Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Advances in MOEMS technologies for high quality imaging systems
Schenk, H.; Wagner, M.; Grahmann, J.; Merten, A.
Konferenzbeitrag
2018Clamped-clamped in-plane electrostatic bending actuators in silicon-based microfluidic devices
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Stolz, Michael; Schenk, Harald
Vortrag
2018CMOS-kompatibler MEMS-Lautsprecher für Im-Ohr-Anwendungen
Conrad, Holger; Ehrig, Lutz; Kaiser, Bert; Schenk, Hermann; Schuffenhauer, David; Stolz, Michael; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2018Electrostatically Driven In-Plane Silicon Micropump for Modular Configuration
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Schimmanz, Klaus; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Schenk, Harald
Zeitschriftenaufsatz
2018Grundlegende Untersuchungen zur Phasenmodulation von Licht im Subnanometer-Bereich mittels diffraktiver Mikrospiegelarrays
Sicker, Cornelius
: Schenk, Harald; Reif, Jürgen
Dissertation
2018Liquid pumping induced by transverse forced vibrations of an elastic beam: A lubrication approach
Borcia, Rodica; Bestehorn, Michael; Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald
Zeitschriftenaufsatz
2018Liquid pumping induced by transverse forced vibrations of an elastic beam: A lubrication approach
Borcia, Rodica; Bestehorn, Michael; Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald
Vortrag
2018Liquid pumping induced by transverse forced vibrations of an elastic beam: A lubrication approach
Borcia, Rodica; Bestehorn, Michael; Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald
Vortrag
2018Mikromechanische Bauelemente mit mechanischen Aktuatoren
Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald; Uhlig, Sebastian
Patent
2017CMOS-kompatible elektrostatische Biegeaktoren
Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2017A contribution to the expansion of the applicability of electrostatic forces in micro transducers
Schenk, H.; Conrad, H.; Gaudet, M.; Uhlig, S.; Kaiser, B.; Langa, S.; Stolz, M.; Schimmanz, K.
Konferenzbeitrag
2017Electrostactically in-plane driven silicon micropump for modular configuration
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Schimmanz, Klaus; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2017Electrostatic bending actuators with a liquid filled nanometer scale gap
Gaudet, Matthieu; Uhlig, Sebastian; Stolz, Michael; Arscott, Steve; Conrad, Holger; Langa, Sergiu; Kaiser, Bert; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2017Elektrooptisch induzierte Wellenleiter in paranematischen Flüssigkeitskristallen
Blasl, Martin
: Schenk, Harald (Gutachter); Seibold, Götz (Gutachter); Schröder, Thomas (Gutachter); Küppers, Franko (Gutachter)
Dissertation
2017The first version of the SolarPACES guideline for bankable STE Yield assessment
Hirsch, T.; Bachelier, C.; Eck, M.; Dersch, J.; Fluri, T.; Giuliano, S.; Goebel, O.; Gonzalez, L.; Haller, U.; Meyer, R.; Puppe, M.; Rau, C.; Schenk, H.; Schmidt, N.; Seitz, M.; Westphal, B.; Yildiz, E.; Yu, Q.
Konferenzbeitrag
2017Miniaturized sensor for the detection of environmental pollutants
Graf, Alexander; Stübner, Ronald; Kunath, Christian; Meyer, Sebastian; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2017Miniaturized sensor for the detection of environmental pollutants
Graf, Alexander; Stübner, Ronald; Kunath, Christian; Meyer, Sebastian; Schenk, Harald
Poster
2017A novel electrostatic actuator technology for integrated RF MEMS and optical switches
Shashank; Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Uhlig, Sebastian; Schimmanz, Klaus; Schenk, Harald
Poster
2017Numerische Optimierung von Mikroaktoren
Schuffenhauer, David
: Gaudet, Matthieu (Betreuer); Schenk, Harald (Betreuer)
Master Thesis
2017Smartwatch based respiratory rate and breathing pattern recognition in an end-consumer environment
Trimpop, John; Schenk, Hannes; Bieber, Gerald; Lämmel, Friedrich; Burggraf, Paul
Konferenzbeitrag
2017Technological aspects of a new micro‑electro‑mechanical actuation principle: Nano‑e‑drive
Langa, Sergiu; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Stolz, Michael; Gaudet, Matthieu; Uhlig, Sebastian; Schimmanz, Klaus; Schenk, Harald
Zeitschriftenaufsatz
2016Experimentelle Untersuchungen an lateralen elektrostatischen Nanoaktoren
Stolz, Michael
: Schenk, Harald (Betr.); Seibold, Götz (Betr.)
Master Thesis
2016Influence of annealing in H atmosphere on the electrical properties of Al2O3 layers grown on p-type Si by the atomic layer deposition technique
Kolkovsky, V.; Stübner, R.; Langa, S.; Wende, U.; Kaiser, B.; Conrad, H.; Schenk, H.
Zeitschriftenaufsatz
2016MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids und Verfahren zum Herstellen desselben
Schenk, Harald; Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Schimmanz, Klaus; Langa, Sergiu
Patent
2016A novel electrostatic actuator class
Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Uhlig, Sebastian; Schimmanz, Klaus; Schenk, Harald
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016A novel electrostatic micro-actuator class and its application potential for optical MEMS
Schenk, Harald; Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Uhlig, Sebastian; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Schimmanz, Klaus
Konferenzbeitrag
2016Simulation und Charakterisierung eines neuartigen mikromechanischen elektrostatischen Aktors
Kaiser, Bert
: Schenk, Harald (Betreuer); Bestehorn, Michael (Betreuer); Kupnik, Mario (Betreuer)
Dissertation
2016Steps towards a CSP yield calculation guideline: A first draft for discussion in the SolarPACES working group guiSmo
Hirsch, T.; Bachelier, C.; Eck, M.; Dersch, J.; Fluri, T.; Giuliano, S.; Goebel, O.; Haller, U.; Lude, S.; Meyer, R.; Rau, C.; Schenk, H.; Schmidt, N.; Seitz, M.; Westphal, B.; Yildiz, E.
