, B.; Schenk, S.; Seyfert, U.; Hecht, C.; Reinhold, E.; Schuhmacher, B.
Patent
2004Industrial precision deposition for microelectronics and next generation hard disk
Berthold, J.; Hentsch, W.; Hilgers, H.; Schülke, T.; Siemroth, P.; Seifried, S.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2004A new generation of filtered arc sources for ultrathin top coats on magnetic hard disks
Siemroth, P.; Berthold, J.; Petereit, B.; Schneider, H.H.; Hilgers, H.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2004Pulsed arc deposition of super-hard amorphous carbon films
Schulz, H.; Scheibe, H.-J.; Siemroth, P.; Schultrich, B.
Zeitschriftenaufsatz
2003Akustisches Oberflaechenwellenbauelement
Weihnacht, M.; Siemroth, P.; Weihnacht, V.; Kunze, R.; Schmidt, H.
Patent
2003Characterizing ultra-thin films by laser-acoustics
Schneider, D.; Siemroth, P.
Konferenzbeitrag
2003Gefilterte Bogenbeschichtung - alte Probleme und neue Lösungen
Zimmer, O.; Siemroth, P.; Berthold, J.; Hilgers, H.; Hentsch, W.
Zeitschriftenaufsatz
2003High current filtered arc deposition for ultra thin carbon overcoats on magnetic hard disks and read-write heads
Petereit, B.; Siemroth, P.; Schneider, H.-H.; Hilgers, H.
Zeitschriftenaufsatz
2003Hochstrom-Filterbogen: Eine neue Technik zur Abscheidung von Kohlenstoffschutzschichten in der Magnetspeichertechnologie
Petereit, B.; Schneider, H.H.; Siemroth, P.; Hilgers, H.
Zeitschriftenaufsatz
2003Vakuumbogenverdampfer und Verfahren zu seinem Betrieb
Berthold, J.; Witke, T.; Siemroth, P.
Patent
2003Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Metallisierungen auf Halbleiterkoerpern
Klimes, W.; Wenzel, C.; Urbansky, N.; Siemroth, P.; Schuelke, T.; Schultrich, B.
Patent
2002Konstruktive Entwicklung einer industriell einsetzbaren Filter-HCA-Quelle für superharte Nanometer-Kohlenstoffschichten
Jannasch, K.; Siemroth, P.
Zeitschriftenaufsatz
2002Korrosionsgeschuetztes Stahlblech und Verfahren zu seiner Herstellung
Kretschmar, M.; Bechem, W.; Brisberger, R.; Schuhmacher, B.; Schwerdt, C.; Stahl, J.; Wolfhard, D.; Grundmeier, G.; Kammer, M.; Seyfert, U.; Siemroth, P.; Schultrich, B.; Zimmer, O.; Schenk, S.
Patent
2002Quality control of ultra-thin and super-hard coatings by laser-acoustics
Schneider, D.; Siemroth, P.; Schülke, T.; Berthold, J.; Schultrich, B.; Schneider, H.-H.; Ohr, R.; Petereit, B.; Hillgers, H.
Zeitschriftenaufsatz
2002Superharte Kohlenstoffschichten zum Schutz von Festplatten
Siemroth, P.
Zeitschriftenaufsatz
2001Calculation and measurement of the time dependent erosion rate of electromagnetic steered rectangular arc cathodes
Zimmer, O.; Vetter, J.; Rackwitz, N.; Siemroth, P.
Zeitschriftenaufsatz
2001Characterization of Coatings and Machined Surfaces by Surface Acoustic Waves
Schneider, D.; Schultrich, B.; Siemroth, P.; Leonhardt, M.; Franke, A.
Konferenzbeitrag
2001Superharter Kohlenstoff abgeschieden mit gepulstem Hochstrombogen als Nanoschutzschicht für Magnetspeicherplatten
Neuhäuser, M.; Hilgers, H.; Witke, T.; Siemroth, P.
Zeitschriftenaufsatz
2001Verfahren und Vorrichtung zur Modifizierung von metallischen Werkstueckoberflaechen durch elektrische Entladungen
Siemroth, P.; Schultrich, B.; Kleinert, H.; Grosser, S.
