Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2021Comparison of Analog and Noise Performance between Buried Channel versus Surface Devices in HKMG I/O Devices
Pirro, L.; Jayakumar, A.; Zimmerhackl, O.; Lipp, D.; Illgen, R.; Muehlhoff, A.; Pfuetzner, R.; Zaka, A.; Otto, M.; Hoentschel, J.; Raffel, Y.; Seidel, K.; Olivo, R.
Konferenzbeitrag
2021Ferroelectric Field Effect Transistors as a Synapse for Neuromorphic Application
Lederer, M.; Kämpfe, T.; Ali, T.; Müller, F.; Olivo, R.; Hoffmann, R.; Laleni, N.; Seidel, K.
Zeitschriftenaufsatz
2021Ferroelektrischer Dünnschichttransistor und Verfahren zum Herstellen eines ferroelektrischen Dünnschichttransistors
Ali, Tarek Nadi Ismail; Polakowski, Patrick; Seidel, Konrad
Patent
2021A Fully Integrated Ferroelectric Thin-Film-Transistor - Influence of Device Scaling on Threshold Voltage Compensation in Displays
Lehninger, D.; Ellinger, M.; Ali, T.; Li, S.; Mertens, K.; Lederer, M.; Olivio, R.; Kampfe, T.; Hanisch, N.; Biedermann, K.; Rudolph, M.; Brackmann, V.; Sanctis, C.; Jank, M.; Seidel, K.
Zeitschriftenaufsatz
2021Impact of the Nonlinear Dielectric Hysteresis Properties of a Charge Trap Layer in a Novel Hybrid High-Speed and Low-Power Ferroelectric or Antiferroelectric HSO/HZO Boosted Charge Trap Memory
Ali, T.; Mertens, K.; Olivo, R.; Rudolph, M.; Oehler, S.; Kuhnel, K.; Lehninger, D.; Muller, F.; Hoffmann, R.; Schramm, P.; Biedermann, K.; Metzger, J.; Binder, R.; Czernohorsky, M.; Kampfe, T.; Muller, J.; Seidel, K.; Houdt, J. Van; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021Impact of the SiO2 interface layer on the crystallographic texture of ferroelectric hafnium oxide
Lederer, M.; Reck, A.; Mertens, K.; Olivo, R.; Bagul, P.; Kia, A.; Volkmann, B.; Kämpfe, T.; Seidel, K.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021On the Origin of Wake-Up and Antiferroelectric-Like Behavior in Ferroelectric Hafnium Oxide
Lederer, M.; Olivo, R.; Lehninger, D.; Abdulazhanov, S.; Kämpfe, T.; Kirbach, S.; Mart, C.; Seidel, K.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021Tribolium castaneum defensin 1 kills Moraxella catarrhalis in an in vitro infection model but does not harm commensal bacteria
Bertrams, W.; Lindhauer, N.S.; Rieke, M.C.; Paas, A.; Hoffmann, K.; Greene, B.; Visekruna, A.; Vilcinskas, A.; Seidel, K.; Schmeck, B.
Zeitschriftenaufsatz
2020Back-End-of-Line Compatible Low-Temperature Furnace Anneal for Ferroelectric Hafnium Zirconium Oxide Formation
Lehninger, D.; Olivo, R.; Ali, T.; Lederer, M.; Kämpfe, T.; Mart, C.; Biedermann, K.; Kühnel, K.; Roy, L.; Kalkani, M.; Seidel, K.
Zeitschriftenaufsatz
2020Charge Pumping and Flicker Noise-based Defect Characterization in Ferroelectric FETs
Raffel, Y.; Lederer, M.; Olivo, R.; Müller, F.; Hoffmann, R.; Ali, T.; Kämpfe, T.; Seidel, K.; Heitmann, J.
Konferenzbeitrag
2020Effect of Substrate Implant Tuning on the Performance of MFIS Silicon Doped Hafnium Oxide (HSO) FeFET Memory
Ali, T.; Kühnel, K.; Mertens, K.; Czernohorsky, M.; Rudolph, M.; Duhan, P.; Lehninger, D.; Hoffmann, R.; Steinke, P.; Müller, J.; Houdt, J. van; Seidel, K.; Eng, L.M.
