Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2008Electrostatic force coupling of MEMS oscillators for spectral vibration measurements
Forke, R.; Scheibner, D.; Mehner, J.E.; Gessner, T.; Dötzel, W.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2008Fabrication and characterization of a force coupled sensor-actuator system for adjustable resonant low frequency vibration detection
Forke, R.; Scheibner, D.; Hiller, K.; Gessner, T.; Doetzel, W.; Mehner, J.
Zeitschriftenaufsatz
2008Technology dependent design and characterization of silicon vibration sensors with linear tunable band selectivity
Shaporin, A.; Forke, R.; Dienel, M.; Naumann, M.; Scheibner, D.; Dötzel, W.; Mehner, J.
Konferenzbeitrag
2008Technology dependent design and characterization of silicon vibration sensors with linear tunable band selectivity
Shaporin, A.; Forke, R.; Dienel, M.; Naumann, M.; Scheibner, D.; Dötzel, W.; Mehner, J.
Konferenzbeitrag
2008Tunable Frequency Selective Vibration Detection with MEMS Force Coupled Oscillators
Forke, R.; Scheibner, D.; Doetzel, W.; Mehner, J.
Konferenzbeitrag
2007Adjustable Force Coupled Sensor-Actuator System for Low Frequency Resonant Vibration Detection
Forke, R.; Scheibner, D.; Mehner, J.; Gessner, T.; Dötzel, W.
Konferenzbeitrag
2007Spektrale Vibrationsmessung mit mikromechanischen kraftgekoppelten Silizium-Schwingern
Forke, R.; Scheibner, D.; Hiller, K.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Mehner, J.
Konferenzbeitrag
2006Electrostatic force coupling of MEMS oscillators for spectral vibration measurements
Forke, R.; Scheibner, D.; Mehner, J.; Geßner, T.; Doetzel, W.
Konferenzbeitrag
2006In-process gap reduction of capacitive transducers
Reuter, D.; Bertz, A.; Billep, D.; Scheibner, D.; Dötzel, W.; Gessner, T.
Zeitschriftenaufsatz
2006Micromachined force coupled sensor actuator system for frequency selective vibration monitoring
Forke, R.; Scheibner, D.; Mehner, J.; Geßner, T.; Doetzel, W.
Konferenzbeitrag
2006A tunable resonant vibration measurement unit based on a micromachined force coupled sensor-actuator system
Mehner, J.; Gessner, T.; Forke, R.; Scheibner, D.; Doetzel, W.
Konferenzbeitrag
2005Bonding and Deep RIE - A powerful combination for high aspect ratio sensors and actuators
Hiller, K.; Küchler, M.; Billep, D.; Schröter, B.; Dienel, M.; Scheibner, D.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2005In-process gap reduction of capacitive transducers
Reuter, D.; Bertz, A.; Billep, D.; Scheibner, D.; Buschnakowski, S.; Doetzel, W.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2005A spectral vibration detection system based on tunable micromechanical resonators
Scheibner, D.; Mehner, J.; Reuter, D.; Gessner, T.; Dötzel, W.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2004Characterization and self-test of electrostatically tunable resonators for frequency selective vibration measurements
Scheibner, D.; Mehner, J.; Reuter, D.; Kotarsky, U.; Geßner, T.; Dötzel, W.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2001Abstimmbare Siliziumsensoren zur Vibrationsanalyse mit elektromagnetischer Selbsttest-Funktionalität
Scheibner, D.; Mehner, J.; Brämer, B.; Gessner, T.; Dötzel, W.
Konferenzbeitrag