Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2014Material properties of high-mobility TCOs and application to solar cells
Ruske, F.; Schönau, S.; Ring, S.; Neubert, S.; Stannowski, B.; Sittinger, V.; Götzendörfer, S.; Rech, B.
Konferenzbeitrag
2014Recent developments in the field of transparent conductive oxide films and emerging applications for automotive and architectural glazing, oxide electronics and photovoltaics
Szyszka, B.; Muydinov, R.; Pflug, A.; Rech, B.; Ruske, F.; Scherg-Kurmes, H.; Schlatmann, R.; Sittinger, V.; Stannowski, B.; Ulrich, S.
Konferenzbeitrag
2012Optical characterization of high mobility polycrystalline ZnO:Al films
Ruske, F.; Wimmer, M.; Köppel, G.; Pflug, A.; Rech, B.
Konferenzbeitrag
2011Reactive magnetron sputtering of ZnO:Al
Sittinger, V.; Dewald, W.; Szyszka, B.; Ruske, F.
Zeitschriftenaufsatz
2010Optical on-line monitoring for the long-term stabilization of a reactive mid-frequency sputtering process of Al-doped zinc oxide films
Sittinger, V.; Ruske, F.; Pflug, A.; Pflug, A.; Dewald, W.; Szyszka, B.; Dittmar, G.
Zeitschriftenaufsatz
2010Transparent conducting oxide deposition techniques for thin-film photovoltaics
Sittinger, V.; Dewald, W.; Werner, W.; Szyszka, B.; Ruske, F.
Zeitschriftenaufsatz
2010Übersicht über die Einsatzgebiete und Anwendungen von transparent leitfähigen Oxiden (TCOs)
Sittinger, V.; Szyszka, B.; Ulrich, S.; Pflug, A.; Ruske, F.; Dewald, W.
Zeitschriftenaufsatz
2009Influence of damp heat on the optical and electrical properties of Al-doped zinc oxide
Greiner, D.; Papathanasiou, N.; Pflug, A.; Ruske, F.; Klenk, R.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2009Magnetronsputtern von hochleitfähigen ZnO:Al-Schichten für die Photovoltaik
Ruske, F.
Dissertation
2009Optical modeling of free electron behavior in highly doped ZnO films
Ruske, F.; Pflug, A.; Sittinger, V.; Szyszka, B.; Greiner, D.; Rech, B.
Zeitschriftenaufsatz
2008High power pulsed magnetron sputtering of transparent conducting oxides
Sittinger, V.; Ruske, F.; Werner, W.; Jacobs, C.; Szyszka, B.; Christie, D.J.
Zeitschriftenaufsatz
2008Reactive deposition of aluminium-doped zinc oxide thin films using high power pulsed magnetron sputtering
Ruske, F.; Pflug, A.; Sittinger, V.; Werner, W.; Szyszka, B.; Christie, D.J.
Zeitschriftenaufsatz
2008Research on promising applications for high power pulse magnetron sputtering
Sittinger, V.; Szyszka, B.; Bandorf, R.; Vergöhl, M.; Pflug, A.; Christie, D.J.; Ruske, F.
Konferenzbeitrag
2007Determination of plasma parameters during deposition of ZnO films by ceramic and metallic targets and correlation with film properties
Wiese, R.; Kersten, H.; Hannemann, M.; Sittinger, V.; Ruske, F.; Menner, R.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2007Flux of positive ions and film growth in reactive sputtering of Al-doped ZnO thin films
Ruske, F.; Sittinger, V.; Werner, W.; Szyszka, B.; Wiese, R.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2007Large area ZnO:Al films with tailored light scattering properties for photovoltaic applications
Ruske, F.; Jacobs, C.; Sittinger, V.; Szyszka, B.; Werner, W.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2007Position and time resolved optical emission spectroscopy and film properties of ITO films deposited by high power pulsed magnetron sputtering
Sittinger, V.; Ruske, F.; Szyszka, B.; Christie, D.J.; Wallendorf, T.
Konferenzbeitrag
2006Deposition of high conductivity ITO films by high power pulsed magnetron sputtering (HPPMS)
Sittinger, V.; Ruske, F.; Gerloff, C.; Werner, W.; Szyszka, B.; Christie, D.J.
Konferenzbeitrag
2006High power pulsed magnetron sputtering (HPPMS)
Christie, D.; Szyszka, B.; Pflug, A.; Sittinger, V.; Ruske, F.; Werner, W.
