Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Design methodology and results evaluation of a heating functionality in modular lab-on-chip systems
Streit, P.; Nestler, J.; Shaporin, A.; Graunitz, J.; Otto, T.
Zeitschriftenaufsatz
2017Investigation on the temperature distribution of integrated heater configurations in a Lab-on-a-Chip system
Streit, P.; Nestler, J.; Schulze, R.; Shaporin, A.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2017MEMS-basiertes Schallemissionssensorsystem für die Zustandsüberwachung
Berner, T.; Schulze, R.; Shaporin, A.; Forke, R.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2017Results of multi-mass high precision vibratory MEMS gyroscopes for two types of system approaches
Popova, I.; Lestev, A.; Fedorov, M.; Rakityansky, O.; Ivanov, V.; Semenov, A.; Forke, R.; Shaporin, A.; Hiller, K.; Koehler, D.; Konietzka, S.
Konferenzbeitrag
2016Thermal design of integrated heating for lab-on-a-chip systems
Streit, P.; Nestler, J.; Shaporin, A.; Schulze, R.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2016Towards nanoreliability of sensors incorporating interfaces between single-walled carbon nanotubes and metals: Molecular dynamics simulations and in situ experiments using electron microscopy
Hartmann, S.; Hermann, S.; Bonitz, J.; Heggen, M.; Hölck, O.; Shaporin, A.; Mehner, J.; Schulz, S.E.; Gessner, T.; Wunderle, B.
Zeitschriftenaufsatz
2015Carbon Nanotube based sensors in MEMS/NEMS
Hermann, S.; Bonitz, J.; Boettger, S.; Hartmann,S; Shaporin, A.; Mehner, J.; Wunderle, B.; Schulz, S.E.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2015Towards nanoreliability of CNT-based sensor applications: Investigations of CNT-metal interfaces combining molecular dynamics simulations, advanced in situ experiments and analytics
Hartmann, S.; Shaporin, A.; Hermann, S.; Bonitz, J.; Heggen, M.; Meszmer, P.; Sturm, H.; Hölck, O.; Blaudeck, T.; Schulz, S.E.; Mehner, J.; Gessner, T.; Wunderle, B.
Konferenzbeitrag
2013Determination of parameters with uncertainties for quality control in MEMS fabrication
Gennat, M.; Meinig, M.; Shaporin, A.; Kurth, S.; Rembe, C.; Tibken, B.
Zeitschriftenaufsatz
2013Piezoresistive force sensor and thermal actuators usage as applications to nanosystems manipulation: Design, simulations, technology and experiments
Schondelmaier, G.; Hartmann, S.; May, D.; Shaporin, A.; Voigt, S.; Rodriguez, R.D.; Gordan, O.D.; Zahn, D.R.T.; Mehner, J.; Hiller, K.; Wunderle, B.
Konferenzbeitrag
2013Wafer-level technology for piezoresistive electro-mechanical transducer based on Carbon Nanotubes
Shaporin, A.; Hermann, S.; Kaufmann, C.; Schulz, S.E.; Gessner, T.; Voigt, S.; Mehner, J.; Hartmann, S.; Wunderle, B.; Bonitz, J.
Konferenzbeitrag
2012Out of plane capacitive transducer in air gap insulation microstructures technology for high precision monolithic 3-axis sensors
Reuter, D.; Nowack, M.; Shaporin, A.; Rockstroh, J.; Haas, S.; Bertz, A.; Mehner, J.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2011Crack propagation in micro-chevron-test samples of direct bonded silicon-silicon wafers
Vogel, K.; Wuensch, D.; Shaporin, A.; Mehner, J.; Billep, D.; Wiemer, M.
Zeitschriftenaufsatz
2009Novel test structures for characterization of microsystems parameters at wafer level
Shaporin, A.; Streit, P.; Specht, H.; Mehner, J.; Dötzel, W.
Konferenzbeitrag
2009Resonant mode detection for fast determination of structural and material parameters of MEMS
Meinig, M.; Kurth, S.; Shaporin, A.; Bauer, W.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2009Time efficient test method for dimensional parameter determination based on resonant mode detection
Meinig, M.; Kurth, S.; Shaporin, A.; Giessmann, S.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2008Characterization of mechanical shock by impulse specific peak deflection (ISPD)
Kurth, S.; Shaporin, A.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2008Reliability of MEMS devices in shock and vibration overload situations
Kurth, S.; Shaporin, A.; Hiller, K.; Kaufmann, C.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2008Spectroscopic ellipsometry study of thin diffusion barriers of TaN and Ta for Cu interconnects in integrated circuits
Baum, M.; Letsch, H.; Shaporin, A.V.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2008Technology dependent design and characterization of silicon vibration sensors with linear tunable band selectivity
Shaporin, A.; Forke, R.; Dienel, M.; Naumann, M.; Scheibner, D.; Dötzel, W.; Mehner, J.
Konferenzbeitrag
2008Technology dependent design and characterization of silicon vibration sensors with linear tunable band selectivity
Shaporin, A.; Forke, R.; Dienel, M.; Naumann, M.; Scheibner, D.; Dötzel, W.; Mehner, J.
Konferenzbeitrag
2008Test-structures for wafer level microsystems characterization
Shaporin, A.; Forke, R.; Schmiedel, R.; Dötzel, W.
Konferenzbeitrag
2007Arrays of Sensors with Variable Stiffness
Shaporin, A.V.; Seifert, M.; Hanf, M.; Hiller, K.; Frühauf, J.; Gessner, T.; Dötzel, W.
Konferenzbeitrag
2007Determination of dimensional parameters in MEMS components by vibration analyses
Kurth, S.; Mehner, J.; Shaporin, A.V.; Michael, S.; Ebert, M.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2007Development and characterization of Cu to Cu bonding technology
Baum, M.; Letsch, H.; Shaporin, A.V.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2007MEMS Characterization Technique Based on Special Designed Test-Structures
Shaporin, A.; Forke, R.; Doetzel, W.; Mehner, J.
Konferenzbeitrag
2007Test-Structure based MEMS Characterization Technique
Shaporin, A.V.; Hanf M.; Forke, R.; Mehner, J.; Gessner, T.; Dötzel, W.
Konferenzbeitrag
2007Vollautomatisierter Test von Mikrosystemen auf dem Wafer
Giessmann, S.; Geissler, H.; Werner, F.-M.; Kurth, S.; Michael, S.; Rembe, C.; Klattenhoff, J.; Armbruster, B.; Shaporin, A.
Konferenzbeitrag
2006Schalteranordnung zur Ansteuerung einer Antennenanordnung mit einzelnen Antennenelementen mit einer Mehrzahl von matrixförmig angeordneten Schaltern und Verfahren zum Schalten von matrixförmig angeordneten Schaltern
Kurth, S.; Frömel, J.; Voigt, S.; Leidich, S.; Nestler, J.; Shaporin, A.; Dötzel, W.; Gessner, T.
Patent
2005Novel modeling techniques of MEMS sensors and actuators for electronic and system design in automotive applications
Mehner, J.E.; Shaporin, A.; Kolchuzhin, V.; Doetzel, W.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2004Parametric variational finite element method for MEMS electrostatic problems
Shaporin, A.; Kolchuzhin, V.; Mehner, J.; Dötzel, W.
Konferenzbeitrag