Konferenzbeitrag
2015About stress in filled DRIE-trenches
Kaiser, Bert; Drabe, Christian; Graßhoff, Thomas; Conrad, Holger; Schenk, Harald; Grahmann, Jan
Zeitschriftenaufsatz
2015Mikroelektromechanisches System zum Durchstimmen von Lasern
Schenk, Harald; Grahmann, Jan; Wagner, Joachim; Ostendorf, Ralf; Rattunde, Marcel
Patent
2015A small-gap electrostatic micro-actuator for large deflections
Conrad, Holger; Schenk, Harald; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Gaudet, Matthieu; Schimmanz, Klaus; Stolz, Michael; Lenz, Miriam
Zeitschriftenaufsatz
2015Spatially resolved contrast measurement of diffractive micromirror arrays
Sicker, Cornelius; Heber, Jörg; Berndt, Dirk; Rückerl, Florian; Tinevez, Jean-Yves; Shorte, Spencer; Wagner, Michael; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2015Widely tuneable quantum cascade lasers for spectroscopic sensing
Wagner, J.; Ostendorf, R.; Grahmann, Jan; Merten, André; Hugger, S.; Jarvis, J.P.; Fuchs, F.; Boskovic, D.; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2014Charakterisierung eines Digitalen Holographischen Mikroskops zur Analyse mikro-mechanischer Aktoren
Epperlein, Nadja
: Schenk, Harald (Betreuer)
Master Thesis
2014Design and fabrication of a tunable two-fluid micro-lens device with a large deflection polymer actuator
Schirrmann, Christian; Costache, Florenta; Bornhorst, Kirstin; Pawlik, Boscij; Rieck, Andreas; Schenk, Harald
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2014Development, characterization and application of compact spectrometers based on MEMS with in-plane capacitive drives
Kenda, A.; Kraft, M.; Tortschanoff, A.; Scherf, W.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lüttjohann, S.; Simon, A.
Konferenzbeitrag
2014MEMS-based miniature near-infrared spectrometer for application in environmental and food monitoring
Hintschich, Susanne; Pügner, Tino; Knobbe, Jens; Schröder, Julia; Reinig, Peter; Grüger, Heinrich; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2014Micro mirrors for high-speed laser deflection and patterning
Schenk, Harald; Grahmann, Jan; Sandner, Thilo; Wagner, Michael; Dauderstädt, Ulrike; Schmidt, Jan-Uwe
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2014Micro-scanning mirrors for high-power laser applications in laser surgery
Sandner, Thilo; Kimme, Simon; Grasshoff, Thomas; Todt, Ulrich; Graf, Alexander; Tulea, Christian; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2014Quasi-static microscanner with linearized scanning for an adaptive 3D laser camera
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Schwarzenberg, M.; Schroedter, R.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2014Quasistatic microscanner with linearized scanning for an adaptive three-dimensional laser camera
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Schwarzenberg, M.; Schroedter, R.; Schenk, H.
Zeitschriftenaufsatz
2014Translatory MOEMS actuator and system integration for miniaturized Fourier transform spectrometers
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Gaumont, E.; Schenk, H.; Kenda, A.
Zeitschriftenaufsatz
2014Tunable external cavity quantum cascade lasers (EC-QCL): An application field for MOEMS based scanning gratings
Grahmann, Jan; Merten, André; Ostendorf, Ralf; Fontenot, Michael; Bleh, Daniela; Schenk, Harald; Wagner, Hans-Joachim
Konferenzbeitrag
2013Design and characterization of a hybrid-integrated MEMS scanning grating spectrometer
Grüger, Heinrich; Knobbe, Jens; Pügner, Tino; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2013First application close measurements applying the new hybrid integrated MEMS spectrometer
Grüger, H.; Pügner, T.; Knobbe, J.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2013Hybrid assembly of micro scanner arrays with large aperture and their system integration
Sandner, Thilo; Wildenhain, Michael; Schwarzenberg, Markus; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2013Micro-scanning mirrors for high-power laser applications in laser surgery
Sandner, T.; Kimme, S.; Grasshoff, T.; Todt, U.; Graf, A.; Tulea, C.; Lenenbach, A.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2013Modulares Anlagenkonzept zur kontinuierlichen, kostengünstigen Fertigung von strukturierten Metallisierungen für Elektronikkomponenten und Biosensoren (P3T)
Beyer, Henry; Borris, Jochen; Diehm, Rolf; Fritsch, Markus; Gründig, Bernd; Hanner, Martina; Hochsattel, Torsten; Reinhardt, Andreas; Schenk, Harald; Seidel, Matthias; Steinhäuser, Raimund; Thomas, Michael; Weidlich, Ernst-Rudolf
Bericht
2013Quasi-static microscanner with linearized scanning for an adaptive 3D-laser camera
Sandner, Thilo; Grasshoff, Thomas; Schwarzenberg, Markus; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2013Quasi-static microscanner with linearized scanning for an adaptive 3D-lasercamera
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Schwarzenberg, M.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2013Wafer level vacuum packaging of scanning micro-mirrors using glass-frit and anodic bonding methods
Langa, Sergiu; Drabe, Christian; Kunath, Christian; Dreyhaupt, André; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2012Bi-resonant scanning mirror with piezo-resistive position sensor for WVGA laser projection systems
Drabe, C.; Kallweit, D.; Dreyhaupt, A.; Grahmann, J.; Schenk, H.; Davis, W.