Konferenzbeitrag
2006Plasma characterization tools and application to reactive sputtering of Al-doped ZnO thin films
Sittinger, V.; Ruske, F.; Szyszka, B.; Wiese, R.; Kersten, H.
Zeitschriftenaufsatz
2006Process stabilisation for large area reactive MF-sputtering of Al-doped ZnO
Ruske, F.; Pflug, A.; Sittinger, V.; Werner, W.; Szyszka, B.
Zeitschriftenaufsatz
2006Reactive deposition of Al-doped ZnO thin films using high power pulsed magnetron sputtering (HPPMS)
Ruske, F.; Pflug, A.; Sittinger, V.; Werner, W.; Szyszka, B.; Christie, D.J.
Konferenzbeitrag
2006Stability of CIGS minimodules with ZnO:Al films prepared by reactive mid-frequency magnetron sputtering
Sittinger, V.; Ruske, F.; Werner, W.; Szyszka, B.; Menner, R.; Powalla, M.; Dimmler, B.
Konferenzbeitrag
2006Verfahren zur Abscheidung einer Oxidschicht auf Absorbern von Solarzellen, Solarzelle und Verwendung des Verfahrens
Sittinger, V.; Ruske, F.; Szyszka, B.
Patent
2006Verfahren zur Regelung eines reaktiven Hochleistungs-Puls-Magnetronsputterprozesses und Vorrichtung hierzu
Ruske, F.; Sittinger, V.; Szyszka, B.
Patent
2006ZnO:Al films deposited by in-line reactive AC magnetron sputtering for a-Si:H thin film solar cells
Sittinger, V.; Ruske, F.; Werner, W.; Szyszka, B.; Rech, B.; Hüpkes, J.; Schöpe, G.; Stiebig, H.
Zeitschriftenaufsatz
2005Aufskalierung reaktiv gesputterter ZnO:Al-Schichten für Dünschicht-Solarmodule
Sittinger, V.; Ruske, F.; Werner, W.; Szyszka, B.
Konferenzbeitrag
2005Hydrogen doping of DC sputtered ZnO:Al films from novel target material
Ruske, F.; Sittinger, V.; Werner, W.; Szyszka, B.; Osten, K.U. van; Dietrich, K.; Rix, R.
Zeitschriftenaufsatz
2005Hydrogen doping of ZnO:Al films deposited by pulsed DC-sputtering of ceramic targets
Ruske, F.; Sittinger, V.; Werner, W.; Szyszka, B.; Osten, K.-U. van; Dietrich, K.; Rix, R.
Konferenzbeitrag
2005Model prediction and emprical confirmation of rate scaling with peak power for high power pulse magnetron sputtering (HPPMS) deposition of thin Ag films
Christie, D.J.; Pflug, A.; Sittinger, V.; Ruske, F.; Siemers, M.; Szyszka, B.; Geisler, M.
Konferenzbeitrag
2005Optimized TCO deposition and etching for a-Si:H thin film solar cells
Sittinger, V.; Ruske, F.; Szyszka, B.
Zeitschriftenaufsatz
2005Recent progress in amorphous and microcrystalline silicon based solar cell technology
Rech, B.; Repmann, T.; Hüpkes, J.; Berginski, M.; Stiebig, H.; Beyer, W.; Sittinger, V.; Ruske, F.
Konferenzbeitrag
2005Tuning the reactive magnetron sputtering process of Al-doped ZnO on large area substrates for amorphous and microcrystalline silicon solar cells
Sittinger, V.; Ruske, F.; Werner, W.; Szyszka, B.; Rech, B.; Schöpe, G.; Hüpkes, J.
Konferenzbeitrag
2005Wasserstoffdotierung von ZnO:Al-Schichten aus keramischen Targets
Ruske, F.; Sittinger, V.; Werner, W.; Szyszka, B.; Osten, K.U. van
Konferenzbeitrag
2005ZnO:Al films for a-Si:H thin film solar cells
Szyszka, B.; Sittinger, V.; Ruske, F.; Werner, W.; Pflug, A.; Rech, B.
Konferenzbeitrag
2004Combination of X-ray reflectometry and optical spectroscopy as a new tool for thin films parameter determination
Pflug, A.; Ruske, F.; Sittinger, V.; Werner, W.; Szyszka, B.
Konferenzbeitrag
2004Process stabilisation for large area reactive MF-sputtering of Al-doped ZnO
Ruske, F.; Pflug, A.; Sittinger, V.; Werner, W.; Szyszka, B.
Konferenzbeitrag