Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Cooperative Passive Coherent Location: A Promising 5G Service to Support Road Safety
Thoma, R.S.; Andrich, C.; Galdo, G. Del; Dobereiner, M.; Hein, M.A.; Kaske, M.; Schafer, G.; Schieler, S.; Schneider, C.; Schwind, A.; Wendland, P.
Zeitschriftenaufsatz
2019Integration of atomically thin layers of transition metal dichalcogenides into high-Q, monolithic Bragg-cavities
Knopf, H.; Lundt, N.; Bucher, T.; Höfling, S.; Tongay, S.; Taniguchi, T.; Watanabe, K.; Staude, I.; Schulz, U.; Schneider, C.; Eilenberger, F.
Zeitschriftenaufsatz
2019Intelligente Druckluftsysteme und Datenmodellierung
Reisinger, Martin; Dierolf, Christian; Schneider, Christian; Sauer, Alexander; Hörcher, Günter
Zeitschriftenaufsatz
2019Magnetic-field-induced splitting and polarization of monolayer-based valley exciton polaritons
Lundt, N.; Klaas, M.; Sedov, E.; Waldherr, M.; Knopf, H.; Blei, M.; Tongay, S.; Klembt, S.; Taniguchi, T.; Watanabe, K.; Schulz, U.; Kavokin, A.; Höfling, S.; Eilenberger, F.; Schneider, C.
Zeitschriftenaufsatz
2019Selective Inactivation of Cancer Drugs by SAMHD1 Provides a Molecular Rationale for Therapeutic Stratification in AML
Schneider, C.; Oellerich, T.; Knecht, K.M.; Thomas, D.; Buzovetsky, O.; Schliemann, C.; Bohnenberger, H.; Angenendt, L.; Hartmann, W.; Wardelmann, E.; Scheich, S.; Comoglio, F.; Wilke, A.; Ströbel, P.; Serve, H.; Geisslinger, G.; Keppler, O.T.; Xiong, Y.; Cinatl, J.
Abstract
2019Selective inactivation of hypomethylating agents by SAMHD1 provides a rationale for therapeutic stratification in AML
Oellerich, T.; Schneider, C.; Thomas, D.; Knecht, K.M.; Buzovetsky, O.; Kaderali, L.; Schliemann, C.; Bohnenberger, H.; Angenendt, L.; Hartmann, W.; Wardelmann, E.; Rothenburger, T.; Mohr, S.; Scheich, S.; Comoglio, F.; Wilke, A.; Ströbel, P.; Serve, H.; Michaelis, M.; Ferreiros, N.; Geisslinger, G.; Xiong, Y.; Keppler, O.T.; Cinatl, J.
Zeitschriftenaufsatz
2019Synthesis and characterization of NIR dye-doped nanoparticles for in vivo medical imaging
Schneider, C.; Dembski, S.; Miller, F.; Riess, T.; Jose, J.
Abstract
2018Core-shell nanoparticles and their use for in vitro and in vivo diagnostics
Dembski, Sofia; Schneider, Christine; Christ, Bastian; Retter, Marion
Aufsatz in Buch
2018DIN SPEC 91364: Leitfaden für die Entwicklung neuer Dienstleistungen zur Elektromobilität (DIN SPEC 91364:2018-03)
: Schimanski, Sigmund; Hetterich, Jörg; Schneider, Caroline; Gicklhorn, Katja; Kolz, Dominik; Schwartz, Marcel; Lamberth-Cocca, Sabrina; Meiren, Thomas; Erdmann, Ralf; Meyer, Kyrill
Elektronische Publikation
2018Direct observation and rational design of nucleation behavior in addressable self-assembly
Sajfutdinow, Martin; Jacobs, William M.; Reinhardt, Aleks; Schneider, Christoph; Smith, David M.
Zeitschriftenaufsatz
2018Druckluft 4.0. Von der Strategie zur Lösung
Schneider, Christian
Konferenzbeitrag
2018Low-Carbon-Industrie: Elektrifizierung und geschlossene Kohlenstoffkreisläufe
Schneider, Clemens; Lechtenböhmer, Stefan; Bauer, Thomas; Nitz, Peter; Hettesheimer, Tim; Wietschel, Martin; Meulenberg, Wilhelm; Gurtner, Richard
Konferenzbeitrag
2018Sprachassistenten in der ambulanten Pflege
Hellwig, Andre; Meister, Sven; Deiters, Wolfgang; Schneider, Caroline
Konferenzbeitrag
2018Sprachassistenten in der Pflege - Potentiale und Voraussetzungen zur Unterstützung von Senioren
Hellwig, Andre; Schneider, Caroline; Meister, Sven; Deiters, Wolfgang
Konferenzbeitrag
2018The structural basis for cancer drug interactions with the catalytic and allosteric sites of SAMHD1
Knecht, K.M.; Buzovetsky, O.; Schneider, C.; Thomas, D.; Srikanth, V.; Kaderali, L.; Tofoleanu, F.; Reiss, K.; Ferreirós, N.; Geisslinger, G.; Batista, V.S.; Ji, X.; Cinatl, J.; Keppler, O.T.; Xiong, Y.