Konferenzbeitrag
2012The development path of electrostatic resonant to electrostatic quasistatic driven micro scanning mirrors
Grahman, Jan; Jung, Denis; Kallweit, David; Sandner, Thilo; Graßhoff, Thomas; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2012Laser projector solution based on two 1D resonant scanning micromirrors assembled in a low vertical distortion scan head
Grahmann, J.; Wildenhain, M.; Graßhoff, T.; Gerwig, C.; Dallmann, H.-G.; Wolter, A.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2012Micromirror displays
Schenk, Harald; Hornbeck, Larry J.
Aufsatz in Buch
2012On-chip electro-optic waveguides in isotropic liquid crystal blends for switching applications
Costache, Florenta; Blasl, Martin; Bornhorst, Kirstin; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2012Optical position feedback for electrostatically driven MOEMS scanners
Tortschanoff, Andreas; Baumgart, M.; Frank, Albert; Wildenhain, Michael; Sandner, Thilo; Schenk, Harald; Kenda, Andreas
Konferenzbeitrag
2012Realization of a hybrid-integrated MEMS scanning grating spectrometer
Pügner, Tino; Knobbe, Jens; Grüger, Heinrich; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2012Translatory MEMS actuator and their system integration for miniaturized Fourier transform spectrometers
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Schenk, H.; Kenda, A.
Konferenzbeitrag
2012Vertical comb drive microscanners for beam steering, linear scanning, and laser projection applications
Jung, Denis; Sandner, Thilo; Kallweit, David; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2011Aluminum nitride thin film development using statistical methods
Conrad, H.; Pufe, W.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2011Application specific micro scanning mirrors
Sandner, Thilo; Schenk, Harald; Drabe, Christian
Konferenzbeitrag
2011Design of a hybrid-integrated MEMS scanning grating spectrometer
Pügner, T.; Knobbe, J.; Grüger, H.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2011Fabrication of a quasistatic-resonant microscanner by implementing a vertical combdrive through wafer assembly actuation
Kallweit, David; Jung, Denis; Sandner, Thilo; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2011In situ surface topography measurement of MOEMS structures under laser exposure
Mai, A.; Krellmann, M.; Sinning, S.; Wolschke, S.; Dauderstädt, U.; Schenk, H.; Schmeißer, D.; Wagner, M.
Konferenzbeitrag
2011Integrated piezoresistive position detection for electrostatic driven micro scanning mirrors
Grahmann, J.; Graßhoff, T.; Conrad, H.; Sandner, T.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2011Introduction
Schenk, H.; Piyawattanametha, W.
Konferenzbeitrag
2011Microscanner with Vertical out of Plane Combdrive
Sandner, Thilo; Jung, Denis; Kallweit, David; Grasshoff, T.; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2011Optical position feedback and phase control of resonant 1D and 2D MOEMS-scanners
Tortschanoff, A.; Frank, A.; Wildenhain, M.; Tetikol, H.S.; Sandner, T.; Schenk, H.; Kenda, A.
Konferenzbeitrag
2011Out-of-plane translatory MEMS actuator with extraordinary large stroke for optical path length modulation
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Schenk, H.; Kenda, A.
Konferenzbeitrag
2011Untersuchung von physikalisch-chemischen Effekten bei der Herstellung von alternativen Mikroisolationsstrukturen
Herrmann, A.
: Schenk, H.; Schmeißer, D.
Master Thesis
2010Charakterisierung von Plasmavorbehandeltem Indiumzinnoxid und dessen Einfluss auf organische Leuchtdioden
Franke, S.
: Schmeißer, D.; Schenk, H.
Master Thesis
2010Investigation of dynamic behaviour of advanced micromirror array designs used for particular applications by modelling and simulation using analytical and numerical methods respectively and comparsion to experiment
Noga, M.B.
: Schmeißer, D.; Schenk, H.
Master Thesis
2010Lamellar grating based mems fourier transform spectrometer
Seren, H.R.; Ayerden, N.P.; Sharma, J.; Holmström, S.T.S.; Sandner, T.; Grasshoff, T.; Schenk, H.; Urey, H.
Konferenzbeitrag
2010Large aperture MEMS scanner module for 3D distance measurement
Sandner, T.; Wildenhain, M.; Gerwig, C.; Schenk, H.; Schwarzer, S.; Wölfelschneider, H.
Konferenzbeitrag
2010MEMS devices for laser camera systems for endoscopic applications
Drabe, C.; James, R.; Schenk, H.; Sandner, T.
Konferenzbeitrag
2010MEMS technologies Dresden. Technology development, pilot-fabrication and foundry services
Schenk, Harald; Müller, Michael; Kade, Johannes
Vortrag
2010Miniaturized MEMS-based spectrometric sensor for process control and analysis of carbonated beverages
Kenda, A.; Kraft, A.; Tortschanoff, A.; Wagner, C.; Lendl, B.; Sandner, T.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2010MOEMS translatory actuator characterisation, position encoding and closed-loop control
Lenzhofer, M.; Tortschanoff, A.; Frank, A.; Sandner, T.; Schenk, H.; Kraft, M.; Kenda, A.
