Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2001Preliminary results from key experiments on sources for EUV lithography
Lebert, R.; Aschke, L.; Bergmann, K.; Dusterer, S.; Gabel, K.; Hoffmann, D.; Loosen, P.; Neff, W.; Nickles, P.; Rosier, O.; Poprawe, R.; Rudolph, D.; Sandner, W.; Sauerbrey, R.; Schmahl, G.; Schwoerer, H.; Stiehl, H.; Will, I.; Ziener, C.
Zeitschriftenaufsatz
1992A laboratory X-ray microscope with a plasma X-ray source
Schmahl, G.; Niemann, B.; Rudolph, D.; Diehl, M.; Thieme, J.; Neff, W.; Holz, R.; Herziger, G.; Richter, F.
Aufsatz in Buch
1990Röntgenmikroskopie - ein neues Fenster in den Mikrokosmos
Schmahl, G.; Rudolph, D.; Niemann, B.; Neff, W.
Zeitschriftenaufsatz
1990An x-ray microscope with a plasma x-ray source
Niemann, B.; Rudolph, D.; Schmahl, G.; Diehl, M.; Thieme, J.; Meyer-Ise, W.; Neff, W.; Holz, R.; Richter, F.; Herziger, G.; Lebert, R.
Zeitschriftenaufsatz