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| 2013 | Design and characterization of a hybrid-integrated MEMS scanning grating spectrometer
Grüger, Heinrich; Knobbe, Jens; Pügner, Tino; Schenk, Harald | Konferenzbeitrag |
| 2012 | Bi-resonant scanning mirror with piezo-resistive position sensor for WVGA laser projection systems
Drabe, C.; Kallweit, D.; Dreyhaupt, A.; Grahmann, J.; Schenk, H.; Davis, W. | Konferenzbeitrag |
| 2012 | The development path of electrostatic resonant to electrostatic quasistatic driven micro scanning mirrors
Grahman, Jan; Jung, Denis; Kallweit, David; Sandner, Thilo; Graßhoff, Thomas; Schenk, Harald | Konferenzbeitrag |
| 2012 | Laser projector solution based on two 1D resonant scanning micromirrors assembled in a low vertical distortion scan head
Grahmann, J.; Wildenhain, M.; Graßhoff, T.; Gerwig, C.; Dallmann, H.-G.; Wolter, A.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2012 | On-chip electro-optic waveguides in isotropic liquid crystal blends for switching applications
Costache, Florenta; Blasl, Martin; Bornhorst, Kirstin; Schenk, Harald | Konferenzbeitrag |
| 2012 | Optical position feedback for electrostatically driven MOEMS scanners
Tortschanoff, A.; Baumgart, M.; Frank, A.; Wildenhain, M.; Sandner, T.; Schenk, H.; Kenda, A. | Konferenzbeitrag |
| 2012 | Realization of a hybrid-integrated MEMS scanning grating spectrometer
Pügner, Tino; Knobbe, Jens; Grüger, Heinrich; Schenk, Harald | Konferenzbeitrag |
| 2012 | Translatory MEMS actuator and their system integration for miniaturized Fourier transform spectrometers
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Schenk, H.; Kenda, A. | Konferenzbeitrag |
| 2012 | Vertical comb drive microscanners for beam steering, linear scanning, and laser projection applications
Jung, Denis; Sandner, Thilo; Kallweit, David; Schenk, Harald | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Aluminum nitride thin film development using statistical methods
Conrad, H.; Pufe, W.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Design of a hybrid-integrated MEMS scanning grating spectrometer
Pügner, T.; Knobbe, J.; Grüger, H.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Fabrication of a quasistatic-resonant microscanner by implementing a vertical combdrive through wafer assembly actuation
Kallweit, D.; Jung, D.; Sandner, T.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | In situ surface topography measurement of MOEMS structures under laser exposure
Mai, A.; Krellmann, M.; Sinning, S.; Wolschke, S.; Dauderstädt, U.; Schenk, H.; Schmeißer, D.; Wagner, M. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Integrated piezoresistive position detection for electrostatic driven micro scanning mirrors
Grahmann, J.; Graßhoff, T.; Conrad, H.; Sandner, T.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Introduction
Schenk, H.; Piyawattanametha, W. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Microscanner with Vertical out of Plane Combdrive
Sandner, T.; Jung, D.; Kallweit, D.; Grasshoff, T.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Optical position feedback and phase control of resonant 1D and 2D MOEMS-scanners
Tortschanoff, A.; Frank, A.; Wildenhain, M.; Tetikol, H.S.; Sandner, T.; Schenk, H.; Kenda, A. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Out-of-plane translatory MEMS actuator with extraordinary large stroke for optical path length modulation
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Schenk, H.; Kenda, A. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Untersuchung von physikalisch-chemischen Effekten bei der Herstellung von alternativen Mikroisolationsstrukturen
Herrmann, A.
: Schenk, H.; Schmeißer, D. | Master Thesis |
| 2010 | Charakterisierung von Plasmavorbehandeltem Indiumzinnoxid und dessen Einfluss auf organische Leuchtdioden
Franke, S.