Zeitschriftenaufsatz
2010Optical inspection of MOEMS devices using a configurable and suitable for production image processing system
Scholles, M.; Grafe, M.; Miskowiec, P.; Bock, V.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2010Optical position feedback and phase control of MOEMS-scanner mirrors
Tortschanoff, A.; Lenzhofer, M.; Frank, A.; Wildenhain, M.; Sandner, T.; Schenk, H.; Kenda, A.
Konferenzbeitrag
2010Position encoding and phase control of resonant MOEMS-mirrors
Tortschanoff, A.; Lenzhofer, M.; Frank, A.; Wildenhain, M.; Sandner, T.; Schenk, H.; Kenda, A.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2010Position feedback and phase control of resonant MOEMS-mirrors with one and two axes
Tortschanoff, A.; Frank, A.; Wildenhain, M.; Sandner, T.; Schenk, H.; Kenda, A.
Konferenzbeitrag
2010Solarthermische Kälteerzeugung mit Parabolrinnenkollektorsystem und Dampfstrahlkältemaschine
Jähnig, D.; Pollerberg, C.; Wagner, W.; Hausner, R.; Dötsch, C.; Noeres, P.; Pietschnig, R.; Knopf, M.; Peritsch, M.; Hennecke, K.; Lüpfert, E.; Wilbert, S.; Schenk, H.
Bericht
2010Synchronized microscanner array for large aperture receiver optics of LIDAR systems
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Wildenhain, M.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2010Translatory MEMS actuator with extraordinary large stroke for optical path length modulation
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2009Eine 'Reinkarnation' in der Strukturmechanik
Conrad, H.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Zeitschriftenaufsatz
2009Aluminium nitride: A promising and full CMOS compatible piezoelectric material for MOEMS applications
Conrad, H.; Schmidt, J.U.; Pufe, W.; Zimmer, F.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2009Compact High-Speed Spectrometers Based on MEMS Devices with Large Amplitude In-Plane Actuators
Kenda, A.; Frank, A.; Kraft, M.; Tortschanoff, A.; Sandner, T.; Schenk, H.; Scherf, W.
Konferenzbeitrag
2009Diffractive MEMS components, systems and applications
Grüger, H.; Egloff, T.; Pügner, T.; Scholles, M.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2009Dynamic characterization of MEMS scanners
Ataman, A.; Seren, H.R.; Schenk, H.; Ürey, H.
Zeitschriftenaufsatz
2009Fabrication of 3D comb drive microscanners by mechanically induced permanent displacement
Jung, D.; Kallweit, D.; Sandner, T.; Conrad, H.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2009Fabrication of large-scale mono-crystalline silicon micro-mirror arrays using adhesive wafer transfer bonding
Zimmer, F.; Niklaus, F.; Lapisa, M.; Ludewig, T.; Bring, M.; Friedrichs, M.; Bakke, T.; Schenk, H.; Wijngaart, W. van der
Konferenzbeitrag
2009The high versatility of silicon based micro-optical modulators
Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2009Improved MEMS based FT-IR spectrometer: Position encoding and closed loop control
Tortschanoff, A.; Lenzhofer, M.; Frank, A.; Kenda, A.; Sandner, T.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2009Improved MOEMS based ultra rapid Fourier transform infrared spectrometer
Tortschanoff, A.; Kenda, A.; Kraft, M.; Sandner, T.; Schenk, H.; Scherf, W.
Konferenzbeitrag
2009Integrated position sensing for 2D microscanning mirrors using the SOI-device layer as the piezoresistive mechanical-elastic transformer
Grahmann, J.; Conrad, H.; Sandner, T.; Klose, T.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2009Large stroke MOEMS actuators for optical path length modulation in miniaturized FTIR-spectrometers
Sandner, T.; Drabe, C.; Schenk, H.; Kensa, A.
Konferenzbeitrag
2009MEMS based laser imager with diagonal progressive scanning
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Klose, T.; Schenk, H.; Massieu, J.L.
Konferenzbeitrag
2009MOEMS-Based Scanning Light Barrier
Kenda, A.; Frank, A.; Kraft, M.; Tortschanoff, A.; Sandner, T.; Schenk, H.; Scherf, W.
Konferenzbeitrag
2009Optisches Filter und ein Verfahren zur Herstellung eines optischen Filters
Schenk, H.; Sandner, T.; Schirrmann, C.; Costache, F.
Patent
2009Position encoding and closed loop control of MOEMS translatory actuators
Lenzhofer, M.; Tortschanoff, A.; Frank, A.; Sandner, T.; Schenk, H.; Kraft, M.; Kenda, A.
Konferenzbeitrag
2009Position encoding and phase control of resonant MOEMS-mirrors
Tortschanoff, A.; Lenzhofer, M.; Frank, A.; Wildenhain, M.; Sandner, T.; Schenk, H.; Kenda, A.
