Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1999Vorrichtung zum Strukturieren einer photolithographischen Schicht
Paufler, J.; Seltmann, R.; Kueck, H.
Patent
1997High-throughput optical direct write lithography
Paufler, J.; Kück, H.; Seltmann, R.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Zimmer, G.
Zeitschriftenaufsatz
1996Deformable micromirror devices as phase modulation high resolution light valves
Kück, H.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Grundke, W.; Melcher, R.; Paufler, J.; Seltmann, R.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1996Mikrospiegelanordnungen in CMOS-kompatibler Oberflächenmikromechanik
Doleschal, W.; Gehner, A.; Kück, A.; Paufler, J.; Seltmann, R.
Aufsatz in Buch
1996New system for fast submicron optical direct writing
Seltmann, R.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Kück, H.; Melcher, R.; Paufler, J.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1995Deformable micromirror devices as phase modulation high resolution light valves
Kück, Heinz; Doleschal, Wolfgang; Gehner, Andreas; Grundke, W.; Melcher, Rolf; Paufler, Jörg; Seltmann, Rolf; Zimmer, Günter
Konferenzbeitrag
1995Ein neues System für eine schnelle, maskenlose optische Mikrolithografie
Bollerott, M.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Grinewitschus, V.; Grundke, W.; Hille, F.; Kück, H.; Mahdavi, P.; Melcher, R.; Paufler, J.; Seltmann, R.
Aufsatz in Buch
1995New system for fast submicron laser direct writing
Kück, Heinz; Bollerott, Michael; Doleschal, Wolfgang; Gehner, Andreas; Kunze, Detlef; Grundke, Wolfram; Melcher, Rolf; Paufler, Jörg; Seltmann, Rolf; Zimmer, Günter
Konferenzbeitrag
1995New system for fast submicron optical direct writing
Seltmann, R.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Kück, H.; Melcher, R.; Paufler, J.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1992In-process image detecting technique for determination of overlay, and image quality for ASM-L wafer stepper
Pforr, R.; Wittekoek, S.; VanDenBosch, R.; VanDenHove, L.; Jonckheere, R.; Fahner, T.; Seltmann, R.
Konferenzbeitrag