Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2004Innovative Fertigungsverfahren für neue Produkte auf der Basis dünner Silizium-Bauelemente
Oelgeschläger, D.; Schmid, H.; Kloeser, J.; Monser, H.-P.; God, R.; Schlott, P.; Süss, R.; Feil, M.
: Landesberger, C.
Buch
1999Light scattering and atomic force microscopic investigations on magnetron sputtered oxide single layers and multilayers for micromechanical laser mirrors
Kupfer, H.; Richter, F.; Schlott, P.; Duparre, A.; Gliech, S.
Konferenzbeitrag