: Schmeißer, D.; Schenk, H. | Master Thesis |
| 2010 | Investigation of dynamic behaviour of advanced micromirror array designs used for particular applications by modelling and simulation using analytical and numerical methods respectively and comparsion to experiment
Noga, M.B.
: Schmeißer, D.; Schenk, H. | Master Thesis |
| 2010 | Lamellar grating based mems fourier transform spectrometer
Seren, H.R.; Ayerden, N.P.; Sharma, J.; Holmström, S.T.S.; Sandner, T.; Grasshoff, T.; Schenk, H.; Urey, H. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Large aperture MEMS scanner module for 3D distance measurement
Sandner, T.; Wildenhain, M.; Gerwig, C.; Schenk, H.; Schwarzer, S.; Wölfelschneider, H. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | MEMS devices for laser camera systems for endoscopic applications
Drabe, C.; James, R.; Schenk, H.; Sandner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Miniaturized MEMS-based spectrometric sensor for process control and analysis of carbonated beverages
Kenda, A.; Kraft, A.; Tortschanoff, A.; Wagner, C.; Lendl, B.; Sandner, T.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | MOEMS translatory actuator characterisation, position encoding and closed-loop control
Lenzhofer, M.; Tortschanoff, A.; Frank, A.; Sandner, T.; Schenk, H.; Kraft, M.; Kenda, A. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2010 | Optical inspection of MOEMS devices using a configurable and suitable for production image processing system
Scholles, M.; Grafe, M.; Miskowiec, P.; Bock, V.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Optical position feedback and phase control of MOEMS-scanner mirrors
Tortschanoff, A.; Lenzhofer, M.; Frank, A.; Wildenhain, M.; Sandner, T.; Schenk, H.; Kenda, A. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Position encoding and phase control of resonant MOEMS-mirrors
Tortschanoff, A.; Lenzhofer, M.; Frank, A.; Wildenhain, M.; Sandner, T.; Schenk, H.; Kenda, A. | Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz |
| 2010 | Position feedback and phase control of resonant MOEMS-mirrors with one and two axes
Tortschanoff, A.; Frank, A.; Wildenhain, M.; Sandner, T.; Schenk, H.; Kenda, A. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Solarthermische Kälteerzeugung mit Parabolrinnenkollektorsystem und Dampfstrahlkältemaschine
Jähnig, D.; Pollerberg, C.; Wagner, W.; Hausner, R.; Dötsch, C.; Noeres, P.; Pietschnig, R.; Knopf, M.; Peritsch, M.; Hennecke, K.; Lüpfert, E.; Wilbert, S.; Schenk, H. | Bericht |
| 2010 | Synchronized microscanner array for large aperture receiver optics of LIDAR systems
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Wildenhain, M.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Translatory MEMS actuator with extraordinary large stroke for optical path length modulation
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Eine 'Reinkarnation' in der Strukturmechanik
Conrad, H.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2009 | Aluminium nitride: A promising and full CMOS compatible piezoelectric material for MOEMS applications
Conrad, H.; Schmidt, J.U.; Pufe, W.; Zimmer, F.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Compact High-Speed Spectrometers Based on MEMS Devices with Large Amplitude In-Plane Actuators
Kenda, A.; Frank, A.; Kraft, M.; Tortschanoff, A.; Sandner, T.; Schenk, H.; Scherf, W. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Diffractive MEMS components, systems and applications
Grüger, H.; Egloff, T.; Pügner, T.; Scholles, M.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Dynamic characterization of MEMS scanners
Ataman, A.; Seren, H.R.; Schenk, H.; Ürey, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2009 | Fabrication of 3D comb drive microscanners by mechanically induced permanent displacement
Jung, D.; Kallweit, D.; Sandner, T.; Conrad, H.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Fabrication of large-scale mono-crystalline silicon micro-mirror arrays using adhesive wafer transfer bonding
