Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1991Prüfzelle zur Ermittlung von Partikelkontamination
Sauter, K.-D.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1990Automatisierte Ermittlung von Partikelkontamination. Integrierbare Softwarelösung als Voraussetzung
Warnecke, H.-J.; Sauter, K.-D.; Schäfer, W.
Zeitschriftenaufsatz
1990Idecon-Verbindung von Material- und Informationsfluß in flexiblen Systemen der Halbleiterfertigung
Sauter, K.-D.
Zeitschriftenaufsatz
1990Leitsysteme für die Halbleiterfertigung. Praxisnahe Forschungsförderung am IPA
Sauter, K.-D.
Zeitschriftenaufsatz
1990Monitoring mit integrierten Partikelzählern. Eine Softwarelösung für die automatisierte Ermittlung von Partikelkontaminationen
Sauter, K.-D.; Schäfer, W.
Zeitschriftenaufsatz
1990Werkstückbegleitender Informationsspeicher als Basis für ein informationstechnisches Konzept für Halbleiterfertigungen
Sauter, K.-D.
Dissertation
1988Halbleiterfertigung - Identifikation - Voraussetzung fuer die Materialflussautomatisierung. Tl.3
Warnecke, H.-J.; Wohnhas, S.; Sauter, K.-D.
Zeitschriftenaufsatz
1988Halbleiterfertigung. Vermeidung von Umhordevorgaengen als Strategie zur Materialflussoptimierung. Tl.2
Mack, A.; Sauter, K.-D.; Wohnhas, S.
Zeitschriftenaufsatz
1988Reduction of wafer transfer for optimizing material flow
Mack, A.; Sauter, K.-D.; Wohnhas, S.
Zeitschriftenaufsatz
1987Automated material handling for defect reduction
Fruehauf, W.; Geissinger, J.; Sauter, K.-D.; Schmutz, W.
Konferenzbeitrag
1987Automatisierungs-Gesichtspunkte fuer Halbleiterfertigungsgeraete
Fruehauf, W.; Kahlden, T. von; Mack, A.; Sauter, K.-D.; Schmutz, W.
Konferenzbeitrag
1987Halbleiterfertigung in Japan
Herz, R.; Sauter, K.-D.
Zeitschriftenaufsatz
1987Halbleiterfertigungstechnik. Tl.1. Vom Labor zur Fertigung
Mack, A.; Wohnhas, S.; Sauter, K.-D.
Zeitschriftenaufsatz
1987Materialtransportsysteme fuer die Halbleiterfertigungstechnik
Herz, R.; Sauter, K.-D.
Zeitschriftenaufsatz
1987Studie über den Stand der Technik und zukünftige Anforderungen an Fertigungseinrichtungen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Berücksichtigung verschiedener Herstellungsverfahren
Aderhold, W.; Frühauf, W.; Herz, R.; Kahlden, T. von; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Sauter, K.-D.; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Studie
1987Systemfaehigkeit unabdingbar - Ratiopotential in der Halbleiterfertigungstechnik
Mack, A.; Wohnhas, S.; Sauter, K.-D.
Zeitschriftenaufsatz
1986Studie ueber den Stand der Technik und zukuenftige Anforderungen an Fertigungseinrichtunen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Beruecksichtigungen verschiedener Herstellungsverfahren
Aderhold, W.; Fruehauf, W.; Herz, R.; Kahlden, T. von; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Sauter, K.-D.; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Studie