Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2020System integration of hybrid large aperture micro scanner array for fast scanning LiDAR sensors
Sandner, Thilo; Graßhoff, Thomas; Owe, Wolf-Dietrich; Herrmann, A.; Wildenhain, M.; Schwarzenberg, M.
Konferenzbeitrag
2020Wafer-level vacuum-packaged translatory MEMS actuator with large stroke for NIR-FT spectrometers
Sandner, Thilo; Gaumont, Eric; Graßhoff, Thomas; Rieck, Andreas; Seifert, T.; Auböck, Gerald; Grahmann, Jan
Zeitschriftenaufsatz
2019Hybrid assembled MEMS scanner array with large aperture for fast scanning LIDAR systems
Sandner, Thilo; Grasshoff, Thomas; Wildenhain, Michael; Schwarzenberg, M.
Zeitschriftenaufsatz
2019Konzeptentwicklung eines optischen Messplatzes zur präzisen und hochdynamischen Bestimmung des zweidimensionalen Kippwinkels von 2D-Mikrospiegeln als Referenzmesssystem einer Echtzeitregelung
Stolba, Friedrich
: Czarske, Jürgen (Gutachter); Büttner, Lars (Gutachter); Sandner, Thilo (Gutachter)
Diplomarbeit
2018Flatness-based open-loop and closed-loop control for electrostatic quasi-static microscanners using jerk-limited trajectory design
Schroedter, Richard; Roth, Matthias; Janschek, Klaus; Sandner, Thilo
Zeitschriftenaufsatz
2018Translatory MEMS actuator with wafer level vacuum package for miniaturized NIR Fourier transform spectrometers
Sandner, Thilo; Gaumont, Eric; Grasshoff, Thomas; Auböck, Gerald; Kenda, Andreas; Gisler, Thomas; Langa, Sergiu; Herrmann, Andreas; Grahmann, Jan
Konferenzbeitrag
2017Microcontroller based closed-loop control of a 2D quasi-static/resonant microscanner with on-chip piezo-resistive sensor feedback
Schroedter, Richard; Schwarzenberg, Markus; Dreyhaupt, André; Barth, Robert; Sandner, Thilo; Janschek, Klaus
Konferenzbeitrag
2017Repetitive flachheitsbasierte Folgeregelung von quasi-statischen Mikroscannern
Schroedter, Richard; Che, Xingqi; Roth, Matthias; Sandner, Thilo; Janschek, Klaus
Konferenzbeitrag
2017Repetitive flachheitsbasierte Folgeregelung von quasi-statischen Mikroscannern
Schroedter, Richard; Che, Xingqi; Roth, Matthias; Sandner, Thilo; Janschek, Klaus
Poster
2016MEMS-mirror based trajectory resolution and precision enabled by two different piezoresistive sensor technologies
Grahmann, Jan; Dreyhaupt, André; Drabe, Christian; Schroedter, Richard; Kamenz, Jörg; Sandner, Thilo
Konferenzbeitrag
2016Micro scanning mirrors and enabling technology for applied optics
Sandner, Thilo
Konferenzbeitrag
2016Real-time closed-loop control for micro mirrors with quasistatic comb drives
Schroedter, Richard; Sandner, Thilo; Janschek, Klaus; Roth, Matthias; Hruschka, Clemens
Konferenzbeitrag