Konferenzbeitrag
2009Scanning photon microscope based on a MEMS 2D scanner mirror
Grüger, H.; Knobbe, J.; Egloff, T.; Althaus, M.; Scholles, M.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2009Single crystal silicon micro mirrors
Schenk, H.; Sandner, T.; Drabe, C.; Klose, T.; Conrad, H.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2009Ultra compact laser based projectors and imagers
Schenk, H.; Sandner, T.; Drabe, C.; Scholles, M.; Frommhagen, K.; Gerwig, C.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
20083D hybrid capacitance model for angular vertical comb drives
Jung, D.; Klose, T.; Grasshoff, T.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
20083D imaging using resonant large-aperture MEMS mirror arrays and laser distance measurement
Sandner, T.; Wildenhain, M.; Klose, T.; Schenk, H.; Schwarzer, S.; Hinkov, V.; Höfler, H.; Wölfelschneider, H.
Konferenzbeitrag
2008Actuating methods of quasistatic micromirrors for active focus variation
Conrad, H.; Klose, T.; Sander, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2008Fabrication and characterization of a dynamically flat high resolution micro-scanner
Hsu, S.; Klose, T.; Drabe, C.; Schenk, H.
Zeitschriftenaufsatz
2008Fluidmechanical damping analysis of resonant micromirrors with out-of-plane comb drive
Klose, T.; Conrad, H.; Sandner, T.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2008The integration of mono-crystalline silicon micro-mirrors on CMOS for SLM applications
Zimmer, F.; Friedrichs, M.; Lapisa, M.; Niklaus, F.; Müller, M.; Bakke, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2008Investigation and characterization of highly efficient near-infrared scanning gratings used in near-infrared microspectrometers
Zimmer, F.; Heberer, A.; Grüger, H.; Schenk, H.
Zeitschriftenaufsatz
2008MEMS-based compact FT-Spectrometers-A platform for spectroscopic mid-infrared sensors
Kraft, M.; Kenda, A.; Sandner, T.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2008Mikromechanisches Bauelement mit verkippten Elektroden
Jung, D.; Drabe, C.; Schenk, H.; Sandner, T.; Klose, T.
Patent
2008Modelling the thermally induced curvature of multilayer coatings with COMSOL multiphysics
Conrad, H.; Klose, T.; Sandner, T.; Jung, D.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2008MOEMS scanning grating chips reveal spectral images
Grüger, H.; Egloff, T.; Scholles, M.; Zimmer, F.; Schenk, H.
Zeitschriftenaufsatz
2008New approach for MEMS scanning mirror for laser projection systems
Grüger, H.; Knobbe, J.; Scholles, M.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2008Optisches Bauelement mit einem Aufbau zur Vermeidung von Reflexionen
Schenk, H.; Sandner, T.
Patent
2008Pushbroom NIR hyperspectral imager using MOEMS scanning grating chips
Grüger, H.; Egloff, T.; Scholles, M.; Zimmer, F.; Müller, M.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2008Silicon-based micro-optic modulators
Schenk, H.; Wagner, M.; Gehner, A.; Müller, M.; Sandner, T.; Drabe, C.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2008Siliziumbasierte mikrooptische Modulatoren
Schenk, H.
Habilitationsschrift
2008Translatory MEMS actuators for optical path length modulation in miniaturized fourier-transform infrared spectrometers
Sandner, T.; Drabe, C.; Schenk, H.; Kenda, A.; Scherf, W.
Zeitschriftenaufsatz
2008Two dimensional microscanners with large horizontal-vertical scanning frequency ratio for high resolution laser projectors
Hsu, S.-T.; Klose, T.; Drabe, C.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2008Ultracompact laser projection systems based on two-dimensional resonant microscanning mirrors
Scholles, M.; Bräuer, A.; Frommhagen, K.; Gerwig, C.; Lakner, H.; Schenk, H.; Schwarzenberg, M.
Zeitschriftenaufsatz
2008Verfahren zur Erzeugung einer mikromechanischen Struktur
Jung, D.; Drabe, C.; Sandner, T.; Schenk, H.; Klose, T.; Wolter, A.
Patent
20072D-Microscanner mit hoher Auslenkung zur Bildaufnahme
Schenk, H.; Drabe, C.; Klose, T.; Wolter, A.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2007Einsatz translatorischer MOEMS-Aktoren für FTIR-Spektrometer
Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.; Kenda, A.; Scherf, W.
Konferenzbeitrag
2007Fracture strength of SOI springs in MEMS micromirrors
Hsu, S.-T.; Wolter, A.; Owe, W.-D.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2007Integrated piezo-resistive positionssensor for microscanning mirrors
Sandner, T.; Conrad, H.; Klose, T.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2007Investigation and characterization of high-efficient NIR-scanning gratings used in NIR-micro-spectrometer
Zimmer, F.; Heberer, A.; Sandner, T.; Grüger, H.; Schenk, H.; Lakner, H.; Kenda, A.; Scherf, W.
Konferenzbeitrag
2007Investigation for the application of a phantom circuit for xDSL communications
Berntsson, L.
: Oswald, E. (Prüfer); Schenk, H. (Prüfer)
Master Thesis
2007Mikromechanisches Sensor- oder Aktorbauelement und Verfahren zur Herstellung von mikromechanischen Sensor- oder Aktorbauelementen
Wolter, A.; Sander, T.; Schenk, H.
Patent
2007Mikrooptisches reflektierendes Bauelement
Sandner, T.; Pufe, W.; Schenk, H.
Patent
2007Miniaturisierte Laserprojektionssysteme basierend auf zweidimensionalen resonanten Microscannerspiegeln
Scholles, M.; Frommhagen, K.; Gerwig, C.; Lakner, H.; Schenk, H.; Schwarzenberg, M.; Bräuer, A.
Konferenzbeitrag
2007Miniaturized FTIR-spectrometer based on optical MEMS translatory actuator
Sandner, T.; Kenda, A.; Drabe, C.; Schenk, H.; Scherf, W.
