Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2008Spectroscopic ellipsometry study of thin diffusion barriers of TaN and Ta for Cu interconnects in integrated circuits
Baum, M.; Letsch, H.; Shaporin, A.V.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2007Arrays of Sensors with Variable Stiffness
Shaporin, A.V.; Seifert, M.; Hanf, M.; Hiller, K.; Frühauf, J.; Gessner, T.; Dötzel, W.
Konferenzbeitrag
2007Determination of dimensional parameters in MEMS components by vibration analyses
Kurth, S.; Mehner, J.; Shaporin, A.V.; Michael, S.; Ebert, M.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2007Development and characterization of Cu to Cu bonding technology
Baum, M.; Letsch, H.; Shaporin, A.V.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2007Test-Structure based MEMS Characterization Technique
Shaporin, A.V.; Hanf M.; Forke, R.; Mehner, J.; Gessner, T.; Dötzel, W.
Konferenzbeitrag