Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2013Practical aspects of virtual metrology and predictive maintenance model development and optimization
Schöpka, U.; Roeder, G.; Mattes, A.; Schellenberger, M.; Pfeffer, M.; Pfitzner, L.; Scheibelhofer, P.
Konferenzbeitrag
2012IMPROVE - a joint European effort to boost efficiency in semiconductor manufacturing
Schellenberger, Martin; Koitzsch, Matthias; Roeder, Georg; Pfeffer, Markus; Schöpka, Ulrich; Mattes, Andreas; Pfitzner, Lothar
Vortrag
2012Virtual Equipment for benchmarking Predictive Maintenance algorithms
Mattes, A.; Schöpka, U.; Schellenberger, M.; Scheibelhofer, P.; Leditzky, G.
Konferenzbeitrag
2010Advanced process control - lessons learned from semiconductor manufacturing
Schellenberger, M.; Roeder, G.; Öchsner, R.; Schöpka, U.; Kasko, I.
Zeitschriftenaufsatz
2010Yield model for estimation of yield impact of semiconductor manufacturing equipment
Nutsch, A.; Oechsner, R.; Schoepka, U.; Pfitzner, L.
Konferenzbeitrag
2009Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten eines Substrates
Schöpka, U.; Öchsner, R.; Pfeffer, M.; Maass, W.; Langer, J.; Ocker, B.
Patent