Patent
2000Comparison of filtered high-current pulsed arc deposition (phi-HCA) with conventional vacuum arc methods
Witke, T.; Schülke, T.; Schultrich, B.; Siemroth, P.; Vetter, J.
Zeitschriftenaufsatz
2000Copper metallization in microelectronics using filtered vacuum arc deposition. Principles and technological development
Siemroth, P.; Schülke, T.
Zeitschriftenaufsatz
2000Schaltungsanordnung zur Stromversorgung fuer gepulst betriebene Vakuumboegen
Scheibe, H.J.; Uhlemann, H.J.; Siemroth, P.
Patent
2000Superhard and ultrasmooth carbon films for micromechanical components
Schultrich, B.; Scheibe, H.-J.; Siemroth, P.; Witke, T.
Konferenzbeitrag
1999Comparison of DC and AC arc thin film deposition techniques
Schülke, T.; Witke, T.; Scheibe, H.J.; Siemroth, P.; Schultrich, B.; Zimmer, O.; Vetter, J.
Zeitschriftenaufsatz
1999Deposition of droplet-free by vacuum arc evaporation - results and applications
Witke, T.; Siemroth, P.
Zeitschriftenaufsatz
1999Simulation des Vakuumbogens in industriellen Beschichtungsanlagen als Wechselspiel von nichtlinear-determinierten und von stochastischen Prozessen
Rackwitz, N.; Siemroth, P.; Riedrich, T.; Schultrich, B.
Konferenzbeitrag
1998A comparative study of thermal effects on cold rolled copper induced by cathode spots and short laser pulses
Franz, U.; Lepski, D.; Siemroth, P.
Konferenzbeitrag
1998Copper metallization of submicron trenches with pulsed vacuum arc
Siemroth, P.; Wenzel, C.; Witke, T.; Schultrich, B.
Konferenzbeitrag
1998High current metal-ion source for activated deposition
Witke, T.; Siemroth, P.; Schultrich, B.; Zimmer, O.
Konferenzbeitrag
1998Kohlenstoffschichten für besondere Anwendungen: Superhart, ultraglatt, nano-strukturiert
Scheibe, H.J.; Schultrich, B.; Siemroth, P.; Schneider, D.
Konferenzbeitrag
1998Mechanical properties of laser-assisted deposited amorphous carbon films
Scheibe, H.J.; Schneider, D.; Schultrich, B.; Meyer, C.F.; Ziegele, H.; Siemroth, P.
Konferenzbeitrag
1997Activating adherend surfaces by applying arc-discharge treatment
Kleinert, H.; Großer, S.; Schultrich, B.; Siemroth, P.
Zeitschriftenaufsatz
1997Aktivierte Hochratebeschichtung
Schultrich, B.; Siemroth, P.; Scheibe, H.J.
Zeitschriftenaufsatz
1997Characterization of carbon nitride produced by high-current vacuum arc deposition
Hartmann, J.; Siemroth, P.; Schultrich, B.; Rauschenbach, B.
Zeitschriftenaufsatz
1997Deposition of superhard amorphous carbon films by pulsed arc sources
Scheibe, H.J.; Schultrich, B.; Ziegele, H.; Siemroth, P.
Zeitschriftenaufsatz
1997High rate deposition by vacuum arc methods
Schultrich, B.; Siemroth, P.; Scheibe, H.J.
Zeitschriftenaufsatz
1997Vergleichende Untersuchungen an gepulsten Laser- und Vakuumbogenplasmen
Witke, T.; Schülke, T.; Siemroth, P.; Franz, U.
Abstract
1996Aktivierung von Klebflächen durch Bogenentladungen
Kleinert, H.; Siemroth, P.; Schultrich, B.; Berger, S.; Großer, S.
Konferenzbeitrag
1996Deposition of superhard amorphous carbon films by pulsed vacuum arc
Schultrich, B.; Scheibe, H.J.; Siemroth, P.
Konferenzbeitrag
1996Dynamics of vacuum arc cathode spots at point cathode
Jüttner, B.; Djakov, B.; Siemroth, P.
