Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1991Avoidance of substrate damage upon laser recrystallization of a SOI layer
Wel, W. van der; Seitz, S.; Weber, J.; Buchner, R.; Haberger, K.; Seegebrecht, P.
Zeitschriftenaufsatz
1991CADCALV 1.3 - Electrical field calculation with appropriate pre- and postprocessing for VLSI applications
Laage, M.; Seegebrecht, P.; Seidl, A.
Konferenzbeitrag
1991Laser-Sputtern von Mehrlagen-Metallschichten für eine verbesserte Kontakt- und Metallisierungstechnologie
Seegebrecht, P.; Bollmann, D.; Haberger, K.; Pielmeier, R.
Konferenzbeitrag
1991Laserunterstütztes Aufdampfen von Mehrlager-Metallschichten für eine verbesserte Kontakt- und Metallisierungstechnologie
Pielmeier, R.; Bollmann, D.; Heuberger, K.; Seegebrecht, P.
Konferenzbeitrag
1991Prozeßtechnologie
Schumicki, G.; Seegebrecht, P.
Buch
19903D CMOS devices in recrystallized silicon
Seitz, S.; Weber, J.; Seegebrecht, P.; Wel, W. van der; Buchner, R.; Haberger, K.
Zeitschriftenaufsatz
19893D - CMOS devices in recrystallized silicon
Buchner, R.; Haberger, K.; Seitz, D.; Weber, J.; Wel, W. van der; Seegebrecht, P.
Konferenzbeitrag
1989An advanced fabrication process for 3D-CMOS devices
Buchner, R.; Haberger, K.; Seitz, S.; Weber, J.; Wel, W. van der; Seegebrecht, P.
Konferenzbeitrag
1989Avoidance of substrate damage upon laser recrystallization of an SOI layer
Buchner, R.; Haberger, K.; Wel, W. van der; Seegebrecht, P.
Konferenzbeitrag
1989Entwicklung und Einsatzmöglichkeit von Produktionssystemen für die modulare Prozesstechnik unter Berücksichtigung photonenunterstützter Prozesse
Sigmund, H.; Haberger, K.; Seegebrecht, P.
Konferenzbeitrag
1989Laser recrystallization for three-dimensional integration
Buchner, R.; Haberger, K.; Seitz, S.; Weber, J.; Wel, W. van der; Seegebrecht, P.
Konferenzbeitrag
1989Process technology for 3D-CMOS devices
Buchner, R.; Haberger, K.; Seitz, S.; Weber, J.; Wel, W. van der; Seegebrecht, P.
Konferenzbeitrag
1989SOI-Technologien
Seegebrecht, P.
Konferenzbeitrag
1989Status and progress of 3-D IC technology in Europe
Joly, J.P.; Maes, H.; Seegebrecht, P.
Konferenzbeitrag
1989Substrate damage free laser recrystallization of polysilicon
Buchner, R.; Haberger, K.; Wel, W. van der; Seegebrecht, P.
Konferenzbeitrag
1989Substrate-damage-free laser recrystallization of polycrystalline silicon
Buchner, R.; Haberger, K.; Wel, W. van der; Seegebrecht, P.
Zeitschriftenaufsatz
1989Vertikale Integration - Technologie und Schaltungskonzepte
Drost, S.; Seegebrecht, P.
Konferenzbeitrag
19883-D project and current statics of 3-D technology in West Germany
Seegebrecht, P.
Konferenzbeitrag
1988Effects of different recrystallization processes on the electrical characteristics of underlying MOS devices
Buchner, R.; Panish, P.; Haberger, K.; Seegebrecht, P.
Konferenzbeitrag
1988STACHMOS - a basic 3-dimensional CMOS process
Haberger, K.; Panish, P.; Buchner, R.; Seegebrecht, P.
Konferenzbeitrag