Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2016Evaluation of water based intelligent fluids for resist stripping in single wafer cleaning tools
Rudolph, Matthias; Esche, Silvio; Hohle, Christoph; Schumann, Dirk; Steinke, Philipp; Thrun, Xaver; Sonntag, Justus von
Konferenzbeitrag
2014Introduction of an innovative water based photoresist stripping process using intelligent fluids
Rudolph, Matthias; Felten, Peter; Thrun, Xaver; Schumann, Dirk; Esche, Silvio; Hohle, Christoph
Konferenzbeitrag