Konferenzbeitrag
2007Möglichkeiten der Kompensation des Nebensprechens am Kabelanfang und Kabelende
Hou, X.
: Oswald, E. (Prüfer); Schenk, H. (Prüfer)
Diplomarbeit
2007Neuartiger MST Ansatz zur Realisierung kostengünstiger Systeme zum "Hyperspectral Imaging" im NIR
Egloff, T.; Grüger, H.; Zimmer, F.; Schenk, H.; Scholles, M.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2007A new micro laser camera
Drabe, C.; James, R.; Klose, T.; Wolter, A.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2007NIR hyperspectral imaging using MOEMS scanning grating chips and linear detector array
Egloff, T.; Grüger, H.; Zimmer, F.; Schenk, H.; Scholles, M.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2007NIR-Spektroskopie: Entwicklung eines miniaturisierten MOEMS Spektrometer für den Einsatz im NIR-Bereich
Zimmer, F.; Grueger, H.; Heberer, A.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2007Optimierung der dynamischen Deformation von Mikroscannerspiegeln
Klose, T.; Wolter, A.; Sandner, T.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2007Projektionsvorrichtung zum scannenden Projizieren
Sandner, T.; Schenk, H.; Scholles, M.; Schwarzenberg, M.; Wolter, A.
Patent
2007Tilt compensated laser projection system for handheld devices with motion compensation and input device function
Grüger, H.; Scholles, M.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2007Ultra compact laser projection systems based on two-dimensional resonant micro scanning mirrors
Scholles, M.; Bräuer, A.; Frommhagen, K.; Gerwig, C.; Lakner, H.; Schenk, H.; Schwarzenberger, M.
Konferenzbeitrag
2007Ultra flat high resolution microscanners
Hsu, S.-T.; Klose, T.; Drabe, C.; Wolter, A.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2007Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung oder Regelung eines oszillierend auslenkbaren mikromechanischen Elements
Schenk, H.
Patent
2006Analoge Schaltungskomponenten eines Treiber-ASICs für resonante Mikrospiegel
Schlebusch, D.; Bunk, G.; Schenk, H.; Roscher, K.-U.; Vogel, U.
Konferenzbeitrag
2006Application of a micromachined translatory actuator to an optical FTIR spectrometer
Kenda, A.; Drabe, C.; Schenk, H.; Frank, A.; Lenzhofer, M.; Scherf, W.
Konferenzbeitrag
2006Design of miniaturized optoelectronic systems using resonant microscanning mirrors for projection of full-color images
Scholles, M.; Bräuer, A.; Frommhagen, K.; Gerwig, C.; Höfer, B.; Lakner, H.; Schenk, H.; Schreiber, P.; Schwarzenberg, M.
Konferenzbeitrag
2006Development of high-efficient NIR-scanning gratings for spectroscopic applications
Zimmer, F.; Sandner, T.; Grüger, H.; Heberer, A.; Wolter, A.; Schenk, H.; Lakner, H.; Kenda, A.; Scherf, W.
Konferenzbeitrag
2006Eingabesteuerung fuer Geraete
Krocker, M.; Schenk, H.
Patent
2006Extended damping model for out-of-plane-comb driven micromirrors
Klose, T.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2006Global flatness of spatial light modulators
Wagner, M.; Künzelmann, U.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2006High-performance coatings for micromechanical mirrors
Gatto, A.; Yang, M.; Kaiser, N.; Schmidt, J.U.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.; Heber, J.
Zeitschriftenaufsatz
2006Highly reflective optical coatings for high power applications of micro scanning mirrors in the UV-VIS-NIR spectral region
Sandner, T.; Schmidt, J.U.; Schenk, H.; Lakner, H.; Yang, M.; Gatto, A.; Kaiser, N.; Braun, S.; Foltyn, T.; Leson, A.
Konferenzbeitrag
2006A large deflection translatory actuator for optical path length modulation
Drabe, C.; Klose, T.; Schenk, H.; Wolter, A.; Lakner, H.K.
Konferenzbeitrag
2006Large scale, drift free monocrystalline silicon micromirror arrays made by wafer bonding
Bakke, T.; Völker, B.; Friedrichs, M.; Rudloff, D.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2006MEMS analog light processing - an enabling technology for adaptive optical phase control
Gehner, A.; Wildenhain, M.; Neumann, H.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2006Scanning 2D micromirror with enhanced flatness at high frequency
Wolter, A.; Klose, T.; Hsu, S.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2006Single-detector micro-electro-mechanical scanning grating spectrometer
Kraft, M.; Kenda, A.; Frank, A.; Scherf, W.; Heberer, A.; Sandner, T.; Schenk, H.; Zimmer, F.
Zeitschriftenaufsatz
2006Verfahren zur Kompensation herstellungsbedingt auftretender Abweichungen bei der Herstellung mikromechanischer Elemente und deren Verwendung
Klose, T.; Schenk, H.; Wolter, A.
Patent
2005Applications and requirements for MEMS scanner mirrors
Wolter, A.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2005High surface planarity die bonding of large optical chips
Künzelmann, U.; Wagner, M.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2005Highly reflective coatings for micromechanical mirror arrays operating in the DUV and VUV spectral range
Sandner, T.; Schmidt, J.U.; Schenk, H.; Lakner, H.; Gatto, A.; Yang, M.; Kaiser, N.; Braun, S.; Foltyn, T.; Leson, A.