Zeitschriftenaufsatz
2018Unterstützung pflegebedürftiger Senioren mit Amazon Echo und Google Home
Schneider, Caroline
: Wojciechowski, Manfred; Meister, Sven
Master Thesis
2017Multifunctional nanoparticles for medical applications
Dembski, Sofia; Schneider, Christine; Straßer, Marion; Christ, Bastian; Probst, Jörn
Konferenzbeitrag
2017Nanoscale patterning of self-assembled monolayer (SAM)-functionalised substrates with single molecule contact printing
Sajfutdinow, Martin; Uhlig, Katja; Prager, Andrea; Schneider, C.; Abel, Bernd; Smith, David M.
Zeitschriftenaufsatz
2017SAMHD1 is a biomarker for cytarabine response and a therapeutic target in acute myeloid leukemia
Schneider, C.; Oellerich, T.; Baldauf, H.-M.; Schwarz, S.-M.; Thomas, D.; Flick, R.; Bohnenberger, H.; Kaderali, L.; Stegmann, L.; Cremer, A.; Martin, M.; Lohmeyer, J.; Michaelis, M.; Hornung, V.; Schliemann, C.; Berdel, W.E.; Hartmann, W.; Wardelmann, E.; Comoglio, F.; Hansmann, M.L.; Yakunin, A.F.; Geisslinger, G.; Ströbel, P.; Ferreiros, N.; Serve, H.; Keppler, O.T.; Cinatl, J.
Zeitschriftenaufsatz
2017Synthesis and characterization of NIR dye-doped nanoparticles for in vivo tumor diagnostics
Schneider, Christine; Dembski, Sofia
Konferenzbeitrag
2016Compact extreme ultaviolet source for laboratory-based photoemission spectromicroscopy
Wilson, D.; Schmitz, C.; Rudolf, D.; Wiemann, C.; Plucinski, L.; Riess, S.; Schuck, M.; Hardtdegen, H.; Schneider, C.M.; Tautz, F.S.; Juschkin, L.
Aufsatz in Buch
2016Compact extreme ultraviolet source for laboratory-based photoemission spectromicroscopy
Schmitz, C.; Wilson, D.; Rudolf, D.; Wiemann, C.; Plucinski, L.; Riess, S.; Schuck, M.; Hardtdegen, H.; Schneider, C.M.; Tautz, F.S.; Juschkin, L.
Zeitschriftenaufsatz
2016Energiespeicher-Monitoring 2016. Deutschland auf dem Weg zum Leitmarkt und Leitanbieter?
Thielmann, Axel; Friedrichsen, Nele; Hettesheimer, Tim; Hummen, Torsten; Sauer, Andreas; Schneider, Christian; Wietschel, Martin
Bericht
2016Wärme und Effizienz für die Industrie
Otto, Alexander; Grube, Thomas; Ortwein, Andreas; Zunft, Stefan; Kaiser, Jan; Krause, Michael; Platzer, Werner; Schneider, Elisabeth; Tänzer, Guillem; Schneider, Clemens; Krönauer, Andreas
Konferenzbeitrag
2015Emulation of virtual radio environments for realistic end-to-end testing for intelligent traffic systems
Hein, M.A.; Bornkessel, C.; Kotterman, W.; Schneider, C.; Sharma, R.K.; Wollenschläger, F.; Thomä, R.S.; Galdo, G. del; Landmann, M.
Konferenzbeitrag
2015Generation of circularly polarized radiation from a compact plasma-based EUV light source for tabletop X-ray magnetic circular dichroism studies
Wilson, D.; Rudolf, D.; Weier, C.; Adam, R.; Winkler, G.; Frömter, R.; Danylyuk, S.; Bergmann, K.; Grützmacher, D.; Schneider, C.M.; Juschkin, L.
