Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Accurate determination of 3D PSF and resist effects in grayscale laser lithography
Onanuga, T.; Kaspar, C.; Sailer, H.; Erdmann, A.
Konferenzbeitrag
2010Practical resist model calibration for e-beam direct write processes
Schulz, M.; Stock, H.-J.; Klostermann, U.; Hoppe, W.; Bomholt, L.; Jaschinsky, P.; Choi, K.-H.; Gutsch, M.; Sailer, H.; Martens, S.
Konferenzbeitrag
2009Charged particle multi-beam lithography evaluations for sub-16nm hp mask node fabrication and wafer direct write
Platzgummer, E.; Klein, C.; Joechl, P.; Loeschner, H.; Witt, M.; Pilz, W.; Butschke, J.; Jurisch, M.; Letzkus, F.; Sailer, H.; Irmscher, M.
Konferenzbeitrag
2008Determination of best focus and optimum dose for variable shaped e-beam systems by applying the isofocal dose method
Keil, Katja; Choi, Kang-Hoon; Hohle, Christoph; Kretz, Johannes; Lutz, Tarek; Bettin, Lutz; Boettcher, Monika; Hahmann, Peter; Kliem, Karl-Heinz; Schnabel, Bernd; Irmscher, Mathias; Sailer, Holger
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2007Resist processes for high resolution mask and direct write applications using the latest vistec VSB electron column
Sailer, H.; Irmscher, M.; Hohle, C.; Keil, K.; Boettcher, M.; Hahmann, P.
Konferenzbeitrag