Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2008Test-structures for wafer level microsystems characterization
Shaporin, A.; Forke, R.; Schmiedel, R.; Dötzel, W.
Konferenzbeitrag
2005Model building, control design and practical implementation of a high precision, high dynamical MEMS acceleration sensor
Wolfram, H.; Schmiedel, R.; Hiller, K.; Aurich, T.; Günther, W.; Kurth, S.; Mehner, J.; Dötzel, W.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2003Harmonic Analysis of Microbeams with PZT on-Chip Actuating and Sensing
Zhou, J.; Baum, M.; Schmiedel, R.; Huang, Y.; Ruan, G.; Geßner, T.
Zeitschriftenaufsatz