Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2012Enhanced e-beam pattern writing for nano-optics based on character projection
Kley, Ernst-Bernhard; Schmidt, Holger; Zeitner, Uwe; Banasch, Michael; Schnabel, Bernd
Konferenzbeitrag
2008Determination of best focus and optimum dose for variable shaped e-beam systems by applying the isofocal dose method
Keil, Katja; Choi, Kang-Hoon; Hohle, Christoph; Kretz, Johannes; Lutz, Tarek; Bettin, Lutz; Boettcher, Monika; Hahmann, Peter; Kliem, Karl-Heinz; Schnabel, Bernd; Irmscher, Mathias; Sailer, Holger
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz