Fraunhofer-Gesellschaft

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2017Mechanical, structural, and optical properties of PEALD metallic oxides for optical applications
Shestaeva, S.; Bingel, A.; Munzert, P.; Ghazaryan, L.; Patzig, C.; Tünnermann, A.; Szeghalmi, A.
Zeitschriftenaufsatz
2016AZO/Ag/AZO transparent conductive films: Correlation between the structural, electrical, and optical properties and development of an optical model
Bingel, A.; Stenzel, O.; Naujok, P.; Müller, R.; Shestaeva, S.; Steglich, M.; Schulz, U.; Kaiser, N.; Tünnermann, A.
Zeitschriftenaufsatz
2016Comparative study of ALD SiO2 thin films for optical applications
Pfeiffer, K.; Shestaeva, S.; Bingel, A.; Munzert, P.; Ghazaryan, L.; Helvoirt, C. van; Kessels, W.M.M.; Sanli, U.T.; Grevent, C.; Schütz, G.; Putkonen, M.; Buchanan, I.; Jensen, L.; Ristau, D.; Tünnermann, A.; Szeghalmi, A.
Zeitschriftenaufsatz
2015Plasma-enhanced atomic layer deposition for antireflection coatings using SiO2 as low-refractive index material
Pfeiffer, K.; Shestaeva, S.; Bingel, A.; Munzert, P.; Schulz, U.; Kaiser, N.; Tünnermann, A.; Szeghalmi, A.
Konferenzbeitrag