Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2014PECVD of poly-SiGe/Ge layers with increased total gas flow
Wang, Qiang; Goehlich, Andreas; Ruß, Marco; Yang, Pin; Vogt, Holger
Zeitschriftenaufsatz
2013Far infrared digital IRFPA baed on uncooled microbolometer for automotive and military applications
Weiler, Dirk; Ruß, Marco; Würfel, Daniel; Lerch, Renee G.; Hochschulz, Frank; Wang, Qiang; Geruschke, Thomas; Heß, Jennifer; Vogt, Holger
Abstract
2013Flip-Chip Technologie für Anwendungstemperaturen > 250 °C
Heiermann, Wolfgang; Geruschke, Thomas; Ruß, Marco; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2012Process window of thermosonic palladium wire bonding on electroplated gold layers for high temperature applications
Heiermann, Wolfgang; Heß, Jennifer; Geruschke, Thomas; Bauer, Jochen; Ruß, Marco; Kappert, Holger; Vogt, Holger
Vortrag
2012Reliability of thermosonic bonded palladium wires in high temperature environments up to 350 °C
Heiermann, Wolfgang; Geruschke, Thomas; Grella, Katharina; Bartsch, M.; Borrmann, Thomas; Ruß, Marco; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2011Development of an uncooled 25µm pixel-pitch VGA-IRFPA
Weiler, D.; Ruß, M.; Würfel, D.; Lerch, R.G.; Yang, P.; Bauer, J.; Heß, J.; Kropelnicki, P.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
2011A far infrared VGA detector based on uncooled microbolometers for automotive applications
Weiler, D.; Ruß, M.; Würfel, D.; Lerch, R.G.; Yang, P.; Bauer, J.; Kropelnicki, P.; Heß, J.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
2011Improvements of a digital 25 µm pixel-pitch uncooled amorphous silicon TEC-less VGA IRFPA with massively parallel Sigma-Delta- ADC readout
Weiler, D.; Ruß, M.; Lerch, R.G.; Yang, P.; Bauer, J.; Heß, J.; Kropelnicki, P.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
2011Micro- and nanosystem technologies on CMOS
Vogt, H.; Ruß, M.
Aufsatz in Buch
2011An uncooled VGA-IRFPA with novel readout architecture
Würfel, D.; Ruß, M.; Lerch, R.G.; Weiler, D.; Yang, P.; Vogt, H.
Zeitschriftenaufsatz
2010A digital 25 m pixel-pitch uncooled amorphous silicon TEC-less VGA IRFPA with massive parallel Sigma-Delta-ADC readout
Weiler, D.; Ruß, M.; Würfel, D.; Lerch, R.G.; Yang, P.; Bauer, J.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
2010Fabrication method for chip-scale-vacuum-packages based on a chip-to-wafer-process
Bauer, J.; Weiler, D.; Ruß, M.; Heß, J.; Yang, P.; Voß, J.; Arnold, N.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
2010Verfahren zur Entnahme einer Feststoffprobe aus einem von heißem Gas durchströmten Behälter sowie ein Verfahren hierzu
Russ, M.; Hielscher, D.
Patent
2007The geometric design of microbolometer elements for uncooled focal plane arrays
Ruß, M.; Bauer, J.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag