Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2020Fabrication of a microcantilever-based aerosol detector with integrated electrostatic on-chip ultrafine particle separation and collection
Bertke, Maik; Xu, Jiushuai; Setiono, Andi; Kirsch, Ina; Uhde, Erik; Peiner, Erwin
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2020In-plane and out-of-plane MEMS piezoresistive cantilever sensors for nanoparticle mass detection
Setiono, Andi; Bertke, Maik; Nyang’au, Wilson Ombati; Xu, Jiushuai; Fahrbach, Michael; Kirsch, Ina; Uhde, Erik; Deutschinger, Alexander; Fantner, Ernest J.; Schwalb, Christian H.; Wasisto, Hutomo Suryo; Peiner, Erwin
Zeitschriftenaufsatz