Zimmer, F.; Niklaus, F.; Lapisa, M.; Ludewig, T.; Bring, M.; Friedrichs, M.; Bakke, T.; Schenk, H.; Wijngaart, W. van der | Konferenzbeitrag |
| 2009 | The high versatility of silicon based micro-optical modulators
Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Improved MEMS based FT-IR spectrometer: Position encoding and closed loop control
Tortschanoff, A.; Lenzhofer, M.; Frank, A.; Kenda, A.; Sandner, T.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Improved MOEMS based ultra rapid Fourier transform infrared spectrometer
Tortschanoff, A.; Kenda, A.; Kraft, M.; Sandner, T.; Schenk, H.; Scherf, W. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Integrated position sensing for 2D microscanning mirrors using the SOI-device layer as the piezoresistive mechanical-elastic transformer
Grahmann, J.; Conrad, H.; Sandner, T.; Klose, T.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Large stroke MOEMS actuators for optical path length modulation in miniaturized FTIR-spectrometers
Sandner, T.; Drabe, C.; Schenk, H.; Kensa, A. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | MEMS based laser imager with diagonal progressive scanning
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Klose, T.; Schenk, H.; Massieu, J.L. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | MOEMS-Based Scanning Light Barrier
Kenda, A.; Frank, A.; Kraft, M.; Tortschanoff, A.; Sandner, T.; Schenk, H.; Scherf, W. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Optisches Filter und ein Verfahren zur Herstellung eines optischen Filters
Schenk, H.; Sandner, T.; Schirrmann, C.; Costache, F. | Patent |
| 2009 | Position encoding and closed loop control of MOEMS translatory actuators
Lenzhofer, M.; Tortschanoff, A.; Frank, A.; Sandner, T.; Schenk, H.; Kraft, M.; Kenda, A. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Position encoding and phase control of resonant MOEMS-mirrors
Tortschanoff, A.; Lenzhofer, M.; Frank, A.; Wildenhain, M.; Sandner, T.; Schenk, H.; Kenda, A. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Scanning photon microscope based on a MEMS 2D scanner mirror
Grüger, H.; Knobbe, J.; Egloff, T.; Althaus, M.; Scholles, M.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Single crystal silicon micro mirrors
Schenk, H.; Sandner, T.; Drabe, C.; Klose, T.; Conrad, H. | Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag |
| 2009 | Ultra compact laser based projectors and imagers
Schenk, H.; Sandner, T.; Drabe, C.; Scholles, M.; Frommhagen, K.; Gerwig, C.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | 3D hybrid capacitance model for angular vertical comb drives
Jung, D.; Klose, T.; Grasshoff, T.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | 3D imaging using resonant large-aperture MEMS mirror arrays and laser distance measurement
Sandner, T.; Wildenhain, M.; Klose, T.; Schenk, H.; Schwarzer, S.; Hinkov, V.; Höfler, H.; Wölfelschneider, H. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Actuating methods of quasistatic micromirrors for active focus variation
Conrad, H.; Klose, T.; Sander, T.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Fabrication and characterization of a dynamically flat high resolution micro-scanner
Hsu, S.; Klose, T.; Drabe, C.; Schenk, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2008 | Fluidmechanical damping analysis of resonant micromirrors with out-of-plane comb drive
Klose, T.; Conrad, H.; Sandner, T.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | The integration of mono-crystalline silicon micro-mirrors on CMOS for SLM applications
Zimmer, F.; Friedrichs, M.; Lapisa, M.; Niklaus, F.; Müller, M.; Bakke, T.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Investigation and characterization of highly efficient near-infrared scanning gratings used in near-infrared microspectrometers
Zimmer, F.; Heberer, A.; Grüger, H.; Schenk, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2008 | MEMS-based compact FT-Spectrometers-A platform for spectroscopic mid-infrared sensors