Aufsatz in Buch
2014Erratum: "Generation of circularly polarized radiation from a compact plasma-based extreme ultraviolet light source for tabletop X-ray magnetic circular dichroism studies"[Rev. Sci. Instrum. 85, 103110 (2014)]
Wilson, D.; Rudolf, D.; Weier, C.; Adam, R.; Winkler, G.; Frömter, R.; Danylyuk, S.; Bergmann, K.; Grützmacher, D.; Schneider, C.M.; Juschkin, L.
Zeitschriftenaufsatz
2014Generation of circularly polarized radiation from a compact plasma-based extreme ultraviolet light source for tabletop X-ray magnetic circular dichroism studies
Wilson, D.; Rudolf, D.; Weier, C.; Adam, R.; Winkler, G.; Frömter, R.; Danylyuk, S.; Bergmann, K.; Grützmacher, D.; Schneider, C.M.; Juschkin, L.
Zeitschriftenaufsatz
2014Normal-incidence photoemission electron microscopy (NI-PEEM) for imaging surface plasmon polaritons
Kahl, P.; Wall, S.; Witt, C.; Schneider, C.; Bayer, D.; Fischer, A.; Melchior, P.; Horn-von Hoegen, M.; Aeschlimann, M.; Meyer zu Heringdorf, F.-J.
Zeitschriftenaufsatz
2014Virtual electromagnetic environment for over-the-air testing of car-to-car and car-to-infrastructure communication
Sharma, R.K.; Schneider, C.; Kotterman, W.; Sommerkorn, G.; Große, P.; Wollenschläger, F.; Galdo, G. del; Hein, M.A.; Thomä, R.S.
Konferenzbeitrag
2013DNA-directed nanotemplating of components for biosensors
Schneider, Christoph; Kuhlmeier, Dirk; Liedl, Tim; Kacza, J.; Smith, David
Poster
2013Leveraging string kernels for malware detection
Pfoh, J.; Schneider, C.; Eckert, C.
Konferenzbeitrag
2013Over-the-air testing of cognitive radio nodes in a virtual electromagnetic environment
Sharma, Rajesh K.; Kotterman, Wim; Landmann, Markus H.; Schirmer, Christopher; Schneider, Christian; Wollenschläger, Frank; Galdo, Giovanni del; Hein, Matthias A.; Thomä, Reiner S.
Zeitschriftenaufsatz
2013Performance analysis of channel model simplifications for MIMO OTA LTE UE testing
Landmann, Markus; Grossmann, Marcus; Phatak, Naveen; Schneider, Christian; Thomä, Reiner S.; Galdo, Giovanni del
Konferenzbeitrag
2013X-TIER: Kernel module injection
Vogl, S.; Kilic, F.; Schneider, C.; Eckert, C.
Konferenzbeitrag
2012Entwicklung elastopolymerer Venenklappenprothesen mittels 3D-Tröpfchendosiertechnik
Schwarz, Oliver; Schneider, Christian
Bericht
2012Guidelines for the use and interpretation of assays for monitoring autophagy
Klionsky, D.J.; Abdalla, F.C.; Abeliovich, H.; Abraham, R.T.; Acevedo-Arozena, A.; Adeli, K.; Agholme, L.; Agnello, M.; Agostinis, P.; Aguirre-Ghiso, J.A.; Ahn, H.J.; Ait-Mohamed, O.; Ait-Si-Ali, S.; Akematsu, T.; Akira, S.; Al-Younes, H.M.; Al-Zeer, M.A.; Albert, M.L.; Albin, R.L.; Alegre-Abarrategui, J.; Aleo, M.F.; Alirezaei, M.; Almasan, A.; Almonte-Becerril, M.; Amano, A.; Amaravadi, R.; Amarnath, S.; Amer, A.O.; Andrieu-Abadie, N.; Anantharam, V.; Ann, D.K.; Anoopkumar-Dukie, S.; Aoki, H.; Apostolova, N.; Arancia, G.; Aris, J.P.; Asanuma, K.; Asare, N.Y.O.; Ashida, H.; Askanas, V.; Askew, D.S.; Auberger, P.; Baba, M.; Backues, S.K.; Baehrecke, E.H.; Bahr, B.A.; Bai, X.-Y.; Bailly, Y.; Baiocchi, R.; Baldini, G.; Balduini, W.; Ballabio, A.; Bamber, B.A.; Bampton, E.T.W.; Bánhegyi, G.; Bartholomew, C.R.; Bassham, D.C.; Bast Jr., R.C.; Batoko, H.; Bay, B.-H.; Beau, I.; Béchet, D.M.; Begley, T.J.; Behl, C.; Behrends, C.; Bekri, S.; Bellaire, B.; Bendall, L.J.; Benetti, L.; Berliocchi, L.; Bernardi,
Zeitschriftenaufsatz
2012Interaction of influenza A virus matrix protein with RACK1 is required for virus release
Demirov, D.; Gabriel, G.; Schneider, C.; Hohenberg, H.; Ludwig, S.
