Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2013Fully electrical test procedure for inertial MEMS characterization at wafer-level
Sisto, A.; Schwarzelbach, O.; Fanucci, L.
Konferenzbeitrag
2013Lorentzkraft-basierter MEMS-3D-Magnetfeldsensor für die Integration zu einer 1-Chip 9D IMU
Behmüller, M.; Weiss, M.; Claus, M.; Bohse, S.; Schwarzelbach, O.; Schröder, C.; Reimer, K.
Konferenzbeitrag
2011Einsatz von NI-FPGA-Modulen zur parallelen Vermessung von mikromechanischen Inertialsensoren auf Waferebene
Schwarzelbach, O.
Konferenzbeitrag
2011MEMS scanning laser projection based on high-Q vacuum packaged 2D-resonators
Hofmann, U.; Eisermann, C.; Quenzer, H.-J.; Janes, J.; Schroeder, C.; Schwarzelbach, O.; Jensen, B.; Ratzmann, L.; Giese, T.; Senger, F.; Hagge, J.; Weiss, M.; Wagner, B.; Benecke, W.
Konferenzbeitrag
2011A novel vacuum-packaged low-power scanning mirror with inclined 3D-shaped window
Hofmann, U.; Quenzer, H.J.; Eisermann, C.; Janes, J.; Schroeder, C.; Jensen, B.; Hagge, J.; Soerensen, F.; Senger, F.; Vick, D.; Schwarzelbach, O.; Ratzmann, L.; Giese, T.; Wagner, B.; Benecke, W.
Konferenzbeitrag
2010Combined MEMS inertial sensors for IMU applications
Merz, P.; Reimer, K.; Weiß, M.; Schwarzelbach, O.; Schröder, C.; Giambastiani, A.; Rocchi, A.; Heller, M.
Konferenzbeitrag
2009Combined MEMS Inertial Sensors for IMU Applications
Merz, P.; Reimer, K.; Weiß, M.; Schwarzelbach, O.; Schröder, C.; Giambastiani, A.; Rocchi, A.; Heller, M.
Konferenzbeitrag
2009A novel multi pressure wafer level packaging technology
Merz, P.; Reinert, W.; Schwarzelbach, O.; Reimer, K.
Konferenzbeitrag
2007Entwicklung eines mikromechanischen Drehratensensorsystems mit nichtlinearem Anregungskonzept auf der Basis des am ISIT entwickelten PSM-X2-Prozesses
Schwarzelbach, O.
Dissertation
2006Mikromechanische Gehäusung mit mindestens zwei Kavitäten mit unterschiedlichem Innendruck und/oder unterschiedlicher Gaszusammensetzung sowie Verfahren zu deren Herstellung
Merz, P.; Reinert, W.; Oldsen, M.; Schwarzelbach, O.
Patent
2006Moisture resisitant nano liter packages using metallic seal wafer bonding
Reinert, W.; Merz, P.; Schwarzelbach, O.
Konferenzbeitrag
2006Sensor zur Erfassung von Beschleunigungen
Schwarzelbach, O.; Weiss, M.; Kempe, V.
Patent
2005Rotations-Drehratensensor mit mechanisch entkoppelten Schwingungsmoden
Schwarzelbach, O.
Patent
2001New approach for frequency matching of tuning fork gyrocopes by using a nonlinear driving concept
Schwarzelbach, O.; Fakas, G.; Nienkirchen, W.
Konferenzbeitrag
2000HDL-A-model of a micromachined tuning fork gyroscope
Eichholz, J.; Quenzer, J.; Schwarzelbach, O.; Weiß, M.; Wenk, B.
Konferenzbeitrag
2000Nonlinear resonance behaviour of tuning fork gyroscopes
Schwarzelbach, O.; Eichholz, J.; Quenzer, J.; Weiß, M.; Wenk, B.
Konferenzbeitrag