Kraft, M.; Kenda, A.; Sandner, T.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Mikromechanisches Bauelement mit verkippten Elektroden
Jung, D.; Drabe, C.; Schenk, H.; Sandner, T.; Klose, T. | Patent |
| 2008 | Modelling the thermally induced curvature of multilayer coatings with COMSOL multiphysics
Conrad, H.; Klose, T.; Sandner, T.; Jung, D.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | MOEMS scanning grating chips reveal spectral images
Grüger, H.; Egloff, T.; Scholles, M.; Zimmer, F.; Schenk, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2008 | New approach for MEMS scanning mirror for laser projection systems
Grüger, H.; Knobbe, J.; Scholles, M.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Optisches Bauelement mit einem Aufbau zur Vermeidung von Reflexionen
Schenk, H.; Sandner, T. | Patent |
| 2008 | Pushbroom NIR hyperspectral imager using MOEMS scanning grating chips
Grüger, H.; Egloff, T.; Scholles, M.; Zimmer, F.; Müller, M.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Silicon-based micro-optic modulators
Schenk, H.; Wagner, M.; Gehner, A.; Müller, M.; Sandner, T.; Drabe, C.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Siliziumbasierte mikrooptische Modulatoren
Schenk, H. | Habilitationsschrift |
| 2008 | Translatory MEMS actuators for optical path length modulation in miniaturized fourier-transform infrared spectrometers
Sandner, T.; Drabe, C.; Schenk, H.; Kenda, A.; Scherf, W. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2008 | Two dimensional microscanners with large horizontal-vertical scanning frequency ratio for high resolution laser projectors
Hsu, S.-T.; Klose, T.; Drabe, C.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Ultracompact laser projection systems based on two-dimensional resonant microscanning mirrors
Scholles, M.; Bräuer, A.; Frommhagen, K.; Gerwig, C.; Lakner, H.; Schenk, H.; Schwarzenberg, M. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2008 | Verfahren zur Erzeugung einer mikromechanischen Struktur
Jung, D.; Drabe, C.; Sandner, T.; Schenk, H.; Klose, T.; Wolter, A. | Patent |
| 2007 | 2D-Microscanner mit hoher Auslenkung zur Bildaufnahme
Schenk, H.; Drabe, C.; Klose, T.; Wolter, A.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Einsatz translatorischer MOEMS-Aktoren für FTIR-Spektrometer
Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.; Kenda, A.; Scherf, W. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Fracture strength of SOI springs in MEMS micromirrors
Hsu, S.-T.; Wolter, A.; Owe, W.-D.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Integrated piezo-resistive positionssensor for microscanning mirrors
Sandner, T.; Conrad, H.; Klose, T.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Investigation and characterization of high-efficient NIR-scanning gratings used in NIR-micro-spectrometer
Zimmer, F.; Heberer, A.; Sandner, T.; Grüger, H.; Schenk, H.; Lakner, H.; Kenda, A.; Scherf, W. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Investigation for the application of a phantom circuit for xDSL communications
Berntsson, L.
: Oswald, E. (Prüfer); Schenk, H. (Prüfer) | Master Thesis |
| 2007 | Mikromechanisches Sensor- oder Aktorbauelement und Verfahren zur Herstellung von mikromechanischen Sensor- oder Aktorbauelementen
Wolter, A.; Sander, T.; Schenk, H. | Patent |
| 2007 | Mikrooptisches reflektierendes Bauelement
Sandner, T.; Pufe, W.; Schenk, H. | Patent |
| 2007 | Miniaturisierte Laserprojektionssysteme basierend auf zweidimensionalen resonanten Microscannerspiegeln
Scholles, M.; Frommhagen, K.; Gerwig, C.; Lakner, H.; Schenk, H.; Schwarzenberg, M.; Bräuer, A. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Miniaturized FTIR-spectrometer based on optical MEMS translatory actuator
Sandner, T.; Kenda, A.; Drabe, C.; Schenk, H.; Scherf, W. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Möglichkeiten der Kompensation des Nebensprechens am Kabelanfang und Kabelende
Hou, X.