Zeitschriftenaufsatz
2012Life cycle engineering in preliminary aircraft design
Franz, K.; Hörnschemeyer, R.; Ewert, A.; Fromhold-Eisebith, M.; Große Böckmann, M.; Schmitt, R.; Petzoldt, K.; Schneider, C.; Heller, J.; Feldhusen, J.; Büker, K.; Reichmuth, J.
Konferenzbeitrag
2012Smart mobile Apps: Enabler oder Risiko?
Eckert, Claudia; Schneider, Christian
Aufsatz in Buch
2011Groupwise frequency domain multiuser MMSE turbo equalization for single carrier block transmission over spatially correlated channels
Grossmann, M.; Schneider, C.
Zeitschriftenaufsatz
2011Nitro: Hardware-based System Call Tracing for Virtual Machines
Pfoh, Jonas; Schneider, Christian; Eckert, Claudia
Konferenzbeitrag
2011A Universal Semantic Bridge for Virtual Machine Introspection
Schneider, Christian; Pfoh, Jonas; Eckert, Claudia
Konferenzbeitrag
2011Variation of estimated large-scale MIMO channel properties between repeated measurements
Narandi, M.; Käske, M.; Sommerkorn, G.; Schneider, C.; Thomä, R.S.; Jäckel, S.
Konferenzbeitrag
2010Dynamics and decoherence in the central spin model using exact methods
Bortz, M.; Eggert, S.; Schneider, C.; Stübner, R.; Stolze, J.
Zeitschriftenaufsatz
2009Correlation properties of large and small-scale parameters from multicell channel measurements
Jäckel, S.; Jiang, L.; Jungnickel, V.; Thiele, L.; Jandura, C.; Sommerkorn, G.; Schneider, C.
Konferenzbeitrag
2009Enhancing control of service compositions in service-oriented architectures
Schneider, C.; Stumpf, F.; Eckert, C.
Konferenzbeitrag
2009Quantitative determination of magnetic fields from iron particles of oblong form encapsulated by carbon nanotubes using electron holography
Nepijko, S.A.; Graff, A.; Schönhense, G.; Schneider, C.M.
Zeitschriftenaufsatz
2007Modeling with point-sampled cell-complexes
Schneider, Christian
: Adamson, Anders (Betreuer)
Diplomarbeit
2006Geraet zur schnellen Messung winkelabhaengiger Beugungseffekte an feinstrukturierten Oberflaechen
Benesch, N.; Schneider, C.; Pfitzner, L.
Patent
2006Optical and X-ray characterization of ferroelectric strontium-bismuth-tantalate (SBT) thin films
Fried, M.; Petrik, P.; Horvath, Z.E.; Lohner, T.; Schmidt, C.; Schneider, C.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2006Structure and giant magnetoresistance behaviour of Co-Cu/Cu multilayers etectrodeposited under various deposition conditions
Cziraki, A.; Peter, L.; Weihnacht, V.; Toth, J.; Simon, E.; Padar, J.; Pogany, L.; Schneider, C.M.; Gemming, T.; Wetzig, K.; Tichy, G.; Bakonyi, I.
Zeitschriftenaufsatz
2006Temperature dependence of giant magnetoresistance and magnetic properties in electrodeposited Co-Cu Cu multilayers: The role of superparamagnetic regions
Peter, L.; Rolik, Z.; Kiss, L.F.; Toth, J.; Weihnacht, V.; Schneider, C.M.; Bakonyi, I.
Zeitschriftenaufsatz
2005Giant magnetoresistance in electrodeposited multilayer films
Bakonyi, I.; Peter, L.; Weihnacht, V.; Toth, J.; Kiss, L.F.; Schneider, C.M.
Zeitschriftenaufsatz
2004Effective-medium model for fast evaluation of scatterometric measurements on gratings
Weidner, A.; Slodowski, M.; Halm, C.; Schneider, C.; Pfitzner, L.
