Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1999Advanced silicon bulk micromachining for angular rate sensor
Wiemer, M.; Hiller, K.; Gessner, T.; Billep, D.; Ryrko, B.; Breng, U.; Zimmermann, S.; Gutmann, W.
Konferenzbeitrag
1999µCORS - a bulk micromachined gyroscope based on coupled resonators
Breng, U.; Gutmann, W.; Leinfelder, P.; Ryrko, B.; Zimmermann, S.; Billep, D.; Gessner, T.; Hiller, K.; Wiemer, M.
Konferenzbeitrag
1999Kapazitiver Drehratensensor auf der Basis einer Stimmgabel mit gekoppeltem Resonator
Wiemer, M.; Hiller, K.; Gessner, T.; Billep, D.; Ryrko, B.; Breng, U.; Zimmermann, S.; Gutmann, W.
Konferenzbeitrag