: Oswald, E. (Prüfer); Schenk, H. (Prüfer) | Diplom-Arbeit |
| 2007 | Neuartiger MST Ansatz zur Realisierung kostengünstiger Systeme zum "Hyperspectral Imaging" im NIR
Egloff, T.; Grüger, H.; Zimmer, F.; Schenk, H.; Scholles, M.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | A new micro laser camera
Drabe, C.; James, R.; Klose, T.; Wolter, A.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | NIR hyperspectral imaging using MOEMS scanning grating chips and linear detector array
Egloff, T.; Grüger, H.; Zimmer, F.; Schenk, H.; Scholles, M.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | NIR-Spektroskopie: Entwicklung eines miniaturisierten MOEMS Spektrometer für den Einsatz im NIR-Bereich
Zimmer, F.; Grueger, H.; Heberer, A.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Optimierung der dynamischen Deformation von Mikroscannerspiegeln
Klose, T.; Wolter, A.; Sandner, T.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Projektionsvorrichtung zum scannenden Projizieren
Sandner, T.; Schenk, H.; Scholles, M.; Schwarzenberg, M.; Wolter, A. | Patent |
| 2007 | Tilt compensated laser projection system for handheld devices with motion compensation and input device function
Grüger, H.; Scholles, M.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Ultra compact laser projection systems based on two-dimensional resonant micro scanning mirrors
Scholles, M.; Bräuer, A.; Frommhagen, K.; Gerwig, C.; Lakner, H.; Schenk, H.; Schwarzenberger, M. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Ultra flat high resolution microscanners
Hsu, S.-T.; Klose, T.; Drabe, C.; Wolter, A.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung oder Regelung eines oszillierend auslenkbaren mikromechanischen Elements
Schenk, H. | Patent |
| 2006 | Analoge Schaltungskomponenten eines Treiber-ASICs für resonante Mikrospiegel
Schlebusch, D.; Bunk, G.; Schenk, H.; Roscher, K.-U.; Vogel, U. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Application of a micromachined translatory actuator to an optical FTIR spectrometer
Kenda, A.; Drabe, C.; Schenk, H.; Frank, A.; Lenzhofer, M.; Scherf, W. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Design of miniaturized optoelectronic systems using resonant microscanning mirrors for projection of full-color images
Scholles, M.; Bräuer, A.; Frommhagen, K.; Gerwig, C.; Höfer, B.; Lakner, H.; Schenk, H.; Schreiber, P.; Schwarzenberg, M. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Development of high-efficient NIR-scanning gratings for spectroscopic applications
Zimmer, F.; Sandner, T.; Grüger, H.; Heberer, A.; Wolter, A.; Schenk, H.; Lakner, H.; Kenda, A.; Scherf, W. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Eingabesteuerung fuer Geraete
Krocker, M.; Schenk, H. | Patent |
| 2006 | Extended damping model for out-of-plane-comb driven micromirrors
Klose, T.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Global flatness of spatial light modulators
Wagner, M.; Künzelmann, U.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | High-performance coatings for micromechanical mirrors
Gatto, A.; Yang, M.; Kaiser, N.; Schmidt, J.U.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.; Heber, J. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2006 | Highly reflective optical coatings for high power applications of micro scanning mirrors in the UV-VIS-NIR spectral region
Sandner, T.; Schmidt, J.U.; Schenk, H.; Lakner, H.; Yang, M.; Gatto, A.; Kaiser, N.; Braun, S.; Foltyn, T.; Leson, A. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | A large deflection translatory actuator for optical path length modulation
Drabe, C.; Klose, T.; Schenk, H.; Wolter, A.; Lakner, H.K. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Large scale, drift free monocrystalline silicon micromirror arrays made by wafer bonding
Bakke, T.; Völker, B.; Friedrichs, M.; Rudloff, D.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | MEMS analog light processing - an enabling technology for adaptive optical phase control
Gehner, A.; Wildenhain, M.; Neumann, H.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Scanning 2D micromirror with enhanced flatness at high frequency