Konferenzbeitrag
2004Measurement data evaluation for in situ single-wavelength ellipsometry during reactive ion etching
Roeder, G.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Vortrag
2004Optical characterization of ferroelectric Strontium-Bismuth-Tantalate (SBT) thin films
Schmidt, C.; Petrik, P.; Schneider, C.; Fried, M.; Lohner, T.; Barsony, I.; Gyulai, J.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2004Qualitaetsueberwachung bei einer Fertigung mit breitem Produktspektrum
Oechsner, R.; Tschaftary, T.; Strzyzewski, P.; Pfitzner, L.; Schneider, C.; Hennig, P.
Patent
2004Verfahren zur Bestimmung von Strukturparametern einer Oberflaeche
Weidner, A.; Erdmann, A.; Schneider, C.
Patent
2003Anordnung zur Bestimmung der Konzentration kontaminierender Teilchen in einem Be- und Entladebereich eines Geraetes zur Verarbeitung wenigstens eines scheibenfoermigen Objektes
Trunk, R.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Storbeck, O.
Patent
2003IMA-Workshop Grenoble, France
Roeder, G.; Öchsner, R.; Schneider, C.
Zeitschriftenaufsatz
2003Partikelmessgeraetanordnung sowie Geraet zur Prozessierung von Halbleiterscheiben mit einer solchen Anordnung
Trunk, R.; Schmid, H.; Schneider, C.; Pfitzner, L.
Patent
2003VORRICHTUNG ZUR UEBERWACHUNG VON ABSICHTLICHEN ODER UNVERMEIDBAREN SCHICHTABSCHEIDUNGEN UND VERFAHREN
Ziegler, J.; Waller, R.; Pfitzner, L.; Schneider, C.; Ryssel, H.; Tegeder, V.
Patent
2002Characterisation of BaxSr1-xTiO3 films using spectroscopic ellipsometry, Rutherford backscattering spectrometry and X-ray diffraction
Petrik, P.; Khanh, N.Q.; Horvath, Z.E.; Zolnai, Z.; Barsony, I.; Lohner, T.; Fried, M.; Gyulai, J.; Schmidt, C.; Schneider, C.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
2002EuSIC: An information network for innovation and standardization in APC and factory integration
Schneider, C.
Zeitschriftenaufsatz
2002EuSIC: The information network grows. Pt.2
Roeder, G.; Schellenberger, M.; Schneider, C.
Zeitschriftenaufsatz
2002HandMon-ISPM: Handling monitoring in a loading stations of a furnaces
Trunk, R.; Schmid, H.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Bernhardt, H.; Marx, E.
Konferenzbeitrag
2002Non-destructive characterization of strontium bismuth tantalate films
Petrik, P.; Khanh, N.Q.; Horvath, Z.E.; Zoknai, P.Z.; Barsony, I.; Lohner, T.; Freid, M.; Guylai, J.; Schmidt, C.; Schneider, C.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
2002Phi-scatterometry for integrated linewidth and process control in DRAM manufacturing
Hettwer, A.; Benesch, N.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
2002Wohin fährt der KEP-Zug?
Siebel, L.; Schneider, C.
Zeitschriftenaufsatz
2001Cost reduction strategies for wafer expenditure
Pfitzner, L.; Benesch, N.; Öchsner, R.; Schmidt, C.; Schneider, C.; Tschaftary, T.; Trunk, R.; Dudenhausen, H.-M.
Zeitschriftenaufsatz
2001Development of sensors for the measurement of chamber wall depositions
Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Marx, E.; Schneider, T.
Konferenzbeitrag
2001In Situ Particle Measurement System in Loading Stations of Furnaces
Trunk, R.; Schmid, H.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Bernhardt, H.; Marx, E.
Konferenzbeitrag
2001In-situ measurement of the crystallization of amorphous- silicon in a vertical furnace using spectroscopic ellipsometry
Petrik, P.; Lehnert, W.; Schneider, C.; Lohner, T.; Fried, M.; Gyulai, J.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
2001In-situ particle measurement in loading stations of furnaces
Trunk, R.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Storbeck, O.
Konferenzbeitrag
2001In-situ spectroscopic ellipsometry in vertical furnace - monitoring and control of high-temperature processes
Petrik, P.; Schneider, C.
Zeitschriftenaufsatz
2001Integrated metrology. An enabler for advanced process control (APC)
Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
2000Ellipsometric study of polycrystalline silicon films prepared by low-pressure chemical vapor deposition
Petrik, P.; Lohner, T.; Fried, M.; Biro, L.P.; Khanh, N.Q.; Gyulai, J.; Lehnert, W.; Schneider, C.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
2000In situ spectroscopic ellipsometry for the characterization of polysilicon formation inside a vertical furnace
Petrik, P.; Lehnert, W.; Schneider, C.; Fried, M.; Lohner, T.; Gyulai, J.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
2000In-production monitoring and control of in situ-chamber clean processes
Roeder, G.; Andrian-Werburg, M. von; Tschaftary, T.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; John, P.; Tegeder, V.