Konferenzbeitrag
2005Highly reflective thin film coatings for high power applications of micro scanning mirrors in the NIR-VIS-UV spectral region
Sandner, T.; Schmidt, J.U.; Schenk, H.; Lakner, H.; Yang, M.; Gatto, A.; Kaiser, N.; Braun, S.; Foltyn, T.; Leson, A.
Konferenzbeitrag
2005Mechanical stability of spatial light modulators in microlithography
Dauderstädt, U.; Dürr, P.; Ljungblad, U.; Karlin, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2005MEMS phase former kit for high-resolution wavefront control
Gehner, A.; Wildenhain, M.; Neumann, H.; Elgner, A.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2005Micro optical devices for light modulation and deflection
Schenk, H.; Sandner, T.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2005Micro-opto-electro-mechanical systems technology and its impact on photonic applications
Schenk, H.; Wolter, A.; Dauderstädt, U.; Gehner, A.; Lakner, H.
Zeitschriftenaufsatz
2005Micromechanical scanning mirrors with highly reflective NIR coatings for high power applications
Sandner, T.; Schmidt, J.U.; Schenk, H.; Lakner, H.; Braun, S.; Foltyn, T.; Leson, A.; Gatto, A.; Yang, M.; Kaiser, N.
Konferenzbeitrag
2005Miniaturized MOEMS spectrometer for NIR applications
Grüger, H.; Heberer, A.; Zimmer, F.; Wolter, A.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2005Miniaturized optical module for projection of arbitrary images based on two-dimensional resonant micro scanning mirrors
Scholles, M.; Bräuer, A.; Frommhagen, K.; Gerwig, C.; Höfer, B.; Jung, E.; Lakner, H.; Schenk, H.; Schneider, B.; Schreiber, P.; Wolter, A.
Konferenzbeitrag
2005New MOEMS based systems appropriate for spectroscopic investigations on agricultural growth and perishable food conditions
Grüger, H.; Schenk, H.; Heberer, A.; Zimmer, F.; Scherff, W.; Kenda, A.; Frank, A.
Konferenzbeitrag
2005Optical MEMS for advanced spectrometers
Schenk, H.; Grüger, H.; Zimmer, F.; Scherf, W.; Kenda, A.
Konferenzbeitrag
2005Scanning micro-mirrors: From bar-code-scanning to spectroscopy
Zimmer, F.; Grüger, H.; Heberer, A.; Wolter, A.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2005Signal processing for a single detector MOEMS based NIR micro spectrometer
Heberer, A.; Grüger, H.; Zimmer, F.; Schenk, H.; Kenda, A.; Frank, A.; Scherf, W.
Konferenzbeitrag
2005Spatial light modulators with monocrystalline silicon micromirrors made by wafer bonding
Bakke, T.; Friedrichs, M.; Völker, B.; Reiche, M.; Leonardsson, L.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2005Stress optimization of a micromechanical torsional spring
Klose, T.; Kunze, D.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.; Schneider, A.; Schneider, P.
Konferenzbeitrag
2005VUV optical coatings for the next-generation micro-mechanical mirrors
Yang, M.; Gatto, A.; Kaiser, N.; Schmidt, J.U.; Sandner, T.; Heber, J.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2005Wafer bonding for optical MEMS
Bakke, T.; Völker, B.; Schenk, H.; Radu, I.; Reiche, M.
Konferenzbeitrag
2004Accelerometer by means of a resonant micro actuator
Drabe, C.; Schenk, H.; Roscher, K.-U.; Kunze, D.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004Analogue components for a mixed signal driver ASIC for resonant micro-mirror control
Schlebusch, D.; Bunk, G.; Vogel, U.; Schenk, H.; Roscher, K.-U.
Konferenzbeitrag
2004Application of spatial light modulators for microlithography
Dauderstädt, U.; Dürr, P.; Karlin, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004Bulk micro machined quasistatic torsional micro mirror
Kiessling, T.; Wolter, A.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004Bulk micro machined quasistatic torsional micro mirror
Kiessling, T.; Wolter, A.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004Damping analysis and measurement for a comb-drive scanning mirror
Sandner, T.; Klose, T.; Wolter, A.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004Designing MEMS for manufacturing
Wolter, A.; Herrmann, A.; Yildiz, G.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004Development of a NIR micro spectrometer based on a MOEMS scanning grating
Zimmer, F.; Grüger, H.; Heberer, A.; Wolter, A.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2004Fabrication end-test of the micro scanning mirror
Wolter, A.; Gaumont, E.; Korth, H.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004Improved mechanical properties of metallic micro-structures
Schreiber, J.; Braun, S.; Gatto, A.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2004Laser projection device based on a 2D resonant micro scanning mirror
Roscher, K.-U.; Grätz, H.; Schenk, H.; Wolter, A.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004Light processing with electrostatically driven micro scanning mirrors and micro mirror arrays
Schenk, H.; Dauderstädt, U.; Dürr, P.; Gehner, A.; Wolter, A.; Lakner, H.
Aufsatz in Buch
2004Low-cost projection device with a 2D resonant microscanning mirror
Roscher, K.-U.; Grätz, H.; Schenk, H.; Wolter, A.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004The MEMS micro scanning mirror for barcode reading: From development to production
Wolter, A.; Schenk, H.; Gaumont, E.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004Photonic microsystems: An enabling technology for light deflection and modulation
Schenk, H.; Wolter, A.; Dauderstädt, U.; Gehner, A.; Grüger, H.; Drabe, C.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004Spektrometer mit mikromechanischem Gitter
Grüger, H.; Schenk, H.; Wolter, A.; Heberer, A.; Zimmer, F.