Wolter, A.; Klose, T.; Hsu, S.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Single-detector micro-electro-mechanical scanning grating spectrometer
Kraft, M.; Kenda, A.; Frank, A.; Scherf, W.; Heberer, A.; Sandner, T.; Schenk, H.; Zimmer, F. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2006 | Verfahren zur Kompensation herstellungsbedingt auftretender Abweichungen bei der Herstellung mikromechanischer Elemente und deren Verwendung
Klose, T.; Schenk, H.; Wolter, A. | Patent |
| 2005 | Applications and requirements for MEMS scanner mirrors
Wolter, A.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | High surface planarity die bonding of large optical chips
Künzelmann, U.; Wagner, M.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Highly reflective coatings for micromechanical mirror arrays operating in the DUV and VUV spectral range
Sandner, T.; Schmidt, J.U.; Schenk, H.; Lakner, H.; Gatto, A.; Yang, M.; Kaiser, N.; Braun, S.; Foltyn, T.; Leson, A. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Highly reflective thin film coatings for high power applications of micro scanning mirrors in the NIR-VIS-UV spectral region
Sandner, T.; Schmidt, J.U.; Schenk, H.; Lakner, H.; Yang, M.; Gatto, A.; Kaiser, N.; Braun, S.; Foltyn, T.; Leson, A. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Mechanical stability of spatial light modulators in microlithography
Dauderstädt, U.; Dürr, P.; Ljungblad, U.; Karlin, T.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | MEMS phase former kit for high-resolution wavefront control
Gehner, A.; Wildenhain, M.; Neumann, H.; Elgner, A.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Micro optical devices for light modulation and deflection
Schenk, H.; Sandner, T.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Micro-opto-electro-mechanical systems technology and its impact on photonic applications
Schenk, H.; Wolter, A.; Dauderstädt, U.; Gehner, A.; Lakner, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2005 | Micromechanical scanning mirrors with highly reflective NIR coatings for high power applications
Sandner, T.; Schmidt, J.U.; Schenk, H.; Lakner, H.; Braun, S.; Foltyn, T.; Leson, A.; Gatto, A.; Yang, M.; Kaiser, N. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Miniaturized MOEMS spectrometer for NIR applications
Grüger, H.; Heberer, A.; Zimmer, F.; Wolter, A.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Miniaturized optical module for projection of arbitrary images based on two-dimensional resonant micro scanning mirrors
Scholles, M.; Bräuer, A.; Frommhagen, K.; Gerwig, C.; Höfer, B.; Jung, E.; Lakner, H.; Schenk, H.; Schneider, B.; Schreiber, P.; Wolter, A. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | New MOEMS based systems appropriate for spectroscopic investigations on agricultural growth and perishable food conditions
Grüger, H.; Schenk, H.; Heberer, A.; Zimmer, F.; Scherff, W.; Kenda, A.; Frank, A. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Optical MEMS for advanced spectrometers
Schenk, H.; Grüger, H.; Zimmer, F.; Scherf, W.; Kenda, A. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Scanning micro-mirrors: From bar-code-scanning to spectroscopy
Zimmer, F.; Grüger, H.; Heberer, A.; Wolter, A.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Signal processing for a single detector MOEMS based NIR micro spectrometer
Heberer, A.; Grüger, H.; Zimmer, F.; Schenk, H.; Kenda, A.; Frank, A.; Scherf, W. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Spatial light modulators with monocrystalline silicon micromirrors made by wafer bonding
Bakke, T.; Friedrichs, M.; Völker, B.; Reiche, M.; Leonardsson, L.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Stress optimization of a micromechanical torsional spring
Klose, T.; Kunze, D.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.; Schneider, A.; Schneider, P. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | VUV optical coatings for the next-generation micro-mechanical mirrors
Yang, M.; Gatto, A.; Kaiser, N.; Schmidt, J.U.; Sandner, T.; Heber, J.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Wafer bonding for optical MEMS
