Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2020The effects of carbon incorporation on the refractive index of PECVD silicon oxide layers
Torda, Benjamin; Rachdi, Lazhar; Mohamed Okasha Mohamed Okasha, Asmaa; Saint-Cast, Pierre; Hofmann, Marc
Zeitschriftenaufsatz
20192-stufiger Trockenätzprozess zur Texturierung kristalliner Siliziumscheiben
Clochard, Laurent; Duffy, Edward; Hofmann, Marc; Jenek, Niko Armand; Kafle, Bishal; Saint-Cast, Pierre; Trogus, Daniel
Patent
2019Herstellungsverfahren für eine metallische Kontaktierungsstruktur und photovoltaische Solarzelle mit einer metallischen Kontaktierungsstruktur
Jäger, Ulrich; Lohmüller, Elmar; Lohmüller, Sabrina; Saint-Cast, Pierre; Wolf, Andreas
Patent
2018Development of 4 nm-Thin PECVD aluminium oxide using plasma analysis and its application to PERC solar cells and modules
Hofmann, Marc; Wagenmann, Dirk; Teßmann, Christopher; Jäcklein, Martin; Saint-Cast, Pierre; Eberlein, Dirk; Kraft, Achim; Dippell, Torsten; May, Frank; Dörr, Manfred; Cord, Bernhard; Schütte, Thomas; Neiß, Peter; Eichhorn, Lutz; Klick, Michael; Richter, Uwe; Siemers, Michael; Wiedemuth, Peter
Konferenzbeitrag
2014Vorrichtung und Verfahren zum Aufbringen einer Aluminiumoxidschicht auf ein Halbleitersubstrat
Saint-Cast, Pierre; Hofmann, Marc; Rentsch, Jochen; Preu, Ralf
Patent