Konferenzbeitrag
2020FeFET: A versatile CMOS compatible device with game-changing potential
Beyer, S.; Dünkel, S.; Trentzsch, M.; Müller, J.; Hellmich, A.; Utess, D.; Paul, J.; Kleimaier, D.; Pellerin, J.; Müller, S.; Ocker, J.; Benoist, A.; Zhou, H.; Mennenga, M.; Schuster, M.; Tassan, F.; Noack, M.; Pourkeramati, A.; Müller, F.; Lederer, M.; Ali, T.; Hoffmann, R.; Kämpfe, T.; Seidel, K.; Mulaosmanovic, H.; Breyer, E.T.; Mikolajick, T.; Slesazeck, S.
Konferenzbeitrag
2020Furnace annealed HfO2-Films for the Integration of Ferroelectric Functionalities into the BEoL
Lehninger, D.; Ali, T.; Olivo, R.; Lederer, M.; Kämpfe, T.; Mertens, K.; Seidel, K.
Konferenzbeitrag
2020Heavy Ion Irradiation Effects on Structural and Ferroelectric Properties of HfO2 Films
Kämpfe, T.; Vogel, T.; Olivo, R.; Lederer, M.; Kaiser, N.; Petzold, S.; Ali, T.; Lehninger, D.; Trautmann, C.; Alff, L.; Seidel, K.
Konferenzbeitrag
2020Impact of Channel Implant Variation on RTN and Flicker Noise
Raffel, Y.; Seidel, K.; Pirro, L.; Lehmann, S.; Hoffmann, R.; Olivo, R.; Kämpfe, T.; Heitmann, J.
Konferenzbeitrag
2020Impact of Ferroelectric Wakeup on Reliability of Laminate based Si-doped Hafnium Oxide (HSO) FeFET Memory Cells
Ali, T.; Kühnel, K.; Czernohorsky, M.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Olivo, R.; Lehninger, D.; Mertens, K.; Müller, F.; Lederer, M.; Hoffmann, R.; Mart, C.; Kalkani, M.N.; Steinke, P.; Kämpfe, T.; Müller, J.; Houdt, J. van; Seidel, K.; Eng, L.M.
Konferenzbeitrag
2020Integration of Hafnium Oxide on Epitaxial SiGe for p-type Ferroelectric FET Application
Lederer, M.; Müller, F.; Kühnel, K.; Olivo, R.; Mertens, K.; Trentzsch, M.; Dünkel, S.; Müller, J.; Beyer, S.; Seidel, K.; Kämpfe, T.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2020Interplay Between Switching and Retention in HfO2-Based Ferroelectric FETs
Mulaosmanovic, H.; Müller, F.; Lederer, M.; Ali, T.; Hoffmann, R.; Seidel, K.; Zhou, H.; Ocker, J.; Mueller, S.; Dunkel, S.; Kleimaier, D.; Muller, J.; Trentzsch, M.; Beyer, S.; Breyer, E.T.; Mikolajick, T.; Slesazeck, S.
Zeitschriftenaufsatz
2020A Novel Dual Ferroelectric Layer Based MFMFIS FeFET with Optimal Stack Tuning Toward Low Power and High-Speed NVM for Neuromorphic Applications
Ali, T.; Seidel, K.; Kühnel, K.; Rudolph, M.; Czernohorsky, M.; Mertens, K.; Hoffmann, R.; Zimmermann, K.; Mühle, U.; Müller, J.; Houdt, J. van; Eng, L.M.
Konferenzbeitrag
2020A novel hybrid high-speed and low power antiferroelectric HSO boosted charge trap memory for high-density storage
Ali, T.; Mertens, K.; Olivo, R.; Rudolph, M.; Oehler, S.; Kühnel, K.; Lehninger, D.; Müller, F.; Lederer, M.; Hoffmann, R.; Schramm, P.; Biedermann, K.; Kia, A.M.; Metzger, J.; Binder, R.; Czernohorsky, M.; Kämpfe, T.; Müller, J.; Seidel, K.; Houdt, J.V. van; Eng, L.M.
Konferenzbeitrag
2020SoC compatible 1T1C FeRAM memory array based on ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2
Okuno, J.; Kunihiro, T.; Konishi, K.; Maemura, H.; Shute, Y.; Sugaya, F.; Materano, M.; Ali, T.; Kuehnel, K.; Seidel, K.; Schroeder, U.; Mikolajick, T.; Tsukamoto, M.; Umebayashi, T.