Bakke, T.; Völker, B.; Schenk, H.; Radu, I.; Reiche, M. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Accelerometer by means of a resonant micro actuator
Drabe, C.; Schenk, H.; Roscher, K.-U.; Kunze, D.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Analogue components for a mixed signal driver ASIC for resonant micro-mirror control
Schlebusch, D.; Bunk, G.; Vogel, U.; Schenk, H.; Roscher, K.-U. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Application of spatial light modulators for microlithography
Dauderstädt, U.; Dürr, P.; Karlin, T.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Bulk micro machined quasistatic torsional micro mirror
Kiessling, T.; Wolter, A.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Bulk micro machined quasistatic torsional micro mirror
Kiessling, T.; Wolter, A.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Damping analysis and measurement for a comb-drive scanning mirror
Sandner, T.; Klose, T.; Wolter, A.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Designing MEMS for manufacturing
Wolter, A.; Herrmann, A.; Yildiz, G.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Development of a NIR micro spectrometer based on a MOEMS scanning grating
Zimmer, F.; Grüger, H.; Heberer, A.; Wolter, A.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Fabrication end-test of the micro scanning mirror
Wolter, A.; Gaumont, E.; Korth, H.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Improved mechanical properties of metallic micro-structures
Schreiber, J.; Braun, S.; Gatto, A.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Laser projection device based on a 2D resonant micro scanning mirror
Roscher, K.-U.; Grätz, H.; Schenk, H.; Wolter, A.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Light processing with electrostatically driven micro scanning mirrors and micro mirror arrays
Schenk, H.; Dauderstädt, U.; Dürr, P.; Gehner, A.; Wolter, A.; Lakner, H. | Aufsatz in Buch |
| 2004 | Low-cost projection device with a 2D resonant microscanning mirror
Roscher, K.-U.; Grätz, H.; Schenk, H.; Wolter, A.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | The MEMS micro scanning mirror for barcode reading: From development to production
Wolter, A.; Schenk, H.; Gaumont, E.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Photonic microsystems: An enabling technology for light deflection and modulation
Schenk, H.; Wolter, A.; Dauderstädt, U.; Gehner, A.; Grüger, H.; Drabe, C.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Spektrometer mit mikromechanischem Gitter
Grüger, H.; Schenk, H.; Wolter, A.; Heberer, A.; Zimmer, F. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2004 | Tests on micro-mirror arrays for adaptive optics
Liesener, J.; Hupfer, W.; Gehner, A.; Wallace, K.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Torsional stress, fatigue and fracture strength in silicon hinges of a micro scanning mirror
Wolter, A.; Schenk, H.; Korth, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Characterization of spatial light modulators for micro lithography
Dürr, P.; Dauderstädt, U.; Kunze, D.; Auvert, M.; Bakke, T.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Characterization of spatial light modulators for microlithography
Dürr, P.; Dauderstädt, U.; Kunze, D.; Auvert, M.; Bakke, T.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Driver ASIC for synchronized excitation of resonant micro-mirrors
Roscher, K.-U.; Fakesch, U.; Schenk, H.; Lakner, H.; Schlebusch, D. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Improved layout for a resonant 2D micro scanning mirror with low operation voltages
Wolter, A.; Schenk, H.; Gaumont, E.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Improved vision by eye abberation correction using an active-matrix addressed micromirror array
Gehner, A.; Wildenhain, M.; Doleschal, W.; Elgner, A.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Improved vision by eye aberration correction using an active-matrix addressed micromirror array
