Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2021A 2D circular-scanning piezoelectric MEMS mirror for laser material processing
Senger, Frank; Gu-Stoppel, Shanshan; Wen, Lianzhi; Albers, Jörg; Timmermann, Marec; Bruns, Stefan; Piechotta, Gundula; Buenting, Udo; Schulz-Ruhtenberg, Malte
Konferenzbeitrag
2015Verfahren zur Strukturierung einer elektrisch leitenden oder halbleitenden Schicht
Schaefer, Moritz; Schulz-Ruhtenberg, Malte
Patent