Konferenzbeitrag
2020Spannungskontrollierbarer Kondensator mit ferroelektrischer Schicht und Verfahren zum Herstellen des spannungskontrollierbaren Kondensators mit ferroelektrischer Schicht
Kämpfe, Thomas; Polakowski, Patrick; Seidel, Konrad
Patent
2020Spannungskontrollierbarer Kondensator und Verfahren zum Herstellen eines spannungskontrollierbaren Kondensators
Kämpfe, Thomas; Polakowski, Patrick; Seidel, Konrad
Patent
2020Structural and Electrical Comparison of Si and Zr Doped Hafnium Oxide Thin Films and Integrated FeFETs Utilizing Transmission Kikuchi Diffraction
Lederer, M.; Kämpfe, T.; Vogel, N.; Utess, D.; Volkmann, B.; Ali, T.; Olivo, R.; Müller, J.; Beyer, S.; Trentzsch, M.; Seidel, K.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2020A Study on the Temperature-Dependent Operation of Fluorite-Structure-Based Ferroelectric HfO2 Memory FeFET: Pyroelectricity and Reliability
Ali, T.; Kühnel, K.; Czernohorsky, M.; Mart, C.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Lehninger, D.; Olivo, R.; Lederer, M.; Müller, F.; Hoffmann, R.; Metzger, J.; Binder, R.; Steinke, P.; Kämpfe, T.; Müller, J.; Seidel, K.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2020A Study on the Temperature-Dependent Operation of Fluorite-Structure-Based Ferroelectric HfO2 Memory FeFET: A Temperature-Modulated Operation
Ali, T.; Kühnel, K.; Czernohorsky, M.; Mart, C.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Lederer, M.; Olivo, R.; Lehninger, D.; Müller, F.; Hoffmann, R.; Metzger, J.; Binder, R.; Steinke, P.; Kämpfe, T.; Müller, J.; Seidel, K.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2020Ultra-Low PoweR TechnologIes and MEmory architectures for IoT
Seidel, Konrad; Eichler, Uwe
Bericht
2019240-GHz Four-Channel Power-Tuning Heterodyne Sensing Readout System with Reflection and Transmission Measurements in a 130-nm SiGe BiCMOS Technology
Wang, D.; Eissa, M.H.; Schmalz, K.; Yun, J.; Malignaggi, A.; Borngräber, J.; Kucharski, M.; Kämpfe, T.; Seidel, K.; Ng, H.J.; Kissinger, D.
Zeitschriftenaufsatz
2019Antibacterial activity of a Tribolium castaneum defensin in an in vitro infection model of Streptococcus pneumoniae
Lindhauer, N.S.; Bertrams, W.; Pöppel, A.; Herkt, C.E.; Wesener, A.; Hoffmann, K.; Greene, B.; Linden, M. van der; Vilcinskas, A.; Seidel, K.; Schmeck, B.
Zeitschriftenaufsatz
2019Gate Stack Optimization Toward Disturb-Free Operation of Ferroelectric HSO based FeFET for NAND Applications
Seidel, K.; Ali, T.; Hoffmann, R.; Kühnel, K.; Czernohorsky, M.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Steinke, P.; Zimmermann, K.; Biedermann, K.; Houdt, J. van
Konferenzbeitrag
2019Local crystallographic phase detection and texture mapping in ferroelectric Zr doped HfO2 films by transmission-EBSD
Lederer, M.; Kämpfe, T.; Olivo, R.; Lehninger, D.; Mart, C.; Kirbach, S.; Ali, T.; Polakowski, P.; Roy, L.; Seidel, K.
Zeitschriftenaufsatz
2019A Multilevel FeFET Memory Device based on Laminated HSO and HZO Ferroelectric Layers for High-Density Storage
Ali, T.; Olivo, R.; Lederer, M.; Hoffmann, R.; Steinke, P.; Zimmermann, K.; Mühle, U.; Seidel, K.; Müller, J.; Polakowski, P.; Kühnel, K.; Czernohorsky, M.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Lehninger, D.; Müller, F.
