Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2012Anwendung des Plasma-Ätzens in der Rolle-zu-Rolle Prozessierung von Folien
Nettinger, K.; Schaber, U.; Drost, A.
Zeitschriftenaufsatz
2009Electrostatic wafer handling for thin wafer processing
Landesberger, C.; Wieland, R.; Klumpp, A.; Ramm, P.; Drost, A.; Schaber, U.; Bonfert, D.; Bock, K.
Konferenzbeitrag
2006Handling and processing of thin semiconductor substrates
Landesberger, C.; Bollmann, D.; Drost, A.; Schaber, U.; Bock, K.
Konferenzbeitrag
2005Processing of thin substrates by means of electrostatic carriers
Landesberger, C.; Bollmann, D.; Bock, K.; Drost, A.; Schaber, U.
Konferenzbeitrag
2004A bi-directional micro pump for the handling of liquids and gases
Wackerle, M.; Richter, M.; Drost, A.; Schaber, U.; Bigus, H.-J.
Konferenzbeitrag
2002Step towards a standard fabrication method of micro fluid actuators
Kruckow, J.; Brand, S.; Wackerle, M.; Schwan, M.; Stamova, D.; Weidhaas, J.; Drost, A.; Schaber, U.; Richter, M.
Aufsatz in Buch
2001Batch fabrication of silicon micropumps
Richter, M.; Kruckow, J.; Weidhaas, M.; Wackerle, M.; Drost, A.; Schaber, U.; Schwan, M.; Kühl, K.
Konferenzbeitrag
2001Full wafer fabrication technologies of micro pumps
Richter, M.; Kruckow, J.; Weidhaas, J.; Drost, A.; Schaber, U.; Kühl, K.
Aufsatz in Buch
2001Pneumatic silicon microvalves with piezoelectric actuation
Kluge, S.; Neumayer, G.; Schaber, U.; Wackerle, M.; Maichl, M.; Post, P.; Weinmann, M.; Wanner, R.
Konferenzbeitrag
2001A portable drug delivery system with silicon capillaries as key components
Richter, M.; Lutter, N.; Leukert, A.; Schaber, U.; Wackerle, M.; Kozma, E.; Neuder, K.
Konferenzbeitrag
1998Novel microstructuring technologies in silicon
Hillerich, B.; Pradel, H.; Schaber, U.; Vogel, S.
Konferenzbeitrag
1997Electrically removable, micromachined encapsulation for sensitive materials
Roth, M.; Vogel, S.; Schaber, U.; Endres, H.-E.
Konferenzbeitrag
1997Surface acoustic wave devices and applications in liquid sensing
Leidl, A.; Oberlack, I.; Schaber, U.; Mader, B.; Drost, S.
Zeitschriftenaufsatz
1997Universal micro single-use valve for encapsulation of sensitive materials
Roth, M.; Vogel, S.; Schaber, U.; Richter, M.; Woias, P.; Endres, H.-E.
Konferenzbeitrag
1996A silicon micro valve with defined threshold pressure
Richter, M.; Woias, P.; Schaber, U.; Lohr, T.
Konferenzbeitrag
1996Silizium-Mikroventil mit definiertem Einsatzschwelldruck
Richter, M.; Woias, P.; Schaber, U.; Lohr, T.
Konferenzbeitrag
1992Study of doping dependent p-n junction etch-stop using pulsed electrochemical anodization
Schaber, U.; Offereins, H.L.; Seitz, S.; Gronegger, H.; Kühl, K.; Sandmaier, H.
Konferenzbeitrag