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| 2012 | Glass direct bonding for optical applications
Kalkowski, Gerhard; Rothhardt, Carolin; Jobst, Paul-Johannes; Schürmann, Mark; Eberhardt, Ramona | Zeitschriftenaufsatz |
| 2012 | Optical reflector coatings for astronomical applications from EUV to IR
Schürmann, Mark; Jobst, Paul Johannes; Yulin, Sergiy; Feigl, Torsten; Heiße, Hanno; Wilbrandt, Steffen; Stenzel, Olaf; Gebhardt, Andreas; Risse, Stefan; Kaiser, Norbert | Konferenzbeitrag |
| 2012 | Polierbare Siliziumschichten zur Herstellung ultra-präziser optischer Komponenten
Jobst, Paul Johannes; Schürmann, Mark; Gebhardt, Andreas; Risse, Stefan; Kaiser, Norbert | Konferenzbeitrag |
| 2012 | Simulation der Abscheidung von dielektrischen Schichtsystemen auf große optische Bauteile
Franke, Christian; Schürmann, Mark; Wilbrandt, Steffen; Kaiser, Norbert | Konferenzbeitrag |
| 2012 | Strukturierbare reflexionsgeminderte Chromschichten
Schürmann, Mark; Jobst, Paul-Johannes; Kaiser, Norbert; Luck, Frank-Ulrich; Beier, Bernd; Thaut, Michael | Zeitschriftenaufsatz |
| 2011 | Beschichtung großer Substrate für die Präzisionsoptik
Schürmann, M.; Jobst, P.-J.; Müller, T.; Scheler, M.; Kaiser, N. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2011 | Mixed oxide coatings for optics
Stenzel, O.; Wilbrandt, S.; Schürmann, M.; Kaiser, N.; Ehlers, H.; Mende, M.; Ristau, D.; Bruns, S.; Vergöhl, M.; Stolze, M.; Held, M.; Niederwald, H.; Koch, T.; Riggers, W.; Burdack, P.; Mark, G.; Schäfer, R.; Mewes, S.; Bischoff, M.; Arntzen, M.; Eisenkrämer, F.; Lappschies, M.; Jakobs, S.; Koch, S.; Baumgarten, B.; Tünnermann, A. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2011 | Optical and mechanical properties of oxide UV coatings, prepared by PVD techniques
Stenzel, O.; Schürmann, M.; Wilbrandt, S.; Kaiser, N.; Tünnermann, A.; Mende, M.; Ehlers, H.; Ristau, D.; Bruns, S.; Vergöhl, M.; Riggers, W.; Bischoff, M.; Held, M. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Optics contamination studies in support of high-throughput EUV lithography tools
Hill, S.B.; Faradzhev, N.S.; Richter, L.J.; Grantham, S.; Tarrio, C.; Lucatorto, T.B.; Yulin, S.; Schürmann, M.; Nesterenko, V.; Feigl, T. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Study on the lifetime of Mo/Si multilayer optics with pulsed EUV-source at the ETS
Schürmann, M.; Yulin, S.; Nesterenko, V.; Feigl, T.; Kaiser, N.; Tkachenko, B.; Schürmann, M.C. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Ultra-precise optical mirrors with thick amorphous silicon layer
Risse, S.; Gebhardt, A.; Kolbmüller, A.; Steinkopf, R.; Schürmann, M.; Jobst, J.; Kaiser, N.; Eberhardt, R. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Beschichtungen für die EUV-Lithografie
Feigl, T.; Perske, M.; Pauer, H.; Yulin, S.; Schürmann, M.; Nesterenko, V.; Schröder, S.; Trost, M.; Duparré, A.; Kaiser, N. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Laterally graded Mo/Si multilayer for a 5 steradian EUV collector
Perske, M.; Pauer, H.; Yulin, S.; Nesterenko, V.; Schürmann, M.; Feigl, T.; Kaiser, N. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Multi-technique study of carbon contamination and cleaning of Mo/Si multilayer optics exposed to pulsed EUV radiation
Schürmann, M.; Yulin, S.; Nesterenko, V.; Feigl, T.; Kaiser, N.; Tkachenko, B.; Schürmann, M.C. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Oxidische Mischschichten für UV-Anwendungen
Stenzel, O.; Wilbrandt, S.; Schürmann, M.; Kaiser, N. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Tailored nanocomposite coatings for optics
Stenzel, O.; Wilbrandt, S.; Schürmann, M.; Kaiser, N. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Ultra-precise optical components with machinable silicon layer
Schürmann, M.; Jobst, P.-J.; Kaiser, N.; Kolbmüller, A.; Müller, S.; Gebhardt, A.; Risse, S.; Eberhardt, R. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Ultrapräzise optische Komponenten mit bearbeitbarer Siliziumschicht
Schürmann, M.; Jobst, P.-J.; Kaiser, N.; Kolbmüller, A.; Müller, S.; Gebhardt, A.; Risse, S.; Eberhardt, R. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Verfahren zum silikatischen Bonden von beschichteten und unbeschichteten optischen Körpern
Eberhardt, R.; Schürmann, M.; Kalkowski, G.; Fabian, S.; Jahnke, C. | Patent |
| 2008 | [{2,6-(Me2NCH2)2C6H3}Sn]2: An intramolecularly coordinated diorganodistannyne
Jambor, R.; Kasná, B.; Kirschner, K.N.; Schürmann, M.; Jurkschat, K. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2008 | Altes und Neues über Dünnschicht Stahlteiler
Schürmann, M.; Kaiser, N. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2008 | Enhanced reflectivity and stability of high-temperature LPP collector mirrors
Feigl, T.; Yulin, S.; Perske, M.; Pauer, H.; Schürmann, M.; Kaiser, N.; Böwering, N.R.; Khodykin, O.V.; Fomenkov, I.V.; Brandt, D.C. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Large-scale synthesis of new pyranoid building blocks based on aldolase-catalysed carbon-carbon bond formation
Wolberg, M.; Dassen, B.H.N.; Schürmann, M.; Jennewein, S.; Wubbolts, M.G.; Schoemaker, H.E.; Mink, D. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2008 | Metal layer beamsplitters with one dielectric achromatisation layer
Schürmann, M.; Stöckl, W.; Kaiser, N. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Performance and lifetime of EUV source collectors measured with a full size EUV collector reflectometer
Hinze, U.; Chichkov, B.N.; Feigl, T.; Zeitner, U.D.; Damm, C.; Bolshukhin, D.; Kleinschmidt, J.; Schriever, G.; Schürmann, M.C. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Compact laboratory EUV-lamps: "In-house beamlines" for technologies based on extreme ultraviolet radiation
Lebert, R.; Jägle, B.; Juschkin, L.; Wies, C.; Neff, W.; Barthel, J.; Walter, K.; Bergmann, K.; Schürmann, M.C.; Mißalla, T. | Aufsatz in Buch |
| 2004 | Status of EUV-lamp development and demonstration of applications
Lebert, R.; Wies, C.; Jägle, B.; Juschkin, L.; Bieberle, U.; Meisen, M.; Neff, W.; Bergmann, K.; Walter, K.; Rosier, O.; Schuermann, M.C.; Missalla, T. | Konferenzbeitrag |