Konferenzbeitrag
1996Investigation of cathode spots and plasma formation of vacuum arcs by
Siemroth, P.; Schülke, T.; Witke, T.; Rackwitz, N.
Konferenzbeitrag
1996Macroparticle filtering of high-current vacuum arc plasmas
Schülke, T.; Anders, A.; Siemroth, P.
Konferenzbeitrag
1996Vacuum arc cathode spots as a self-similarity phenomenon
Schülke, T.; Siemroth, P.
Zeitschriftenaufsatz
1996Verfahren zur Steuerung einer Vakuum-Lichtbogenentladung
Schulze, D.; Wilberg, R.; Fleischer, W.; Pompe, W.; Scheibe, H.J.; Siemroth, P.; Steigmann, E.
Patent
1995Fundamental processes in vacuum arc deposition
Siemroth, P.; Schultrich, B.; Schülke, T.
Zeitschriftenaufsatz
1994E-Modul von mit gepulstem Vakuumbogen hergestellten diamantähnlichen Kohlenstoffschichten
Schultrich, B.; Grandremy, G.; Schneider, D.; Siemroth, P.; Scheibe, H.J.
Zeitschriftenaufsatz
1994Der Hochstrombogen - eine neue Quelle der Hochratebeschichtung
Siemroth, P.; Schülke, T.; Schultrich, B.
Konferenzbeitrag
1994Der Hochstrombogen - eine neue Quelle der Hochratebeschichtung
Siemroth, P.; Schülke, T.; Witke, T.
Zeitschriftenaufsatz
1994Kurzzeituntersuchung von laser- und bogengestützten Beschichtungsprozessen
Siemroth, P.; Schülke, T.; Witke, T.; Schultrich, B.
Konferenzbeitrag
1994Kurzzeituntersuchungen von laser- und bogengestützten Beschichtungsprozessen
Siemroth, P.; Witke, T.; Schülke, T.; Lenk, A.
Zeitschriftenaufsatz
1994Spektroskopische Untersuchungen von Plasmaprozeßen bei gepulstem Laser- und Bogenabtrag
Witke, T.; Siemroth, P.; Lenk, A.; Schülke, T.
Konferenzbeitrag
1993Laser-Arc - ein neuartiges Verfahren der lasergestützten Vakuumbogenbeschichtung
Siemroth, P.; Schultrich, B.; Scheibe, H.J.
Aufsatz in Buch
1992Diamond-like carbon films prepared by laser arc
Schöneich, B.; Mucha, A.; Siemroth, P.; Scheibe, H.J.
Konferenzbeitrag
1992DLC film preparation by Laser-Arc and properties study
Schöneich, B.; Mucha, A.; Kluge, G.; Siemroth, P.; Scheibe, H.J.
Konferenzbeitrag
1992Film deposition by laser-arcs
Pompe, W.; Bücken, P.; Schulze, D.; Siemroth, P.; Scheibe, H.J.
Konferenzbeitrag
1992Lasergestützte Bogenbeschichtung -Laser-Arc-
Siemroth, P.; Scheibe, H.J.
Aufsatz in Buch
1992Studies of the laser evaporation process and unipolar arcing inside a scanning electron microscope
Pompe, W.; Siemroth, P.; Müller, H.; Wetzig, K.; Weiss, H.-J.
Zeitschriftenaufsatz
1992Verfahrensgrundlagen der Laser-Arc-Verdampfung als Hochrate-Beschichtungsverfahren
Schultrich, B.; Siemroth, P.; Scheibe, H.J.
Konferenzbeitrag
1991Laser-Arc - A new method for preparation of diamond-like carbon films
Schöneich, B.; Pompe, W.; Siemroth, P.; Scheibe, H.J.
Konferenzbeitrag
1990Film deposition by laser-induced vacuum arc evaporation
Siemroth, P.; Scheibe, H.J.
Zeitschriftenaufsatz
1990The method of laser-sustained arc ignition.
Siemroth, P.; Scheibe, H.J.
Zeitschriftenaufsatz
1990Preparation of multilayered film structures by laser arcs.
Pompe, W.; Bücken, P.; Schulze, D.; Wilberg, R.; Siemroth, P.; Scheibe, H.J.
Zeitschriftenaufsatz