Gehner, A.; Wildenhain, M.; Doleschal, W.; Elgner, A.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Micro mirror arrays for VLSI mask fabrication
Schenk, H.; Dauderstädt, U.; Dürr, P.; Lakner, H.K. | Aufsatz in Buch |
| 2003 | Micro scanning mirrors - steps towards volume production
Wolter, A.; Schenk, H. | Aufsatz in Buch |
| 2003 | Micro-mirror Arrays for adaptive wavefront correction
Hupfer, W.; Gehner, A.; Schenk, H.; Lakner, H.; Liesener, J.; Wallace, K. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Performance and applications of a spectrometer with micromachined scanning grating
Grüger, H.; Wolter, A.; Schuster, T.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Realization of a spectrometer with micromachined scanning grating
Grüger, H.; Wolter, A.; Schuster, T.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Scanning micro spectrometer
Grüger, H.; Wolter, A.; Schuster, T.; Schenk, H.; Lakner, H.K. | Aufsatz in Buch |
| 2003 | Temperature stability of the frequency of a resonant micro scanning mirror
Wolter, A.; Koorth, H.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2002 | Mechanical and electrical failures and reliability of micro scanning mirrors
Gaumont, E.; Wolter, A.; Schenk, H.; Georgelin, G.; Schmoger, M. | Konferenzbeitrag |
| 2002 | Micro mechanical scanning mirrors for high performance miniaturized scan engines
Schenk, H.; Wolter, A.; Gaumont, E. | Aufsatz in Buch |
| 2002 | Micromirrors for light switching applications
Kießling, T.; Schenk, H. | Aufsatz in Buch |
| 2002 | MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT MIT SCHWINGKOERPER
Schenk, H.; Duerr, P.; Kueck, H. | Patent |
| 2002 | Mustererzeugung und -erfassung mit mikromechanischen Spiegeln und Spiegelarrays
Lakner, H.; Dürr, P.; Schenk, H.; Gehner, A. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Bildgebende Mikrosysteme: Chips, die mit Licht arbeiten
Lakner, H.; Wolter, A.; Schenk, H. | Aufsatz in Buch |
| 2001 | Design optimization of an electrostatically driven Micro Scanning Mirror
Schenk, H.; Wolter, A.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | MIRAGE: An European project for a micro scan engine
Schenk, H.; Wolter, A.; Roscher, K.-U.; Barthel, W.; Lakner, H. | Aufsatz in Buch |
| 2001 | Ein neuartiger mikromechanischer Aktor zur ein- und zweidimensionalen Ablenkung von Licht
Schenk, H. | Dissertation |
| 2001 | A resonantly excited 2D-micro-scanning-mirror with large deflection
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Lakner, H.; Kück, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2000 | Ablenkeinheiten für die Sensorik
Schenk, H. | Aufsatz in Buch |
| 2000 | Design and modelling of large deflection micromechanical 1D and 2D scanning mirrors
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Lakner, H.; Kück, H. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | An electrostatically excited 2D-Micro-Scanning-Mirror with an in-plane configuration of the driving electrodes
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Lakner, H.; Kück, H. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | Large deflection micromechanical scanning mirrors for linear scans and pattern generation
Schenk, H.; Dürr, P.; Haase, T.; Kunze, D.; Sobe, U.; Lakner, H.; Kück, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2000 | Leuchtende Ablenkung: Mikromechanische 2D-Scannerspiegel erreichen 30kHz
Schenk, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2000 | A new 2D micromirror scanner
Schenk, H.; Dürr, P.; Lakner, H. | Aufsatz in Buch |
| 1999 | Antrieb für mikromechanische Scannerspiegel
Schenk, H.; Dürr, P.; Sobe, U. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1999 | Micromirrors for direct writing systems and scanners
Lakner, H.; Doleschal, W.; Dürr, P.; Gehner, A.; Schenk, H.; Wolter, A.; Zimmer, G. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | A new driving principle for micromechanical torsional actuators
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Kück, H. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | A novel electrostatically driven torsional actuator
Schenk, H.; Dürr, P.; Kück, H. | Konferenzbeitrag |