Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2016Multi-scale radiographic applications in microelectronic industry
Gluch, Jürgen; Löffler, Markus; Meyendorf, Norbert G.; Oppermann, Martin; Röllig, Mike; Sättler, P.; Wolter, Klaus-Jürgen; Zschech, Ehrenfried
Konferenzbeitrag
2015μ-Raman spectroscopy and FE-modeling for TSV-Stress-characterization
Saettler, P.; Hecker, M.; Boettcher, M.; Rudolph, C.; Wolter, K.J.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2014TSV-annealing: A thermo-mechanical assessment
Saettler, P.; Hecker, M.; Boettcher, M.; Rudolph, C.; Wolter, K.J.
Konferenzbeitrag
2013µ-Raman spectroscopy and FE-analysis of thermo-mechanical stresses in TSV periphery
Saettler, P.; Boettcher, M.; Wolter, K.J.
Konferenzbeitrag
2013Bath chemistry and copper overburden as influencing factors of the TSV annealing
Saettler, P.; Boettcher, M.; Rudolph, C.; Wolter, K.-J.
Konferenzbeitrag
2012Characterization of the annealing behavior for copper-filled TSVs
Saettler, P.; Boettcher, M.; Wolter, K.-J.
Konferenzbeitrag
2012Thermo-mechanical characterization and modeling of TSV annealing behavior
Saettler, P.; Kovalenko, D.; Meier, K.; Roellig, M.; Boettcher, M.; Wolter, K.J.
Konferenzbeitrag
2009Influence of nano composites on reliability and mechanical properties of moisture sensors
Hammacher, J.; Saettler, P.; Kreyßig, K.; Martin, J.; Seiler, B.; Michel, B.
Konferenzbeitrag