Konferenzbeitrag
2019Principles and Challenges for Binary Oxide Based Ferroelectric Memory FeFET
Ali, T.; Polakowski, P.; Büttner, T.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Hoffmann, R.; Czernohorsky, M.; Kühnel, K.; Steinke, P.; Eng, L.M.; Seidel, K.
Konferenzbeitrag
2019Principles and Challenges for Binary Oxide Based Ferroelectric Memory FeFET
Ali, T.; Polakowski, P.; Büttner, T.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Hoffmann, R.; Czernohorsky, M.; Kühnel, K.; Steinke, P.; Eng, L.M.; Seidel, K.
Poster
2019Theory and Experiment of Antiferroelectric (AFE) Si-Doped Hafnium Oxide (HSO) Enhanced Floating-Gate Memory
Ali, T.; Polakowski, P.; Büttner, T.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Hoffmann, R.; Czernohorsky, M.; Kühnel, K.; Steinke, P.; Zimmermann, K.; Biedermann, K.; Eng, L.M.; Seidel, K.; Müller, J.
Zeitschriftenaufsatz
2018High Endurance Ferroelectric Hafnium Oxide-Based FeFET Memory Without Retention Penalty
Ali, T.; Polakowski, P.; Riedel, S.; Büttner, T.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Seidel, K.; Löhr, D.; Hoffmann, R.; Czernohorsky, M.; Kühnel, K.; Steinke, P.; Calvo, J.; Zimmermann, K.; Müller, J.
Zeitschriftenaufsatz
2018Lightweight Automobiles ALLIANCE Project: First Results of Environmental and Economic Assessment from a Life-Cycle Perspective
Delogu, Massimo; Pero, Francesco del; Zanchi, Laura; Ierides, Marcos; Fernandez, Violeta; Seidel, Kristian; Thirunavukkarasu, Dinesh; Bein, Thilo
Bericht
2018Silicon doped hafnium oxide (HSO) and hafnium zirconium oxide (HZO) based FeFET
Ali, T.; Polakowski, P.; Riedel, S.; Büttner, T.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Seidel, K.; Löhr, D.; Hoffmann, R.; Czernohorsky, M.; Kühnel, K.; Thrun, X.; Hanisch, N.; Steinke, P.; Calvo, J.; Müller, J.
Zeitschriftenaufsatz
2018Tuning parameters and their impact on ferroelectric hafnium oxide
Polakowski, Patrick; Büttner, Teresa; Ali, Tarek Nadi Ismail; Riedel, Stefan; Kämpfe, Thomas; Seidel, Konrad; Müller, Johannes; Pätzold, Björn
Vortrag
2017Charakterisierung der Zuverlässigkeit in der High-k Metal Gate Technologie
Drescher, Maximilian; Erben, Elke; Grass, Carsten; Trentzsch, Martin; Lazarevic, Florian; Leitsmann, Roman; Plaenitz, Philipp; Mchedlidze, Teimuraz; Seidel, Konrad; Liske, Romy; Bartha, Johann Wolfgang
Konferenzbeitrag
2017Enhanced reliability and capacitance stability of ZrO2-based decoupling capacitors by interface doping with Al2O3
Mart, Clemens; Zybell, Sabine; Riedel, Stefan; Czernohorsky, Malte; Seidel, Konrad; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2017Gewitter im Chip - Resistive Speicher für low-power Anwendungen
Seidel, Konrad; Riedel, Stefan; Kalishettyhalli Ma, Mamathamba; Polakowski, Patrick; Müller, Johannes
Konferenzbeitrag
2017High-K metal gate stacks with ultra-thin interfacial layers formed by low temperature microwave-based plasma oxidation
Czernohorsky, M.; Seidel, K.; Kühnel, K.; Niess, J.; Sacher, N.; Kegel, W.; Lerch, W.
Zeitschriftenaufsatz
2016Identifikation von Zukunftsforschungsfeldern für eine Forschungseinrichtung
Schirrmeister, Elna; Teufel, Benjamin; Schulte, Anna Julia; Notthoff, Claudia; Ardilio, Antonino; Le, Nguyen-Truong; Seidel, Katja; Behlau, Lothar
Konferenzbeitrag
2016La-doped ZrO2 based Back End of Line (BEoL) decoupling capacitors
Weinreich, Wenke; Seidel, Konrad; Polakowski, Patrick; Drescher, Maximilian; Gummenscheimer, A.; Nolan, M.G.; Cheng, L.; Triyoso, D.H.