Zeitschriftenaufsatz
2004Tests on micro-mirror arrays for adaptive optics
Liesener, J.; Hupfer, W.; Gehner, A.; Wallace, K.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004Torsional stress, fatigue and fracture strength in silicon hinges of a micro scanning mirror
Wolter, A.; Schenk, H.; Korth, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2003Characterization of spatial light modulators for micro lithography
Dürr, P.; Dauderstädt, U.; Kunze, D.; Auvert, M.; Bakke, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2003Characterization of spatial light modulators for microlithography
Dürr, P.; Dauderstädt, U.; Kunze, D.; Auvert, M.; Bakke, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2003Driver ASIC for synchronized excitation of resonant micro-mirrors
Roscher, K.-U.; Fakesch, U.; Schenk, H.; Lakner, H.; Schlebusch, D.
Konferenzbeitrag
2003Improved layout for a resonant 2D micro scanning mirror with low operation voltages
Wolter, A.; Schenk, H.; Gaumont, E.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2003Improved vision by eye abberation correction using an active-matrix addressed micromirror array
Gehner, A.; Wildenhain, M.; Doleschal, W.; Elgner, A.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2003Improved vision by eye aberration correction using an active-matrix addressed micromirror array
Gehner, A.; Wildenhain, M.; Doleschal, W.; Elgner, A.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2003Micro mirror arrays for VLSI mask fabrication
Schenk, H.; Dauderstädt, U.; Dürr, P.; Lakner, H.K.
Aufsatz in Buch
2003Micro scanning mirrors - steps towards volume production
Wolter, A.; Schenk, H.
Aufsatz in Buch
2003Micro-mirror Arrays for adaptive wavefront correction
Hupfer, W.; Gehner, A.; Schenk, H.; Lakner, H.; Liesener, J.; Wallace, K.
Konferenzbeitrag
2003Performance and applications of a spectrometer with micromachined scanning grating
Grüger, H.; Wolter, A.; Schuster, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2003Realization of a spectrometer with micromachined scanning grating
Grüger, H.; Wolter, A.; Schuster, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2003Scanning micro spectrometer
Grüger, H.; Wolter, A.; Schuster, T.; Schenk, H.; Lakner, H.K.
Aufsatz in Buch
2003Temperature stability of the frequency of a resonant micro scanning mirror
Wolter, A.; Koorth, H.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2002Mechanical and electrical failures and reliability of micro scanning mirrors
Gaumont, E.; Wolter, A.; Schenk, H.; Georgelin, G.; Schmoger, M.
Konferenzbeitrag
2002Micro mechanical scanning mirrors for high performance miniaturized scan engines
Schenk, H.; Wolter, A.; Gaumont, E.
Aufsatz in Buch
2002Micromirrors for light switching applications
Kießling, T.; Schenk, H.
Aufsatz in Buch
2002MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT MIT SCHWINGKOERPER
Schenk, H.; Duerr, P.; Kueck, H.
Patent
2002Mustererzeugung und -erfassung mit mikromechanischen Spiegeln und Spiegelarrays
Lakner, H.; Dürr, P.; Schenk, H.; Gehner, A.
Konferenzbeitrag
2001Bildgebende Mikrosysteme: Chips, die mit Licht arbeiten
Lakner, H.; Wolter, A.; Schenk, H.
Aufsatz in Buch
2001Design optimization of an electrostatically driven Micro Scanning Mirror
Schenk, H.; Wolter, A.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2001MIRAGE: An European project for a micro scan engine
Schenk, H.; Wolter, A.; Roscher, K.-U.; Barthel, W.; Lakner, H.
Aufsatz in Buch
2001Ein neuartiger mikromechanischer Aktor zur ein- und zweidimensionalen Ablenkung von Licht
Schenk, H.
Dissertation
2001A resonantly excited 2D-micro-scanning-mirror with large deflection
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Lakner, H.; Kück, H.
Zeitschriftenaufsatz
2000Ablenkeinheiten für die Sensorik
Schenk, H.
Aufsatz in Buch
2000Design and modelling of large deflection micromechanical 1D and 2D scanning mirrors
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Lakner, H.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
2000An electrostatically excited 2D-Micro-Scanning-Mirror with an in-plane configuration of the driving electrodes
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Lakner, H.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
2000Large deflection micromechanical scanning mirrors for linear scans and pattern generation
Schenk, H.; Dürr, P.; Haase, T.; Kunze, D.; Sobe, U.; Lakner, H.; Kück, H.
Zeitschriftenaufsatz
2000Leuchtende Ablenkung: Mikromechanische 2D-Scannerspiegel erreichen 30kHz
Schenk, H.
Zeitschriftenaufsatz
2000A new 2D micromirror scanner
Schenk, H.; Dürr, P.; Lakner, H.
Aufsatz in Buch
1999Antrieb für mikromechanische Scannerspiegel
Schenk, H.; Dürr, P.; Sobe, U.
Zeitschriftenaufsatz
1999Micromirrors for direct writing systems and scanners
Lakner, H.; Doleschal, W.; Dürr, P.; Gehner, A.; Schenk, H.; Wolter, A.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1999A new driving principle for micromechanical torsional actuators
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1999A novel electrostatically driven torsional actuator
Schenk, H.; Dürr, P.; Kück, H.
Konferenzbeitrag