Konferenzbeitrag
2000Phi-scatterometry for on-line process control
Benesch, N.; Hettwer, A.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Broermann, O.; Marx, E.; Tegeder, V.
Konferenzbeitrag
2000Verfahren und Vorrichtung zur optischen Kontrolle von Fertigungsprozessen feinstrukturierter Oberflaechen in der Halbleiterfertigung
Benesch, N.; Schneider, C.; Pfitzner, L.
Patent
1999Application and cost analysis of scatterometry for integrated metrology
Benesch, N.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1999Equipment and wafer modeling of batch furnaces by neural networks
Benesch, N.; Schneider, C.; Lehnert, W.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1999Modifizierte Lupinen-Proteine als mögliche Binder für Streichfarben
Schneider, C.; Gruber, E.; Borcherding, A.
Zeitschriftenaufsatz
1999Novel process control strategies for 300 mm semiconductor production
Pfitzner, L.; Oechsner, R.; Schneider, C.; Ryssel, H.; Riemer, M.; Podewils, M. von
Zeitschriftenaufsatz
1998Comparative study of polysilicon-on-oxide using spectroscopy ellipsometry, atomic force microscopy and transformation electron microscopy
Petrik, P.; Fried, M.; Lohner, T.; Berger, R.; Biro, L.P.; Schneider, C.; Ryssel, H.; Gyulai, J.
Konferenzbeitrag
1998Comparative study of surface roughness measured on polysilicon using spectroscopic ellipsometry and atomic force microscopy
Petrik, P.; Biro, L.P.; Fried, M.; Lohner, T.; Berger, R.; Schneider, C.; Gyulai, J.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
1998In situ layer characterization by spectroscopic ellipsometry at high temperatures
Lehnert, W.; Petrik, P.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1998In situ spectroscopic ellipsometry for advanced process control in vertical furnaces
Lehnert, W.; Berger, R.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Stehle, J.L.; Piel, J.-P.; Neumann, W.
Konferenzbeitrag
1998Neuronale Modellbildung und Temperaturregelung eines Vertikalofens für die Halbleiterfertigung
Benesch, N.; Hofmann, U.; Schneider, C.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1998Oxide layer thickness measurement
Schneider, C.
Zeitschriftenaufsatz
1998R and D in Europe's equipment industry. The role of research institutes
Ryssel, H.; Schneider, C.
Zeitschriftenaufsatz
1997Cleaning process optimization in a gate oxide cluster tool using an in-line XPS module
Froeschle, B.; Glowacki, F.; Bauer, A.J.; Kasko, I.; Öchsner, R.; Schneider, C.
Konferenzbeitrag
1997Integrated process control for cluster tools using an in-line analytical module
Kasko, I.; Oechsner, R.; Froeschle, B.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1997Metrology and analytics for the optimization of CMP processing
Huber, A.; Erdmann, V.; Zielonka, G.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Rohde, A.
Konferenzbeitrag
1997Modular metrology tools for productivity enhancement in wafer fabs
Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1997A novel XPS system for integration into advanced semiconductor equipment for in-line process control
Kasko, I.; Oechsner, R.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Trubitsyn, A.A.; Kratenko, V.I.
Konferenzbeitrag
1996Advanced process control system for vertical furnaces
Berger, R.; Schneider, C.; Lehnert, W.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Aufsatz in Buch
1996The challenge of multi-component, multi-vendor clustertools
Pfitzner, L.; Schneider, C.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1996Integriertes Mehrkammerprozeßsystem IVPS
Schneider, C.
Aufsatz in Buch
1994Applications of single-beam photothermal analysis
Schork, R.; Krügel, S.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
1992Ellipsometer zur in-situ-Schichtdickenmessung
Berger, R.; Ryssel, H.; Schneider, C.; Aderhold, W.
Patent
1990Meßtechnik und Analytik für Halbleiterfertigungsgeräte
Eichinger, P.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Schneider, C.
Konferenzbeitrag
1989Internal process control and automation for semiconductor manufacturing equipment
Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Schneider, C.
Konferenzbeitrag
1989International process control and automation for semiconductor manufacturing equipment
Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Schneider, C.
Konferenzbeitrag