Poster
2016La-doped ZrO2 based BEoL decoupling capacitors
Weinreich, W.; Seidel, K.; Polakowski, P.; Drescher, M.; Gummenscheimer, A.; Nolan, M.G.; Cheng, L.; Triyoso, D.H.
Konferenzbeitrag
2015Nano patterning at Fraunhofer IPMS-CNT: Fabrication of silicon master for NIL via e-beam direct write
Thrun, Xaver; Choi, Kang-Hoon; Gutsch, Manuela; Hohle, Christoph; Rudolph, Matthias; Seidel, Konrad
Poster
2015Ultra-Thin high density capacitors for advanced packaging solutions
Seidel, K.; Böttcher, M.; Dobritz, S.; Czernohorsky, M.; Riedel, S.; Weinreich, W.
Konferenzbeitrag
2015Untersuchungen an Zylinderlaufbahnen mit neuer galvanisch aufgebrachter Eisenbeschichtung
Beriet, P.; Knapp, A.; Brink, A.; Scherge, M.; Blaszczyk, M.; Möndel, A.; Seidel, K.; Ziegler, G.; Gramm, A.; Gramm, G.
Zeitschriftenaufsatz
2014ALD Ta2O5 and Hf-doped Ta2O5 for BEOL compatible MIM
Triyoso, D.H.; Weinreich, W.; Seidel, K.; Nolan, M.G.; Polakowski, P.; Utess, D.; Ohsiek, S.; Dittmar, K.; Weisheit, M.; Liebau, M.; Fox, R.
Konferenzbeitrag
2014ALD ZrO2 processes for BEoL device applications
Weinreich, Wenke; Seidel, Konrad; Polakowski, Patrick; Riedel, Stefan; Wilde, Lutz; Sundqvist, Jonas; Triyoso, Dina H.; Nolan, Mark G.
Konferenzbeitrag
2014Ferroelectric deep trench capacitors based on Al:HfO2 for 3D nonvolatile memory applications
Polakowski, Patrick; Riedel, Stefan; Weinreich, Wenke; Rudolf, M.; Sundqvist, Jonas; Seidel, Konrad; Müller, Johannes
Konferenzbeitrag
2014Understanding the materials, electrical and reliability impact of Al-addition to ZrO2 for BEOL compatible MIM capacitors
Triyoso, D.H.; Chu, S.; Seidel, K.; Weinreich, W.; Yiang, K.-Y.; Nolan, M.G.; Brunco, D.P.; Rinderknecht, J.; Utess, D.; Kyono, C.; Miller, R.; Park, J.; Cheng, L.; Liebau, M.; Lomtscher, P.; Fox, R.
Konferenzbeitrag
2013Detailed leakage current analysis of metal-insulator-metal capacitors with ZrO2, ZrO2/SiO2/ZrO2, and ZrO2/Al2O3/ZrO2 as dielectric and TiN electrodes
Weinreich, W.; Shariq, A.; Seidel, K.; Sundqvist, J.; Paskaleva, A.; Lemberger, M.; Bauer, A.J.
Zeitschriftenaufsatz
2013Ferroelectric hafnium oxide: A CMOS-compatible and highly scalable approach to future ferroelectric memories
Müller, J.; Böscke, T.S.; Müller, S.; Yurchuk, E.; Polakowski, P.; Paul, J.; Martin, D.; Schenk, T.; Khullar, K.; Kersch, A.; Weinreich, W.; Riedel, S.; Seidel, K.; Kumar, A.; Arruda, T.M.; Kalinin, S.V.; Schlösser, T.; Boschke, R.; Bentum, R. van; Schröder, U.; Mikolajick, T.
Konferenzbeitrag
2013High-density capacitors for SiP and SoC applications based on three-dimensional integrated metal-isolator-metal structures
Weinreich, Wenke; Rudolph, Matthias; Koch, Johannes; Paul, Jan; Seidel, Konrad; Riedel, Stefan; Sundqvist, Jonas
Konferenzbeitrag
2013Optimized electrode and interface for enhanced reliability of high-k based metal-insulator-metal capacitors
Koch, Johannes; Seidel, Konrad; Weinreich, Wenke; Riedel, Stefan; Chiang, Jung-Chin; Beyer, Volkhard
Zeitschriftenaufsatz
2013Reliability comparison of pure ZrO2 and Al- doped ZrO2 MIM capacitors
Seidel, K.; Weinreich, Wenke; Polakowski, P.; Triyoso, D.H.; Nolan, M.G.; Yiang, K.Y.; Chu, S.
Konferenzbeitrag
2013Scaling and optimization of high-density integrated Si-capacitors
Weinreich, W.; Seidel, K.; Rudolph, M.; Koch, J.; Paul, J.; Riedel, S.; Sundqvist, J.; Steidel, K.; Gutsch, M.; Beyer, V.; Hohle, C.
Konferenzbeitrag
2013TEMAZ/O-3 atomic layer deposition process with doubled growth rate and optimized interface properties in metal-insulator-metal capacitors
Weinreich, W.; Tauchnitz, T.; Polakowski, P.; Drescher, M.; Riedel, S.; Sundqvist, J.; Seidel, K.; Shirazi, M.; Elliott, S.D.; Ohsiek, S.; Erben, E.; Trui, B.
Zeitschriftenaufsatz
2012Effect of different PDAs and a PMA on the electrical performance of TiN/ZAZ/TiN MIM capacitors
Weinreich, W.; Seidel, K.; Sundqvist, J.; Czernohorsky, M.; Kucher, P.
Konferenzbeitrag
2012Ferroelectricity in HfO 2 enables nonvolatile data storage in 28 nm HKMG
Müller, J.; Yurchuk, E.; Schlösser, T.; Paul, J.; Hoffmann, R.; Müller, S.; Martin, D.; Slesazeck, S.; Polakowski, P.; Sundqvist, J.; Czernohorsky, M.; Seidel, K.; Kücher, P.; Boschke, R.; Trentzsch, M.; Gebauer, K.; Schröder, U.; Mikolajick, T.
Konferenzbeitrag
2010Characterization of anomalous erase effects in 48 nm TANOS memory cells
Loehr, D.-A.; Hoffmann, R.; Naumann, A.; Paul, J.; Seidel, K.; Czernohorsky, M.; Beyer, V.
Konferenzbeitrag
2010Impact of the storage layer charging on random telegraph noise behavior of sub-50nm charge-trap-based TANOS and floating-gate memory cells
Seidel, K.; Hoffman, R.; Naumann, A.; Paul, J.; Löhr, D.-A.; Czernohorsky, M.; Beyer, V.
Konferenzbeitrag
2009Analysis of trap mechanisms responsible for Random Telegraph Noise and erratic programming on sub-50nm floating gate flash memories
Seidel, Konrad; Hoffmann, Raik; Löhr, Daniel-Andre; Melde, Thomas; Czernohorsky, Malte; Paul, Jan; Beug, M. Florian; Beyer, Volkhard
Konferenzbeitrag
2009Electrical analysis of unbalanced Flash memory array construction effects and their impact on performance and reliability
Seidel, K.; Müller, T.; Brandt, T.; Hoffmann, R.; Löhr, D.-A.; Melde, T.; Czernohorsky, M.; Paul, J.; Beyer, V.
Konferenzbeitrag
2009Improvement of 48 nm TANOS NAND cell performance by introduction of a removable encapsulation liner
Beug, M. Florian; Melde, Thomas; Paul, Jan; Bewersdorff-Sarlette, Ulrike; Czernohorsky, Malte; Beyer, Volkhard; Hoffmann, Raik; Seidel, Konrad; Löhr, Daniel-Andre; Bach, Lars; Knöfler, R.; Tilke, Armin T.
Konferenzbeitrag
2001Engineering-Cooperations. Der Nutzen von Engineering Workflow
Kallmeyer, O.; Hauss, I.; Seidel, K.-A.
: Bullinger, H.-J.; Schraft, R.D.; Westkämper, E.
Studie
2001A process module based methodology for business process engineering and synchronization
Seidel, K.-A.; Richter, M.; Bullinger, H.-J.
Konferenzbeitrag
2000Virtual assembly planning
Bullinger, H.-J.; Richter, M.; Seidel, K.-A.
Zeitschriftenaufsatz
1998Advanced assembly and disassembly planning using virtual reality techniques
Bullinger, H.-J.; Menrad, W.; Seidel, K.-A.
Konferenzbeitrag